115.��115�� ������ع⣬оƬ���������
2023-11-22 ���ߣ� ��������
��115�� ������ع⣬оƬ���������
�ڹҶϵ绰���������Ѿ�˯��ȫ�ޣ���ʼ��ʰ�Լ�����������������ǡ�
����������ܸ㵽���Ӽ���������ô���Ϳ��Գ���ʹ�ô�Լ���������۲����еġ���̹��������̳�����
������
�뽨��̹������ɲ�����ֻ��Ҫ���Ӽ�������
������˵��ʮ���ڣ���ʵ������ͨС�����Ӽ������ļ۸������Ҫ����á����Ƚ������Ӽ�������������ʿLHC���Ӽ����������ʽ����Ҫ�ϰ�������
Ҫ֪��������ASML��˾��װ��20�����Ƴ̵�DUV��̻������������۸�Ҳ�������������ҡ�
���̹��������ϰ��ڣ����ڸ��ֲ�ȷ���ԡ�
���̻�����ʮ���ڣ������ȶ�����оƬ��
����һ�ԱȾ�֪����Ϊʲô��ǰû���뵽��������ˡ�
���̳�������û�вο����飬�൱������ʯͷ���ӣ����в����ͻ������ǣ�Ͷ����ʽ�ȫ����ˮƯ��
���Ҹ㶨���Ӽ�����ֻ�ǵ�һ�����ڶ�������Ҫ�ȶ������㹻��ĵ��ܹ�Ӧ������ά�����Ӽ���������ת�����˵������⣬��Ҫ���ǹ����ݺ��ɢ����Դ�ȶ��ԡ���Լ���ɿ��Ե����⡣
���������������������ҵ����EUV��������̻������ƹ�̹����ĸ�����ԶҲ�������������
����
��һ�ߡ�
���˿Ƽ���˾�ܲ���
����ĬĬ��������Ҫ���豸���ذ칫��Ǣ̸�����������̽����豸˵�˳�����
�ι���üͷһ�壬���������������л�ϻ������ӷ�ɢ�豸����Ӧ�����ǿ̣��Ͳµ��˳�����Ҫ��ʲô��
�ײ�˹����ֱ�ף�ֱ��ѯ�ʵ������������л�ϻ��ͷ��ӷ�ɢ�豸���ѵ�������Ҫ���˹�̽�����
��̽���Ȼ���ù�����ͣ�����оƬ��������Ҫ��һ�����豸���䷽���˲Ŷ���ȫ�����������оƬ���Ϸ������ϵ�һ����
���˵�뵼���Ƭ�����Ƶȼ���20������ô��̽������Ƶȼ�����100����
��������ļ�λ���ܣ����ǹ�˾������Ȼ���漰оƬ���������˭֪������͵͵�����˶��������ҵ��
���ң�
�ֻ�����Ͱ�����оƬ��
����ܹ���оƬ���������ǹ��ڳ��̲���ӭ�����졣
��ҪоƬ���������뵼���Ƭ��̽�����������Ҫ�������������Dz����ܲ�ȥ�˽⡣
���������䷽�𣿡�
�Ƹ���ֱ�ס�
����������˵����̽������豸ʱ��˲�����뵽���˿Ƽ�Ҳ�в��֣��������ھ�ȱ�豸��
��λ�����ɻ�ؿ�����ǣ����Ƕ���֪���𰸡�
Ȼ����
���ǵ���һЦ�������������Ժʿ�����˼�λ���Ӧ�����ר�Ҹ��ң�Ŀǰ�Ļ�����θ㵽�豸��һ�����⡣��
���²�����˦�����̡�
��������˫ԺԺʿ����ʶ������̽������˲źܺ����ɣ�
��̽������˲ţ�֪�������䷽�ܺ����ɣ�
�����ι��ǡ��ײ�˹���Ƿ�����ȥ��֤��
���ų��ǰ�����̵����ţ���λ����Ҳ�ٸк����ˣ��Ͼ��ǿ�����������Ժʿ������
Ժʿ��ҡ�����˵Ļ���
˭�����ԣ�
�ι��dz�Ĭ�˰��Σ��漴���ڵ�������������ϵİ�����û����Ը��������Щ�豸�һ�ͷ�������ʣ�����ʱ�����Ҫ��һ�㡣��
������̽����豸һ�㶼�ǽ��ڣ������ڵ��豸��Ԥ�����ڱ����ͳ����ټ��϶���������ƣ�˭Ҳ��֪������ʲôʱ����Ը㵽��
���Ǿ��鷳�������ˡ���
����Ҳ���ż�����о�������ܸ�����Ҳ˵�ˣ������DZ��й�̽������
Ŀǰ����֮�������������12��뵼���Ƭ��������
����Ҳ������豸����
�ײ�˹Ҳ����һ����¶��Ĩ����Ц�ݵ������ҿ����ܲ����ڹ�������ø㣬�DZߵ�����û��ô��
����ƽ������������
�ƣ�����������
����������������
�ڳ����ˣ���ͬ���Ǻ��ι��Ƕ����ˣ�����������������棿
���˶��ڼ�����������������ײ�˹�ڷ�ʽ�����������
������һ˵һ��
�뵼����������豸�ij����Dz������豸��
����
��������������������
�����ǹ�̽������ǰ뵼���Ƭ�������豸���ֶ��������絺����¹���
���Ǹ�������վ���������Ķ����棬ֻ�����Ӱ��ţ��ԹԵظ�������ҵ���ޡ�
�����������ˣ��������������ҵ�����أ�
������������ҵ�����ҹ������ҵʲô�£�
�������ҵ��������
Ҳ����Ϊ�뵽�����������������Ŀ��ܣ��ײ�˹�Ż�������������������ֻ��г���
Ǯ�������ߣ��������ڹ�����ǿ����������Ҹ������Э�飬�ù����������ҵ�����豸�����ܿ���Ǯ����ȥ�˰ɣ�
������ؼ����ǣ�������DZ���Ȼ��������������ȴ�������豸�����������ǹ��ڸ�����û��оƬ����������
���üһ�ײ�˹���Ƕ���������ģ���������ͨ������
��ֱ���ײ�˹�������������ż�����Թ��������˵�����㲻�����ֵ���һ�������������
������˵����
�ι�����������ǰһ����ѹ�������������Ա����ҵ����ȥ����͵͵�˻ع��ڣ��������ܽ��ȱ�豸�����⡣��
����ν����Ҫһ�ڿڳԣ�·Ҫһ�����ߡ�
���������İ뵼����ҵ������ȱ�豸����ȱ�˲š�
��������Ƚ���豸���⣬�˲ŷ��滹�ǿ������������ġ�
���ǿ����ײ�˹�������Ĩ���壬���֡�����������ķ������������������������������ҵ���ҵ���ܴ�����
�����˹�̽��豸���뵼���Ƭ��ô�������
����ƽѯ�ʡ�
оƬ�����ɲ�ֹ��̽����뵼���ƬҲ������֮�ء�
�������䣬����˳������˵�������뵼���Ƭ���棬���輯���DZ�Ӧ�ÿ��Ը㶨�ɣ�12���û�У�6���8���10NƷ�ʰ뵼���Ƭ���ǻ����еġ���
���������еġ���
��Ȼ�������������ģ�����Ҳû���������ѻ��輯�Ž�̸������Ҳ�Բ����á�
����������ʹ��6���8��İ뵼���Ƭ��оƬ�����ɱ��������ӣ��ҵ���Ը��Ӽ������ҵ��ĵ��ǣ����������ӻ��輯�ŵĶ�����Ӧ����
�����ڻ��輯�š���о���ʶ����ڰ��ӣ�û�б�ץ���ѱ�������ʵ�Dz����������ǵġ���
�������뵽�����飬�����������벻����
���輯�����Բ�6�硢8��뵼���Ƭ������Ҳ����ʲô���ܣ����Dz����ܲ�ע�⡣
����6���8��뵼���Ƭ��ûʲô�г�����ͻȻ�������������Ǿ�˵��һ�����⣬ȷʵ����о���ʴ���������оƬ��
��������
��̾�˿�����¶��Ĩ��ɫ�������Ǿ���˵�����dz���Ҫ�����̽����⣬��Ҫȥ����뵼���Ƭ�����⣿��
��Ӧ�����ˡ���
�ײ�˹Ҳ¶��Ĩ��ɫ��
������ʱ���ι���վ�˳����������뵼���Ƭ��������ʵ��Ͷ�ʼ�����ҵ����
����������
�ײ�˹����һ����
�üһ
���涼�����ֻ��������ﶼ��͵͵��������оƬ��ҵ�ǰɣ�
������Ҳ���ܹ����ǣ�˭���{ͨ��˾�۸��ˣ����������ϲ���Ǽۣ�Ū��һ�������ֻ���ҵ���ܿ�����أ�
��оƬ������DZ��Ƶġ�
����ʵ�ɡ�����
����Ҷ�˵���ˣ�����ƽҲ���������ˣ�̹Ȼ�������������̳����Ҳ�а뵼���Ƭ���֣��Ѿ����Զ�������6���Ƭ����
�������Ҳһ������
�ι���¶��Ĩ����˵����
�������ھ��ǣ��뵼���Ƭ�������ˣ����ƿ������ˣ���û�뵽�Լ�ͬ����ô����
һ�������������������豸��
����Ͷ�ʰ뵼���Ƭ��ҵ���Ѿ�ʵ����6���Ƭ������
�������ڸ�ֱ������
�ֻ������볧��֮�䣬���δ��Ҳ̫���˰ɡ�
Ȼ����û�꣬���̳���һλ���ϴ�ʼ�˳���������˵���ˣ��������������ˣ�ͬ��̹�Ե������������̨�ƽ���DUV��̻���������48�����Ƴ̵ġ���
�ι��ǣ���������
�ײ�˹����������
����ƽ����������
���ƽ��Ĺ�̻������ˣ����ڸ����������������Լ����ƶ��õ�̨����˵�ˡ�
���dzԾ���ͬʱ����æѯ�ʵ�����Ҳ����˵�������Լ��Ĺ�̻��������������ģ���
��ݸ�ǡ���
����������ԥ�ش����
����ƽ�����һ�����������Լ��ĺ�����������û�뵽�����¸���صı��һ����
���˴˱˴ˡ���
����Ц�Ǻǵ���
���̳���Ȼ��һ����˾������������Ʒ�ƣ�����ƽ�ͳ�������ִ�ƴ�Ȩ��
����û�뵽����ƽ���˰뵼���Ƭ������ƽҲû�뵽����͵͵�ƽ���һ̨48�����Ƴ̵Ĺ�̻���
Ŀ����ȫ�̵��ƣ�������������Щ�������ң���ͻȻ�����ײ�˹������ƽ��������İ������
Ѱ˼���������û��ȥ����оƬ�������ڣ�
���۳��ǣ���������Щ����������ֹ��ס���������������Ϣʵ����̫��ʱ�ˡ�
��������Լ��й�̻�������ֻ��48�����Ƴ̵ģ�˵����Ҳ���ö����ع⼼�����Բ���28���Ŀ������оƬ��
����28���������оƬ����������ά������X1�ֻ�����������������ô�룿
���ǿ϶����룬��̤����������˭�����ģ�
��о���ʴ�ɴ���ú�������ʦȥ�飬�����Ϳ�����ϴ�����ɣ����������ڰ����������˿Ƽ�����14�������۴�����оƬ��
�����̻����ܹؼ���
�ײ�˹���������ʣ�����������ʵ�����28���Ŀ������оƬ����48����̻��������𣿡�
��Ҫ��������ƣ���
�ι������顣
���Ƕ���֪�������ع⼼����������Ϊ48����̻���ֻ������48������оƬ��
�����˶��ͳ������ơ��ˣ�����Ҳ���������������Ӧ�����������ع⼼�����Խ���������⣬48�����Ƴ̹�̻��������ϣ�����������12����оƬ����
���ȿȡ��ȿȿȡ�����
�Ʋ�ˮ�������������仰��Ǻ���ˡ�
48�����Ƴ̹�̻�����������12����оƬ������
�ι��ǡ��ײ�˹������ƽ���˶�¶��Ĩ�ɻ���������æ�ʵ���������ô��������
48�����Ƴ̵�DUV��̻�Ŀǰ�Ѿ�������̭����������Ʋ�����Ҳ�ſ��˲��٣���������㵽һ̨������������ƽ⡣
���ƽ����˼Ҳ�ܵ�������������δ����ѡ�
������������ȫ���Ʋ�оƬ��������͵͵�ƽ���һ̨��̻����Է���ʱ֮�衣
������˵���ܲ�12����оƬ��
��̨48�����Ƴ̵Ĺ�̻��ڳ�����������ڷ�����ƽ𣬴����Ǽ��ˣ�
�������ع⼼������
���ǵ���˵�������֡�
���¸������ǣ����û���������Բ���ʾ��������Ҳ��֪������ʲô���ԭ����
�������ع⣿��
��ʲô�Ƕ����ع⣿��
�����ܣ��ѵ��������˿Ƽ��й�������˲ţ���
�ڼ����ɻ�ʱ���ι���¶��Ĩ��Ȼ��������飬����������ԭ����ˣ��ֲ�����о�����ܸ����Ǵ���14��������оƬ��ԭ�������������ν�Ķ����ع⼼������
��ԭ����������EUV��̻������ײ�˹���㶣�������Ϊ��о��������EUV��̻��ء�
����֮ǰ��ʵ���ڲ£�������˭�����˿Ƽ���˾����14�������۴�����оƬ��
��о���ʣ�
������ûEUV��̻�����
ûEUV��������̻�����ô����14����оƬ��
���ڣ�
ˮ��ʯ���ˣ�
��������������ҵ���ٴ�ʵ������������ü����ֲ����豸�����ϵIJ��㡣
��һ�������ơ��Ľ�̸��������ÿλ���ܶ��ջ����࣬�ر������̳��ij�����
��������ʶ���������ľ����Ƕ�ô��ȷ��δ����Ѿ��ǿ�����δ����ij��˲��������Լ���չ��
���뵼���Ƭ���ˣ���̽�����û�����˿Ƽ����ưɣ������ø����������ɼ�λ����ʦ����������48����̻��ܲ��ܲ�28���Ŀ������оƬ����
�����������
���Ѿ��Ȳ��������뿴���Լ���̻�����������оƬ��
�������Բ���28����оƬ������ľ��Ǵ�����ͷ��Ȼֱ������������һ�壡
Ȼ�������������˿��ڣ�����¶��Ĩ����Ц�⣬��������˵����������Ҫ����о���ʣ�����߾����˻�����ع⼼������
�ƣ���������
�úúã�
�úúúúúã�
Ѱ˼��
�����û����оƬ������
���������ˣ����Ƭ�ĸ��Ƭ�����豸�ĸ��豸�����̻��ĸ��̻������и��������ع⼼����ͻ�ƹ�̻����Ƶģ�
������
��ôȥ���˸�ֱ����ҵ����
(������)