��175�� �ְ����������̵���
2024-04-27 ���ߣ� Ů��ʿ֮��
��175�� �ְ����������̵���
ϲ���������ٵ��Ǹ����ˣ�������Щý�����������ҲЦ�Ǻǵ������ֻ��������ش�ɗ�ر�ʾ����л�ҵ�Ӣ������ɡ�
������һ��ҡͷպ�����ֲ������ӣ�����ȸԾ��
��Ϊʱ�ֱ䶯��ˣ����Ĺ������з����ʵĸ߶�оƬ��������ʼ���Ʋ��ܣ����������������������˾Э�̲�Ʒ�������ڣ���ͼ�ȹ�������
����Ҫ�õ���ЩоƬ���ֻ�����������������Ϊ��֮��˾�ķ�չ��Ҳ�в��ֹ�˾��ʼ����δ������ת�Ƶ��Ǵ��Ĺ�˾�����Ĵ�������
���纫�ǡ�̨���硭��
��Ȼ������Ҳ�бȽ��ر�ĵط���
����оƬ�������У����ǵĴ���оƬ������������ͬ��ҵ����õģ������������˴��֮��������ˡ�
��̨�����������ֻ�оƬ�����ж���һ�ģ���ѹͬ�С�
�ֻ������ǵĶ���һ�㶼�Ǵ�������Ŀ��ʼ��оƬ��Ƭ�ٵ���ʼװ����������Ҫ�ڶ�������õ���ƷоƬ��
����˵�����ijЩ������һζ���У������Լ�û�ֵ��ã����ú��ǵ���оƬ����ҵ��Ĵ�˾������һ�Ρ��֣�yu�������������̵�������
��Ȼ��ȫ��оƬ������һ�ˣ�̨�����Ʊ��˸��ִ������ǡ�
�����Ǽ��Ű뵼�幫˾������ˡ�
���ε���ϯִ�йٶ����㣬�ǽ�һ�����˵�ͷ��ϲ��������
ǰ����ϯִ�й���������������̨����ʧ���١�
��������һ���λ�û��ʲô���հ��ڲ�������һ�£����콵��ϲ�£����İ뵼�幫˾���Ʋã����ǵĹ�̻��������º�ͻ��Ϊ��̻���
�����ԼҰ뵼�幫˾�ڲ���������Щ��ϵì���Լ����������Ҫ��������������ϲ֮��Ҳ���ڸ���������
�������״ֻ���������ѵã������������գ�����ܹ�˾���˸����档
���Ŵ��İ뵼�弴�������������æѹ�����ܲ��Ҵ���������߶˹�̻���
Ҫ֪��AS-ML1ÿ������ȥ���и߶˹�̻�Ҳ�ͼ�ʮ̨�������������˾���״��Ҫ�ô�룡��������ֻ�ܺȿ�����
���������Ц�ŵ�ͷ�������飬�����³��벻�ɣ�����뷨�;�ͷ����Ҫ�����ġ�
��ϲ�ó���ͷ�Ķ�������AS-ML��˾��ϵ��ȴ����֪���ṩ��ô���̻���
ԭ��Ҳ�ܼ����»��������
��Ȼ���ƴ�����ս�Է��룬��ι������ιһֻ�Dz����ܵġ�
�Ҵ��������й�Ⱥ�ڣ���ô��������һ����ǿ�أ�
������С����ǻ��õı�ʾ���ߴ����ߣ������ڴ�����չ�뵼���ҵ������߶˹�̻���
����AS-ML��˾�߹ܾͱ�ʾ����뵼���ҵ���˷ܽ��Ƕ�ȫ��뵼���ҵ��һ�����������ǹ�˾���롭��
����֮��İ뵼���ҵ��˾���ظ����裬����������
����һ���İ뵼���ҵ��˾�ǰ���̾��������ĩ�ա�
����ˢ����Щ���ţ���Щ���ĵ�̾�˿�����
�����ڵȣ�˫���侲��������������Щ�����۶����¡�
������Ҳ���ţ������ڲ�Ҳ����һ���ĵģ��Ͼ����������˿���
����ҵ̫�������������ص�ʵ����Ļ���
�ϰ��ǿ�����Ǯ�����Լ���Ǯ�����ܣ�ƫƫ����-���˹��ɱ��־Ӹ߲��¡���
����������ì�����ͻ�У������Ʊػ���һ���̶Ⱥͽ⡣
�������������ҵĹ�̻���Դ�滻����Ҳ��Ҫʱ�䡣
��Ȼ��Դ���������ˣ���������DUV����EUV����̻��Ĺ��ʡ��������������ӿ��Լ�ϵͳ���䶼��Ҫʱ�䡣
�������»�������������ĸɣ�ֻ��͵͵�ĸɡ�
�����ʲô�˲�С����©���������°뵼����������ֻ����Ŀ��ȥ��
���ĵؽ��壬��ǹ�IJ�Ҫ��
���ɡ�����̩���˷ֳ������飬һ�����ذ뵼�岿�Ÿ���������Լ������ᄃԲƬ��������������һ������ʼ�����ϴ���֮�á�
�Ӿ�Բ���쿪ʼ���ͽ���뵼���ҵ�������Σ����Դ��Ĺ�����оƬ����ҵ��Ĺ�˾���Ե�ǰ��Բ������ͷ��ҵ�����ݿƼ���˾�����˶������С�
оƬ����ҵ�������Ǵ�����
��˼���Ǿ�Բ�����ݼ�оƬ��Ƶĵ�·ͼֽ�������ģ���ɵ�·��ͨ����̻�ʴ�̵����Ƭ�ϣ��Ƴɾ����оƬ��
������Ϊ��˼�뵼����Ƴ�����оƬ��Ȼ���µ���̨�������оƬ���졣
���������ڣ����ǰ뵼���ҵ�������λ��ڣ�Ҳ�ǰ뵼���ҵ������ֵ��ߵ��������ڡ�
�����뵼���ҵ���У��Ѷ����ֵ��ߵģ�����оƬ�����оƬ���컷�ڡ�
�������벻Ҫ��Ϊ���оƬ���º����ף�
ʵ���ϣ����Ĺ���Щ���ڰ뵼������ķ���ֱ����Ȼ�����뵼���ҵ����55%�Ļ��ڶ�����Ҫ����-�ṫ˾�ṩ��ص��豸��������ԭ���ϡ�
������Ҳ�߳���һ����˾��
�����Ŀ�����Ǵ��Ĺ��ڸ����ܼ������ͷ��ҵ���ϻ���о���ϻԼ������°뵼����ҵ���й�˾��Ҳ��Ŀǰ�������ȵ�оƬ��ƺ�ϵͳ���ɽ��������Ӧ�̣�
Ҳ�й���洢оƬ��Ҳ���Ǹ�-Ӳ�̡����濨�Ĺ�˾������洢���Ϸ����Ρ�����ĵ�Ӱ�����ܴ����ҵ��
18��8�£��洢����king 3D NAND�洢оƬ�ܹ����ӿ��ٶ��ϱ�V-NAND�����ǣ����������洢�ܶ�ֻ�Ⱦ�Ʒ96��NANDоƬ��10~20%��
���ڲ���Ϣ�ƣ��ϻԼ��������ϻԺ�ï�Ѿ��ܽ���ʵ���ҷ�װ��Ԥ��19��������Խ��д�������ҵ��3D NANDоƬ���Ĺ�ģ����������ζ�������������ϻ�Ʒ�ƣ�UNIC����̬Ӳ�̽���19�����ͨ�������档
��һ��ע�������鲼��·�ϣ�����������ǰ�У������ͣ������ǿ���������£���������ز�Ʒ������
����оƬ�й�˾վ�˳�����������ĵĹ�̻�Ҳ����ʿ�ڷܶ��С�
�ڰݷ��˼�λоƬ�������Һ�����һ�������ڵ����˴���Ŀǰ��̻���Ʒ�������ͷ��ҵ�����ֶ����ӡ�
�ֶ����ӳ���������֮����02�꣬�Ѿ��ڹ�̻���������DZ���з�16��֮�á�
���ڴ��Ĺ����ⷽ��ľ���ͼ����������������͵Ķϴ����ִ���ü�������Ϊ�㣬����ֶ����Ӳ�û�кø���Զ�����ǽ����²�Ʒ��λ�еͶ��г���
����ô��Ҳ��һ����ԭ��������������������ƴ��ķ�չ������Խ��Խ�࣬�����ֶ����ӵı�����ͨ�ʱ���ɡ�
��һ��ɶ��˿��Ѿ��������ֶ�������
����оƬ���̴�90���ļ�������һ��45���ף�����һ����28���ף�����һ����14���ף�Ȼ����7���ס�
��ʵҲ���ǡ�������ʵ����
xx����ӳ���ǹ����Ƴ̵��ۺ�����ָ�꣬�����Ǿ��徫��
����6���з�����ϸ��������ӣ�������ʣ�ȼ�ϳ��㣬�з�����Խ���Ŀ졣
16�꣬�ֶ�����S1X600ϵ�е������ɨ��ͶӰ��̻�ʵ������������S1A600/20��̻��ֱ��ʴﵽ90nm��
�˶��DZƳ����ģ��뵼���ҵ�����ִ����������õĻ�ʯ������ÿ�궼Ҫ���ڳ���3000�������оƬ��
������������ѹ֮�£��ֶ����ӵ�Ŀǰ�Ѿ���������ǧ����ר������Ȼû���ܹ��ȼ�AS1ML�Ŀ��������Ĺ�Ӧ����ϵ����Ҳ���������ʱ�������ҵ����֧�֡�
�����죬�ֶ�����ӭ������һλ���ﳡ�ӵĺ����ѡ�
����Ϊ�˴�ɺ�����Ҳ���Դ���ǰ����
�ܲ��ɣ���Ϊ�ڳ̶����ֶ����ӵ�ij�������е㽻�顣
������λ�������Ź���һ���˹��˰�����Ų��ͽ������ֶ������ڲ���
����������յ��¶����õ��е�ͣ�������˾�ڲ����������ܸ��ܵ�һ�����´���ɭ���ķ�Χ��
��ʱ·����Ա��Ҫô��üͷ������Ҫô����ɫ�Ҵң����ٿ���������Ц��
�����Ǽ������������˵ĸ߹ܣ�Ҳֻ�ǵ�ͷʾ����ѡ�
����Ȼ���������й�zi��ɣ��������ܽ�������ϵ����⣬�����з��Ŷӻ��ں�����������Ӧ�̹�ͨ����ͼ�����Դ���⡣��
��λ�߹ܵ�������Щ�ͳ���
���н���������𣿡������ʵ���
�������������ֲ����ܴ������漣���Ŀ�Ժ����о�Ժ�������Ӽ����Դϵͳֻ��˵�����ã����Ƕ������з���Ŀȴû���κΰ�������
�������з���Ŀ����
������Ҳ����ʲô���ܣ�90nm��һ������45nm�ˡ�
��������ȼ�оƬ�Ĺ�̻����Ѿ��㹻��ͨ������оƬ��������ˡ���
����̾���������Ǽ�����ҵӵ�п��ƻ��Ǻӵ�ר��ӵ���������ǵ������쾧Բ�з���ʱ��Ҳ�ǵ��������
����˵����������̸��Դ�豸�ĺ�����Ŀ����
����Ȼ�����������з�����˾�ڹ�Դ�豸��Ҳ�гɹ���������������뿴���ܷ��һ������
������֮���ã��Ҵ���ȥʵ���ҿ�������
��λ�߹ܿɲ�������ӣ����ݿƼ���˾���������𣬼���ȴ�����ֳ��죬�������Խ֪���Է��϶��������
�ֶ����ӵ�ʵ���ң���Ȼ˵�ǡ��ҡ��������ȴ������ôС��
������ȥ������ƽ���Ŀռ����Ȼ����İڷ��Ŵ��СС���豸�������в����з���Ա���ű������ļ�����������ͷ������
�ֶ������ܲ�ʵ���ҵĸ��������������Դ�ӵ��ʮ��λ��������곤���з���Ա��
�����Ǵ˿̶�û���˿���˵������ȫ���ע�Ŀ�����ǰ��������
�����ʶ���һ��ͣ���˽Ų���
�����ԶԷ�����������ؼ�ʱ�̣�����ʱ��һ����������Ӧ�ò�����
��Լ�����Ӻ�
������ʾ���ϵ���ֵ�������㣬������̾�˿�����
����Դ���Dz��������������Ѿ������ˣ�����
������ѧ��������ѧ�����ǵIJ���ѧû�˹��˵Ļ�����Դʲôʱ������кϸ�ġ���
����������Ϊ���������������ĵļ��
��С�ԣ�����ģ��Ŀ�Ժ�DZߵ�ͬ־��Ҳ��Ŭ������˵�м�λ�����������˾���״����ȡ�����ھ��кϸ��Դ����
��DUV����EUV����
���������Ȼ�����������ⰲ����ʵ������ȴ�������š�
������һ�����ݵ����˹�ȥ��
ֻ��һ��İ����������վ��һȺ��ǰ�棬������ɬ��ȴ��̬������
���������������ˣ������������Ե����֡�
��Ϊʵ���Ҹ����ˣ�����Ȼ���������¾�ϸ��
�����ԣ���λ�Ǿ��ݿƼ���˾�Ĺ��ܣ��������ǹ�˾�뵼���з����ŵ��з���Ա����
��ʱ���������ʵ���ҵ���λ�߹�վ������������
����λ�������ģ��Խ��ڣ�Ҳ��ʵ���Ҹ����ˣ���Ŀ�ܹ���ʦ����
���ݿƼ�������������Ҳ����С��
�����Ļع���������һ˼����˵��������˾��������Բ��������ѵ�����Ȥ��оƬ�����ˣ���
�漴��˵������Ҳ�ǣ��������ɱ����ͣ������϶��������⡣��
����Ц��ҡ��ҡͷ�����Խ�������֮����һ�����Ǹով۾�����۲���豸��ʾ����
��DUV��Դ�����Ӽ��⣬��AS-ML1��EUV��̻��ü��⼤��������������EUV��������ԭ��ġ�
DUV��̻��IJ����ܴﵽ193���ף���EUV��Դ�IJ�����Ϊ13.5���ס�
�����Խ�����Ҳ֪��������֮��IJ��ʮ�����ԣ�����Խ�̣�����ʵ�ֵķֱ���Խ�ߡ�����EUV��̻��ܹ��е��߾���оƬ����������
����DUV��Ȼ����48NM�������Ѷ�̫���ˣ����뻻EUV���С���
�Խ���û��˵�����������һλ�����з���ȴ��˵������EUV��Դ�������˾��Բ�ˣ���������ô��������EUV��Դ�á���
���¹������ľ�ͷ��ͨ��Ĺ�Դ�������պ���ר���������ǵ�ȷ����Բ�ˡ�
�������ֲ��Dz�����ֱ�Ӵ�Դͷ��ʼ����������˵����
������з���Ա�����һ������˵����ô�����Ǵ����з���Դ��û��ʮ����������Ƶ��ͻ����з���������ô���ס���
��PS:��л��ҵ��Ƽ�Ʊ����Ʊ���������һ���Ҫ�����ˣ�
����������
����
��
(������)