��ҳ > �ƻÿռ�> �Ƽ���˾���ҳɹ���֮�⣡ > 115.��115�� �෽�����ع⣬оƬ���������

115.��115�� �෽�����ع⣬оƬ���������

2023-11-22 ���ߣ� ��������
  ��115�� �෽�����ع⣬оƬ���������
  �ڹҶϵ绰���������Ѿ�˯��ȫ�ޣ���ʼ��ʰ�Լ���������׼��������ǡ�

  ����������ܸ㵽���Ӽ���������ô���Ϳ��Գ���ʹ�ô�Լ���������۲����еġ���̹��������̳�����

  ������

  �뽨��̹������ɲ�����ֻ��Ҫ���Ӽ�������

  ������˵��ʮ���ڣ���ʵ������ͨС�����Ӽ������ļ۸������Ҫ����á����Ƚ������Ӽ�������������ʿLHC���Ӽ����������ʽ����Ҫ�ϰ�������

  Ҫ֪��������ASML��˾��װ��20�����Ƴ̵�DUV��̻������������۸�Ҳ�������������ҡ�

  ���̹��������ϰ��ڣ����ڸ��ֲ�ȷ���ԡ�

  ���̻�����ʮ���ڣ������ȶ�����оƬ��

  ����һ�ԱȾ�֪����Ϊʲô��ǰû���뵽��������ˡ�

  ���̳������󣬻�û�вο����飬�൱������ʯͷ���ӣ����в����ͻ������ǣ�Ͷ����ʽ�ȫ����ˮƯ��

  ���Ҹ㶨���Ӽ�����ֻ�ǵ�һ�����ڶ�������Ҫ�ȶ������㹻��ĵ��ܹ�Ӧ������ά�����Ӽ���������ת�����˵������⣬��Ҫ���ǹ����ݺ��ɢ����Դ�ȶ��ԡ���Լ���ɿ��Ե����⡣

  ���������������������ҵ����EUV��������̻������ƹ�̹����ĸ�����ԶҲ�������������

  ����

  ��һ�ߡ�

  ���˿Ƽ���˾�ܲ���

  ����ĬĬ��������Ҫ���豸�󣬷��ذ칫��Ǣ̸�����������̽����豸˵�˳�����

  �ι���üͷһ�壬����������΢�����л�ϻ������ӷ�ɢ�豸����Ӧ�����ǿ̣��Ͳµ��˳�����Ҫ��ʲô��

  �ײ�˹����ֱ�ף�ֱ��ѯ�ʵ�������΢�����л�ϻ��ͷ��ӷ�ɢ�豸���ѵ�������Ҫ���˹�̽�����

  ��̽���Ȼ���ù�����ͣ�����оƬ��������Ҫ��һ�����豸���䷽���˲Ŷ���ȫ�����������оƬ���Ϸ������ϵ�һ����

  ���˵�뵼���Ƭ�����Ƶȼ���20������ô��̽������Ƶȼ�����100����
  ��������ļ�λ���ܣ����ǹ�˾������Ȼ���漰оƬ���򣬵������˭֪������͵͵�����˶��������ҵ��
  ���ң�

  �ֻ�����Ͱ�����оƬ��

  ����ܹ���оƬ���������ǹ��ڳ��̲���ӭ�����졣

  ��ҪоƬ���������뵼���Ƭ�͹�̽�����������Ҫ�������������Dz����ܲ�ȥ�˽⡣

  ���������䷽�𣿡�

  �޺Ƹ���ֱ�ס�

  ����������˵����̽������豸ʱ��˲�����뵽���˿Ƽ�Ҳ�в��֣��������ھ�ȱ�豸��

  ��λ�����ɻ�ؿ�����ǣ����Ƕ���֪���𰸡�

  Ȼ����

  ���ǵ���һЦ��΢΢��׵���������Ժʿ�����˼�λ���Ӧ�����ר�Ҹ��ң�Ŀǰ�Ļ�����θ㵽�豸��һ�����⡣��

  ���²�����˦�����̡�

  ��������˫ԺԺʿ����ʶ������̽������˲źܺ����ɣ�

  ��̽������˲ţ�֪�������䷽�ܺ����ɣ�

  �����ι��ǡ��ײ�˹���Ƿ�����ȥ��֤��

  ���ų��ǰ�����̵����ţ���λ����Ҳ�ٸк����ˣ��Ͼ��ǿ�����������Ժʿ������

  Ժʿ��ҡ�����˵Ļ���
  ˭�����ԣ�

  �ι��dz�Ĭ�˰��Σ��漴���ڵ�������������ϵİ�����û׼����Ը��������Щ�豸�һ�ͷ�������ʣ�����ʱ�����Ҫ��һ�㡣��

  ������̽����豸һ�㶼�ǽ��ڣ������ڵ��豸��Ԥ�����ڱ����ͳ����ټ��϶෽���������ƣ�˭Ҳ��֪������ʲôʱ����Ը㵽��

  ���Ǿ��鷳�������ˡ���

  ����Ҳ���ż�����о�������ܸ�����Ҳ˵�ˣ������DZ߻��й�̽������

  Ŀǰ����֮�������������12��뵼���Ƭ��������

  ����Ҳ������豸����

  �ײ�˹Ҳ����һ����¶��Ĩ����Ц�ݵ������ҿ����ܲ����ڹ�������ø㣬�DZߵ�����û��ô�󡣡�

  ����ƽ������������

  �޺ƣ�����������

  ����������������

  �ڳ����ˣ���ͬ���Ǻ��ι��Ƕ����ˣ�����������������棿

  ���˶��ڼ�����������������ײ�˹�ڷ�ʽ�����������
  ������һ˵һ��

  �뵼����������豸�ij����Dz������豸��
  ����
  ��������������������
  �����ǹ�̽������ǰ뵼���Ƭ�������豸���󲿷ֶ��������޺絺����¹���

  ���Ǹ�������վ���������Ķ����棬ֻ�����Ӱ��ţ��ԹԵظ�������ҵ���ޡ�

  �����������ˣ��������������ҵ�����أ�

  ������������ҵ�����ҹ������ҵʲô�£�

  �������ҵ��������
  Ҳ����Ϊ�뵽�����������������Ŀ��ܣ��ײ�˹�Ż᲻�������������������ֻ��г���

  Ǯ�������ߣ��������ڹ�����ǿ����������Ҹ������Э�飬�ù����������ҵ�����豸�����ܿ��԰�Ǯ����ȥ�˰ɣ�

  ������ؼ����ǣ�������DZ���Ȼ��������������ȴ�������豸�����������ǹ��ڸ�����û��оƬ����������

  ���üһ�ײ�˹���Ƕ���������ģ���������ͨ������

  �޺�ֱ���ײ�˹�������������ż�����Թ��������˵�����㲻�����ֵ���һ�������������
  ������˵����

  �ι�����������ǰһ����ѹ�������������Ա����ҵ����ȥ����͵͵�˻ع��ڣ��������ܽ��ȱ�豸�����⡣��

  ����ν����Ҫһ�ڿڳԣ�·Ҫһ�����ߡ�

  ���������İ뵼����ҵ������ȱ�豸����ȱ�˲š�

  ��������Ƚ���豸���⣬�˲ŷ��滹�ǿ������������ġ�

  ���ǿ����ײ�˹�������Ĩ���壬���֡�����������ķ������������������������������ҵ���ҵ���ܴ�����

  �����˹�̽��豸���뵼���Ƭ��ô�������

  ����ƽѯ�ʡ�

  оƬ�����ɲ�ֹ��̽����뵼���ƬҲ������֮�ء�

  �������䣬����˳������˵�������뵼���Ƭ���棬���輯���DZ�Ӧ�ÿ��Ը㶨�ɣ�12���û�У�6���8���10NƷ�ʰ뵼���Ƭ���ǻ����еġ���

  ���������еġ���

  ��Ȼ�������������ģ�����Ҳû���������ѻ��輯�Ž�̸������Ҳ�Բ����á�

  ����������ʹ��6���8��İ뵼���Ƭ��оƬ�����ɱ��������ӣ��ҵ���Ը��Ӽ��򣬵����ҵ��ĵ��ǣ������᲻����ӻ��輯�ŵĶ�����Ӧ����

  �����ڻ��輯�š���о���ʶ����ڰ��ӣ�û�б�ץ���ѱ�������ʵ�Dz����������ǵġ���

  �������뵽�����飬�����������벻����

  ���輯�����Բ�6�硢8��뵼���Ƭ������Ҳ����ʲô���ܣ����Dz����ܲ�ע�⡣

  ����6���8��뵼���Ƭ��ûʲô�г�����ͻȻ�������������Ǿ�˵��һ�����⣬ȷʵ����о���ʴ���������оƬ��

  ��������

  �޺�̾�˿�����¶��Ĩ��ɫ�������Ǿ���˵�����dz���Ҫ�����̽����⣬��Ҫȥ����뵼���Ƭ�����⣿��

  ��Ӧ�����ˡ���

  �ײ�˹Ҳ¶��Ĩ��ɫ��   
  ������ʱ���ι���վ�˳����������뵼���Ƭ��������ʵ��Ͷ�ʼ�����ҵ����

  ����������

  �ײ�˹����һ����

  �üһ
  ���涼�����ֻ��������ﶼ��͵͵��������оƬ��ҵ�ǰɣ�

  ������Ҳ���ܹ����ǣ�˭���{ͨ��˾�۸��ˣ����������ϲ���Ǽۣ�Ū��һ�������ֻ���ҵ���ܿ಻�����أ�
  ��оƬ������DZ��Ƶġ�

  ����ʵ�ɡ�����

  ����Ҷ�˵���ˣ�����ƽҲ���������ˣ�̹Ȼ�������������̳����Ҳ�а뵼���Ƭ���֣��Ѿ����Զ�������6���Ƭ����

  �������Ҳһ������

  �ι���¶��Ĩ����˵����

  �������ھ��ǣ��뵼���Ƭ�������ˣ����޺ƿ������ˣ���û�뵽�Լ�ͬ����ô����

  һ�������������������豸��

  ����Ͷ�ʰ뵼���Ƭ��ҵ���Ѿ�ʵ����6���Ƭ������

  �������ڸ�ֱ������

  �ֻ������볧��֮�䣬���δ��Ҳ̫���˰ɡ�

  Ȼ����û�꣬���̳���һλ���ϴ�ʼ�˳���������˵���ˣ��������������ˣ�ͬ��̹�Ե������������̨�ƽ���DUV��̻���������48�����Ƴ̵ġ���

  �ι��ǣ���������

  �ײ�˹����������

  ����ƽ����������

  ���ƽ��Ĺ�̻������ˣ����ڸ����������������Լ����ƶ��õ�̨����˵�ˡ�

  ���dzԾ���ͬʱ����æѯ�ʵ�����Ҳ����˵�������Լ��Ĺ�̻��������������ģ���

  ��ݸ�ǡ���

  ����������ԥ�ش����

  ����ƽ�����һ�����������Լ��ĺ�����������û�뵽�����¸���صı��һ����

  ���˴˱˴ˡ���

  ����Ц�Ǻǵ���

  ���̳���Ȼ��һ����˾������������Ʒ�ƣ�����ƽ�ͳ�������ִ�ƴ�Ȩ��

  ����û�뵽����ƽ���˰뵼���Ƭ������ƽҲû�뵽����͵͵�ƽ���һ̨48�����Ƴ̵Ĺ�̻���

  Ŀ����ȫ�̵��޺ƣ�������������Щ�������ң���ͻȻ�����ײ�˹������ƽ��������İ������

  Ѱ˼���������û��ȥ����оƬ�������ڣ�

  ���۳��ǣ���������Щ����������ֹ��ס���������������Ϣʵ����̫��ʱ�ˡ�

  ��������Լ��й�̻�������ֻ��48�����Ƴ̵ģ�˵����Ҳ���ö����ع⼼�����Բ���28���׵Ŀ������оƬ��

  ����28���׿������оƬ����������ά������X1�ֻ�����������������ô�룿
  ���ǿ϶����룬��̤����������˭�����ģ�

  ��о���ʴ�ɴ�󷽷��ú�������ʦȥ�飬�����Ϳ��԰���ϴ�����ɣ����������ڰ����������˿Ƽ�����14�������۴�����оƬ��

  �����̻����ܹؼ���
  �ײ�˹���������ʣ�����������ʵ�����28���׵Ŀ������оƬ����48���׹�̻��������𣿡�

  ��Ҫ��������ƣ���

  �ι������顣

  ���Ƕ���֪�������ع⼼����������Ϊ48���׹�̻���ֻ������48���׹���оƬ��

  �����˶��ͳ������ơ��ˣ�����Ҳ���������������Ӧ�����������ع⼼�����Խ���������⣬48�����Ƴ̹�̻��������ϣ�����������12����оƬ����

  ���ȿȡ��ȿȿȡ�����

  �޺Ʋ�ˮ�������������仰��Ǻ���ˡ�

  48�����Ƴ̹�̻�����������12����оƬ������

  �ι��ǡ��ײ�˹������ƽ���˶�¶��Ĩ�ɻ󣬳���������æ׷�ʵ���������ô��������

  48�����Ƴ̵�DUV��̻�Ŀǰ�Ѿ�������̭����������Ʋ�����Ҳ�ſ��˲��٣���������㵽һ̨������������ƽ⡣

  ���ƽ����˼Ҳ�ܵ�������������δ����ѡ�

  ������������ȫ���Ʋ�оƬ��������͵͵�ƽ���һ̨��̻����Է���ʱ֮�衣

  ������˵���ܲ�12����оƬ��

  ��̨48�����Ƴ̵Ĺ�̻��ڳ�����������ڷ�����ƽ𣬴����Ǽ񵽱��ˣ�

  �������ع⼼������

  ���ǵ���˵�������֡�

  ���¸������ǣ����û���������Բ���ʾ��������Ҳ��֪������ʲô���ԭ����

  �������ع⣿��

  ��ʲô�Ƕ����ع⣿��

  �����ܣ��ѵ��������˿Ƽ��й�������˲ţ���

  �ڼ����ɻ�ʱ���ι���¶��Ĩ��Ȼ��������飬����������ԭ����ˣ��ֲ�����о�����ܸ����Ǵ���14��������оƬ��ԭ�������������ν�Ķ����ع⼼������

  ��ԭ����������EUV��̻������ײ�˹���㶣�������Ϊ��о��������EUV��̻��ء�

  ����֮ǰ��ʵ���ڲ£�������˭�����˿Ƽ���˾����14�������۴�����оƬ��

  ��о���ʣ�

  ������ûEUV��̻�����

  ûEUV��������̻�����ô����14����оƬ��

  ���ڣ�

  ˮ��ʯ���ˣ�
  ��������������ҵ���ٴ�ʵ������������ü����ֲ����豸�����ϵIJ��㡣

  ��һ�������ơ��Ľ�̸��������ÿλ���ܶ��ջ����࣬�ر������̳��ij�����

  ��������ʶ���������ľ����Ƕ�ô��ȷ��δ����Ѿ��ǿ�����δ����ij��˲��������Լ���չ��

  ���뵼���Ƭ���ˣ���̽�����û�����˿Ƽ����ưɣ������ø����������ɼ�λ����ʦ����������48���׹�̻��ܲ��ܲ�28���׵Ŀ������оƬ����

  �����������

  ���Ѿ��Ȳ��������뿴���Լ���̻�����������оƬ��

  �������Բ���28����оƬ������ľ��Ǵ�����ͷ��Ȼֱ������������һ�壡
  Ȼ�������������˿��ڣ�����¶��Ĩ����Ц�⣬��������˵����������Ҫ����о���ʣ�����߾����˻�����ع⼼������

  �޺ƣ���������

  �úúã�
  �úúúúúã�

  Ѱ˼��
  �����û����оƬ������

  ���������ˣ����Ƭ�ĸ��Ƭ�����豸�ĸ��豸�����̻��ĸ��̻������и��������ع⼼����ͻ�ƹ�̻����Ƶģ�

  ������

  ��ôȥ���˸�ֱ����ҵ����

  (������)