��967�� ��������ʱ�䣡
2024-11-13 ���ߣ� ��һβ�ľ�βè
��967�� ��������ʱ�䣡
��о05�ţ��ϸ����˵������ʵ���㲻��̼��оƬ�ĵ�һ����Ʒ��
����Ŀǰ�Ѿ���������С�����������ˣ�����ͨ����һϵ�еIJ���ʵ�飬�������ɸı䲻����ֻ�ǡ�ʵ���ԡ���Ʒ��
û������о05��ֻ����̼��оƬ���з��У������߱���Գ����Լ��㹦�ܵ�ʵ���Բ�Ʒ��������ҵ�����Ƴ������к�ңԶ��·Ҫ�ߡ�
ÿƽ�������ϼ���1000���̼������ܵ�оƬ����˵�Ƿŵ�2025��������ˣ����Ƿŵ�ʮ��ǰ2015�꣬��ʵ���ɾ���ܵ�����Ҳ�����оƬ��ȡ�
2015���ʱ��Ӣ�ض���ʽ�����˵������������ʹ��14nm���գ�����������ߴ�19�ڸ���
���촨���ϵ���ö̼��оƬ��������������ſ����ﵽ10��ֻ������Ӣ�ض��������Ʒ������˽ӽ�һ���ľ��롣
����̼��оƬ���оƬ��������������ͬ�IJ�Ʒ����������ȫһ�Ŷ��ۡ�
��ʮ��ֻ̼����������������̼��оƬ�����ܹ��������϶Ա���������Ӣ�ض��������������
10�ڱ�19�ڣ�һ��ľ����������������ȫ���䣬������ijЩ���滹�����ˡ�
�����Լ���̼��оƬ����Խ�Ժͷ�չDZ����
�Ͼ�Ŀǰ��˵��̼��оƬ�������з���״̬�������Ǵ����������ָ���ϵ��оƬ��ƵȻ��ڣ���������ģ�¹��оƬ�����ܵġ�
��Ȼ��������˵��̼��оƬ���оƬ�IJ�ಢ������뵼�����õĶ���Ҳ����������ֱ����̼���뵼���ϡ�
�������վ������ֲ�ͬ��Ԫ�ز��ϣ���ô���ܰٷְ����䡣
���ù��оƬ�����Ӧ�õ�̼��оƬ��ĿǰҲֻ������֮�ٶ��ѣ��Ͼ�̼��оƬ���з�����ʷ������ͷһ�Ρ�
����һ���������Ѿ��ߵ��������ǰ���ˡ�
����˵������ǰ���Ѿ�û��ʯͷ���Թ��������Ź����ˣ������·������Ҫ�����Լ�һ��һ���������ǰ����
�����������̼��оƬ����ô��صĵ�·��ƣ��ܹ��ȵȶ�����Ҫ��̼���뵼�����Ϊ�������½�����Ƶġ�
���ڣ�˵�������Ļ��������ǿ���ʹ�õij�ƷоƬ��Ҳֻ�ǰ��Ʒ���ѡ�
�����δ����������������̼���뵼����Ͽ��������Ƴ�����һ��������ϵ��������������̼��оƬ.
��ʱ��������ҵ��������˵�����ˣ�ʲôӢΰ�̨���硢��˹��Ӣ�ض�����֮ͨ��Ĺ���뵼�幫˾�����ù����������ǰְ֡�
�ܶ���֮����Ȼ�����Ÿո�������о05�ŵ������Ѿ�����չ����̼��оƬ����Խ�ԡ�
����������ƹ���30WTDP��������Ƶ�ﵽ��5.8Hz��Ƶ�ʣ��������չʾ��̼��оƬ��DZ������Щ���ǹ��оƬԶԶ������ġ�
�Ľ�����һ����о05�ŵ����ܺ��Թ��ӹ������ٶ�ȡ����һö̼��оƬ��
���ųʷ��ڱ������е���Ʒ�����п��ſ��ڵ�����Ŀǰ��˵����ö̼��оƬ�Ѿ��߱���һ������ҵ����ֵ�ˡ���
��ֻ���������Ǵ���ƻ����Ʊ�������˵������������IJ��㡣��
������̼������ܵĵ�̼ӹ�����Ȼ˵��28���Ĺ��գ���ʵ������о�����DZ�ʹ�õ���65���ķ���벹�̻���̻���̼����������˶����ع⼼��������28���ġ���
��Ҳ����˵��Ŀǰ����̼��оƬ�����������ޣ�������һ���̶����ܵ��˹�̻�����Լ��Ӱ�졣��
�����⻰���촨��Щ������ʵ����������Ҽǵ�̼��оƬ��������ƹ���̻���ʹ�������ĵ���ֶ����ţ�֮ǰ���п������Ƶ��������š���
���˶٣������ŵ��������������û�Ǵ��Ļ���֮ǰ����ͨ��ʵ�����Ʊ���MOSFET����-������뵼�峡ЧӦ����ܡ��͡�JFET���ͳ�ЧӦ�ܡ�����Ҳû�ù�̻��ɣ���
����оƬ�Ʊ���صļ���������ȷ���Ǻ��˽⣬�Ͼ�����������һ������о���Ա��
�����Ǻ��о�Ժ������о�̼��оƬ�������ǿ���һЩоƬ��������ĵġ�
����̼��оƬ�ĵ�̼�������·ͼ����Ƶȵȡ�
оƬоƬ����Ϊ�ִ���ҵ���������飬����������漰������ղ��衣
����������̡�����ע�롢��ѧ��е��ĥ����ʴ������������������ϴ�ȡ�
������Щ���ղ����У���̼�����Ϊ��Ҫ����оƬ�Ʊ��ĺ��Ĺ���֮һ��ռоƬ����ɱ���35%����
ͨ����˵��оƬֻ��ͨ����̻���������Ҫԭ���ǹ�̼������и߷ֱ��ʡ���Ч�ʺͶ��������������
Խ�Ǹ߶˵�оƬ���Թ�̻���Ҫ��Ҳ��Խ�ߡ�
Ŀǰȫ�����ܹ��������������̻��ij��̣�ֻ�з糵���İ�˹��ASML��˾��
���ǹ�̻�����İ�����ӵ�м����⣨EUV����̻��������ܹ��������Ƚ��Ƴ�оƬ�Ĺؼ��豸����̨���硢���ǵ�оƬ�����ͷ����������5���������Ƴ̵�оƬ������
��Ȼ����˹��ASML��˾Ҳ�����Ƿ糵���ģ����Ĺ�̻���������˵��Դ�����������������漯�š�
�����ն������IJ�˾��˾�ṩ�Ķ�����ѧԪ����ӣ�����ṩ�ĸ�������̽��͵�����Բ����Դ��������cymer��˾�ȵȡ�
Ҳ����˵��ASMLѧ���˽�ӹС˵���书���ţ����ټ�֮������Ϊ�����ã�Ȼ����ͨ���Լ������������и����ϣ����������ˡ�һ���ú�������������ASML�Ĵ���֮����
���֮�£�ӣ��������ͼ��ܾͱ��صĶ࣬�Ƚ�ע����ʿ������ϲ�������������Ҳ��ӣ��������ԽASML��һ����Ҫԭ��
���ڹ�̻�����˵�뵼����һ�飬һֱ������Щ�������漯�Ŵ�ѹ���ǵ���Ҫ�ֶΡ�
�����˵�оƬ�������Ĺ�̻��ȵȣ���������һ����Թ����ٴεĿ���
�����ǻ�����С�ף�������о���ʣ��������Ȼ�����/ͨѶ��ҵ��뵼���豸�����̣�����������ƽ�ĶԴ��Ͷ����ѹ�������ܶ�Ĵ��ۡ�
���˵��չ̼��оƬ�����Ʋ�����̻��Ļ���̼��оƬ��Ӱ��������ֵ�ȵȶ����ܵ�һ���̶ȵ����ơ�
���棬�Թ��ҡ��ҡͷ��������ʵ���Ʊ���ҵ������������ȫ��ͬ�ĸ����
��ʵ���Ҳ�ʹ�ù�̻�������˵̼��оƬ���������ƹ��˹�̻���ʵ���һ�������оƬ�����Խ����������е�·��ʴ���Dz��ý�����̻��ġ���
��������ֻ�������о��ķ�����û�취������������
�������յ�ǰоƬ�����ģʽ���������д��ģ������оƬ������ͨ����̵ķ�ʽ������·ͼ�̵���Ƭ����ȥ�ģ�����ֻ�Dz��ϵIJ�ͬ����
����ģʽ��������ʵ����һ�µģ�����Ҫ���е�·��ʴ������·��ʴ���ģ���������������ƹ���̻��ġ���
������Ŀǰ��о�����DZӹ�̼��оƬ�������Dz��õ����ƹ��оƬ�ķ����������ġ���
ͣ����һ�£�����Ŀ�������������ŵ�̼��оƬ�ϣ�����˵����
����Ȼ�������ڴ����ƹ���̻���ͨ�������������̼��оƬ����ܵļ�������Ҳ������֯�������������з�����
������绡�ŵ編��������ʴ������ѧ����������ȷ������Ʊ�̼��оƬ����
����Ŀǰ��˵��Щ������ԶԶ�Ȳ��ϴ�ͳ�Ĺ�̼������죬�����Ʊ�������оƬ������Ҫ����
������֮ǰ���dz��Թ�ʹ�õ绡�ŵ編�ͼ�����ʴ�����Ʊ�̼��оƬ��������������оƬ����һ����������һ����Ȼ�ﵽ����������Ҳ������������ס���
��Ҫ���ƿ���̻���һ�ؼ�����ȥ�ӹ����̼��оƬ��Ŀǰ��˵���������ܣ����Ѻ��ѡ���
�Ľ�����һ�£��Թ���Ŀ���������е�оƬ�ϡ�
��ʵ�ϣ���Ҫ�ƿ���̻�ȥ�Ʊ�̼��оƬ�ģ��ֺ�ֹ����ǰ��λһ����
�����IJ�˵��������˼����о���ʣ����������ƣ�̨���磬Ӣ�ض��ȵȵİ뵼�徧Բ�����������ҵ�һ���ƿ���̻��ӹ�оƬ�ĵ�·��
���ʱ��������ͻ�����˼����о���ʵ��Ŷӵ�����������о�̼��оƬ��ʱ��Ҳ����Щרҵ��оƬ�з���Ա��ѯ��������⡣
����·������ô�����ߵġ�
�����ڰ뵼��ķ�չ�����˼�ʮ�꣬������ȷ���˹��оƬ����·��
��ԭ�����ڹ�ijɱ�Ч��ߡ���ѧ�ȶ��Ժá��뵼���������㡢�ӹ���������ȵ�ԭ��
�����ǰ뵼���������㣬�����зdz��ؼ���һ�㡣
����һ����Ȼ�İ뵼����ϣ����ڴ�����̬�µ�����������������ʣ����ӣ����Կ�����絼�ԣ��Ӷ���Ч���ڵ������Ե֮���л�����������оƬʱ���ɻ�ȱ�����ԡ�
��Աȹ���˵�������IJ������ⷽ�涼�����Լ���ȱ�ݡ�
������������ʹ�õ����оƬ��
�����������ھ���ܵIJ��ϣ����������ڵؿ��еĺ����ϵͣ����³ɱ��ϸߣ����ȶ��Բ���裬�������ȡ����
�������������з���̼��оƬ��
��Ȼ˵̼��������Ȼ����һЩ���ƣ�����ߵ������ٶȺ��͵Ĺ��ģ������ȵ��ʽϵͣ��ӹ��Ѷȴ��ҳɱ��ߣ���Щ���ⶼ����������̼��оƬ�Ĺ㷺Ӧ�á�
�����Dz��ӵ�·���ƺʹ��ģ������̼���ܻ�ʯīϩƬ������̼��оƬ���������еľ����⡣
��Ա�֮�£�����ϵ�����Ҫ��ܶ�ܶ��ˡ�
��Ȼ˵�ߴ��ȵĵ����衢��̽��ȵȶ������⣬������������ǹ�̻���
ֻ�ж���Ĺ�̻��������Ʊ����������Ĺ��оƬ��
�������ŵ�˵����Ŀǰ�������о�����оƬ�Ʊ������У����оƬ�����һ����
���������������һ����Ҳ�Ǻķ��˼��������������漯��+��ʮ���ʱ�����һ��һ������������ġ�
��Ҫ����������ƿ���̻�ֱ�ӵ�̼ӹ�оƬ��̸�����ס�
����˵�����뵽���ĵ�·����ЩоƬ������з���Ա����ȫ���뵽�������������Թ���
��Ȼ˵��̻�Ŀǰ����������̼��оƬ��ǰ��һ�����⣬���Թ��û��̫�����ǡ�
��Ц��Ц������˵��������Ȼ˵��̻�������ܴ�Ŀǰ��˵���Dz�����Ҫ̫�����ǡ���
�������о���̻��ij��̻����еģ�����ħ���DZߵ�ħ�����ӹ�˾�������Ѿ����˳���Ĺ�̻��Ʊ���ϵ�������з���90���ס�110���ס�280�����Լ�55�����Ĵ�ϵ�еĹ�����̻�����
����Ŀǰ�����ƽ���28����̻�Ҳ�������졣��
��������̼��оƬ��˵��̼������������������ϵ���Խ���㹻��һ���̶����ֲ��������Ƴ̹����ϵIJ��㡣��
����������˵��ֻҪ�����ܹ���ÿƽ������̼�������������������ǧ��ţ������������������ܣ��������������������ϵ��и߶�оƬ����
����Ҳ�����ǽ��������ص��о�����
�촨���˵�ͷ���ʵ������Ǿ������Ŀ�꣬���Ǵ�Ż���Ҫ���ʱ�䣿��
����������⣬�Թ����ϸ��˼����һ���������Ա��ص�̬�Ȼش����������Ŀǰ������������һ��֮�ڣ����Ǿ�Ӧ���������߱���ҵ��ֵ��̼��оƬ�ˡ���
����Ȼ����˵�������ҵ��ֵָ���������ܹ�����Ŀǰ�����ϵ��и߶˹��оƬ�ij̶ȡ���
���š�
˼����һ�£��Թ��������������Ӣ�ض��Ŀ��ϵ�������Աȣ�һ������������ܹ����������ܴﵽ���10�������̼��оƬ����
����Ȼ˵����������µ�14��оƬ����һЩ��࣬����̼��оƬ�ķ�չ�ٶȣ����Ŷ���ֻ��Ҫ�������ʱ�䣬���Ǿ���ƽ���������Է�����