��349�� �뵼��оƬʱ�����ˣ����ǹ���ѹ�Ἴ����
2024-04-22 ���ߣ� ��������
��349�� �뵼��оƬʱ�����ˣ����ǹ���ѹ�Ἴ����
�ƹ��˹��ո��ӵĹ�̻����ù�������ʽ����������оƬ��̻��ڣ�
��仰�������˶������ˡ�
��̻���ʲô��
��ҵ�ʹڣ�
Ϊʲô�����Գ�Ϊ��ҵ�ʹڣ�
����ô˵�ɣ�ȫ����û���κ�һ�������ܹ������������������������Ҳ���У���̻����Ǽ����ҵʵ�����۷�֮����
�ͱ���˵�¹������˽�֪��ӵ�о�տ�Ļ�е���պ����켼�����ǹ��ϵĹ�ҵǿ����
���������ۡ��µ϶��е�ϵѪͳ���ܶ�����������Ĺ��ң����Ա���֮Ϊ��ҵ������ܹ����һ��ˮ�����Ĺ��Ҳ��ܽй�ҵǿ������Ϊӵ�ж���������������������ζ�Ź����ع�ҵʮ��ǿ����ɻ�̹��Ҳ���ڻ��¡�
�ڹ�̻������ϣ��¹������˻�еϵͳ�;������죬���ҹ�̻��ľ�Ƭ��ͬ�������Ե¹�������˾�Ĺ�ѧ��Ƭ��
�������
������ʿ�����������������綥���ļ�������
ʲô�Ǽ�������
��̻����й�̣���Ҫ��ȷ�ļ�������Ͷ��ͼ���������ļ��⼼����ȷ���������ȶ��ԡ����Ⱥ�Ч�ʷ��涼���Źؼ��Ե����á�
���������ң��������ṩ�Ĺ�Դ������
��Դ�Ͳ���Ҫ��˵�ˣ�193���ײ�����������⣬13.5���ײ����ļ�����⣬���������ṩ�ĸߴ�����Դ������
��Щ���ҵļ����ڹ�̻������γ�����Ч��������ͬ�ƶ��˹�̼����ķ�չ��Ӧ�á�
��Ȼ�ˡ�
Ҳ�����������������ҳ�����
��̻����������ܲ��������ƹ�ҵ�������ȫ�����������죬��Ҳ��Ϊʲô˵����̻������ҵ�ļ����֮����
���ں���ASML��˾������ʵ���Ǹ����������̡�
�����ñ����ķ�װ��������ȫ��������ṩ�Ķ��⼼���ۺϽ������С���豸��Ѷ�ͬ���dz�֮�ߣ���Ϊ�㲿�������ھ��ܣ�λ��ѡ��Ҳ��Ҫ���ء�
�����������˵����̻���Ȼ���ƿ��ˣ�
��������أ�����
�������ֳ�����������˽�����˼����������Ժ��ѣ�������Ҳ�������ˡ�
����̹���ʲô���⣿��
����֪������ȫû��˵�����Ѳ�����90�����ǰ��оƬӡˢ�������˿Ƽ��Ͼ�װ��ƿ����
���е㲻ȷ������
��Ҫ�������ƿ���̻���������˵����оƬ�ջ��ˣ���
����Ҫ��֤��ʷ���𣿡�
�����ֳ������ܣ���������ʮ�����ϵ������ҵ�ң����������ͱ���������ǿ������ǵĴ��ڡ�
�����š���̹������������������������˶��������ˣ���һ����һ��÷������ֳ��Ե��Һ�壬��������˲��г���
����Ҳû�������Ǿõȣ�����ң������LED��Ļ�����˹�̹����ڲ���ʵ����Ƶ��
�Զ�ȡƬ��
���̻������������İ뵼���Ƭ����ͨ����յĹ��·�ߣ�����Ƭ���͵�ָ������
�Զ���ϴ��
����SC1��ϴҺ��������ϴҺ��ϴ�������ڰ뵼���Ƭ����Ļҳ������ʡ�
�Զ��濾��
��600�ȵĸ��½��뵼���Ƭ���������ˮ��������ȷ����̽����Ծ��ȸ��ǡ�
�Զ�Ϳ����
ͿĨ���Ӧ�Ĺ�̽���
�Զ���̡�
���Ѿ�ͿĨ��̽��Ĺ�Ƭ�����͵�ָ����������ƿ��ڵ���Ƭ�����ع⡣
һϵ�е���Ƶ��ʾ���ֳ������˶��Ѿ�Ŀ�ɿڴ��������ι��ǡ��ײ�˹��С���硣
ֱ�������ը���˹���������ĵ�Ļ���ˢ����
�����ǣ����й�̹���������
����C9���˸�У��ҵ�������ڹ���ij�����о�������������Ϊ���Ļ������Ѿ��㶥��ˮƽ�ˣ�����˾�����ֻ��˵������ţ�ƣ����˿Ƽ�ңң���ȣ���
����Щʱ����Ҳ��˵һЩɧ������Ū�±�ī�����κα���û�Ļ���һ��ţ�������£�����ţ�ƣ����˿Ƽ�ţ�ƣ���
�����̹�����ȫ�Զ����������о��Ѿ�������������������ˣ�����������ˮ�����䣬ңң������ȫ���簡����
��ɶҲ��˵�ˣ�ңң���ȣ���
һֱ�����������������˻��������ˣ������������˹�̻�����������оƬ��˼�롣
�ɽ�����
�������״����ˡ�
��̻���
ΪʲôҪ�߹�̻�·�ߣ�
�Լ�������·�߲�����
С����Ҳ���Ǽ��������ˣ������ⶼ��÷���ˮ��Ķ�����ҵ�ң��ɿ�����Ƶ��ʾ����Ҳ���ɵ�զ���������������������辶���������ɡ���
ʮ�����������ƶ��У���Ҳ���͵��������ϵ������ţ���ˣ����ŵ��ƾ�ȻҲ���ˣ�������ظ�˯���ž��˰ɣ���
�ײ�˹���ι��Ƕ���һ�ۣ����˶�û��˵�������������������Ѿ����������ˡ�
����Ϊ�Լ��ͳ��Dz�����ǧ����ֵ��˾��
������û�뵽�����ǵĵ��Ʋ��������ǹ�̹��������Ѿ�����������Ī���Ĵ��ڡ�
һֱ��עֱ���Ļ���ѫ�Ѿ����Ծ�վ�������������˴���ľ����ͬʱ���뵽������������С˵��
�����̻��ǵ�����ʥ��������λǰ�����ٳ�����·��
��ô��̹������൱��������ʥ�����������˿Ƽ��ĵ�·�����������ϵĿ������ɣ�
�����˿Ƽ������ǡ���
�����˿Ƽ������ǡ���
����ѫ�����
���Ѿ��Ҳ�����������������Լ���ҹ�˾�����Ǽ�ֱ����Ϊ���漣������
ͬ���ڹ�עֱ����ǰ����̡�С�����ɡ��پ�Сɽ���Ѿ���ʶ�����������ԡ�
�������ˡ���
���뵼������Ҫ�����ˡ���
��ߴ�뵼���Ƭ��ȫƷ���̽�����̹��������˿Ƽ���֪�������Ѿ��Ѱ뵼��оƬ�����ȫ���ѵ�ȫ�������
������ע������ʷ�ᡣ
�������ǵ������ŵ���λ�᳤���뵺�ľϱ�ï��ƻ����˾�Ŀ�ˣ�ǰ�������μ�5G������̸������������Ҵ������Ѿ�������˭Ҳû�뵽���Dz���ô���ֱ�ȶ���A�εİٱ������ܲض�����
���ڴ���˰��Ļ�ʢ�٣�λ�����ɽׯ�������С�������һ��ʮ���������ܡ�����ɫ�������֣�Ŀ���˸���������š�
��̻����������ĵ��ƣ���ô�ᱻͻ�ƣ�
EDA�������棬����֪�����������л��۵ġ�
����Ҳ����˵��EDA������оƬԭ���Ϲ�Ӧ����оƬ��ơ���̻�ȫ�������ˣ�
�������ʵ����һ����ǿ��
��������������������Ƶ����̻����ǹ�ҵ�ʹڣ����ҵ���۷�֮������ô���ܻᱻ�������������������Ƶ���ݡ���
�����С��������������š�
��˵������
�����߲�ȫ���������š�
�����ǰ������������壬���ǻ����ֱ������ֵ���˹����¼��壬�����˵ȫ�ӻᣬ���ǵĵ����˶���������������ġ�
������ҵ������оƬȫ��ҵ�������Ƕ��������ź�������ء�
����
�����߲㼯�岻���ţ������ƺ�����Ԥ�ϣ�������û����ǰ��İ뵼���Ƭ��̽��������Լ�������Լ�����������Բ������
�����ˣ���Ƶ�Ѿ������꣬���ڹ�̹��������Ƚ���������չʾ���ҾͲ��������ļ����ˣ��Ͼ���������������˫�۾����ڶ���ֱ���䣬�±���͵��ȥ����
�������¡�
�ֳ����ܲŻع���
��žžž������
��������ˮ�����£����Ƿ������ÿ�����䡣
Ҳ������������ǰ㣬��������������˫�۾�������ֱ���䣬���������ij����ļ��������п��ܻ������������ر���Ŀ�飬���Թ����ļ������й�����ݣ���ʱ��͵ò���ʧ�ˡ�
�������������Ǻ�Ȼ����һת������˵��������Ȼ��̹����ĺ������켼�����ܹ���������صIJ����ǿ��Թ����ġ���
���ٴΰ���ң������LED��Ļ��������л���
��ʱ�䡣
ȫ���ٴξ�����
�����ǰɣ�193����������⣬13.5��������⣬7��������⣬����3���ײ����ļ�����⣬����������𣿡�
���Ѳ��ɹ�̹�����ͬʱ�߱���ô���Դ����
���桤��̹�������
���ֲ��ó��ܸҺͿ���¶�Լ��ԭ���������Ѿ�������3����оƬ��ȫ���ر���������
������װ���������ˣ���
��ңң���ȣ���
ȫ�������Ѿ�û�����յ������ڽ�ͷ�Ӷ��������ţ���̹��������Ǵ�δ������ƹ���̻���ȫ��;����
���ڵ�һ�ŵij�������ʱ�̲�ס��Ц���������ƽ���������û�뵽���ϵܲ�����ô�����Ϊ�������������Ǻ�������оƬ������û�뵽���Լ����˸���̹��������ƹ��˹�̻�����
���ǰ���������ƽ�̲�ס�п���������������ǰ��ʱ�����˵���Ϸ������ڲ��Ͻ����Ż������ڿ���Ӧ�þ��������̹����ˡ���
����ǹ��ʻ����У�Ҳ���������ͿƼ����С�
ȫ�Ƕϵ��Ƿdz������ģ��ɽ���ʱ��������ͣ�������Σ�����ƽ������Ҳ��������������ڽ���һ������̣�������ʲô���̣�˭Ҳ��֪����
���ڹ�̹����ع⣬��Ҳ֪������������ʲô�ˡ�
��̻���̾���Ҫ�����������ѹ�̻���ɹ�̹�����������Ҫ�õ��ĵ���������������ʮ���������ǰٱ���
��Ҳ���Խ���Ϊʲô���Ϸ�����Ҫ�����Ż����£����ȫ�ǻ�Ƶ���ϵ��ˡ�
��������
��������һ������Ҳ�뿪�ˣ�����Ц����������Ҳ�ã����Ŵ�粽���ߣ������⣬���Ǻ�������
���������������
����ƽ���˵�ͷ��
�����齨�������ˣ����Ǿͳ�ŵ������һ��Ե��⣬�������Ƽ���������г���
���ڻع�ͷȥ�������Ǹ����ǻ��ı��Ѿ�Ҫһһ���֡�
������14N16���20��뵼���Ƭ������10^25�߿����̽��������˵����ϩ��������ϩ��������Щ�������ڰ뵼������г��ݺ�ҧ��һ����⡣
���������£����µ��Dz�ȥ���֣���Ҳ�Ǻܶ���Ϊʲô������˻�����ԭ��
����
�����ͬʱ��
��һ�ߡ�
���ɽׯ�������С���������Ҳ����סѹ���ˣ�ֱ�Ӳ�������оƬ�о�����ϯ����ʦ��˹�ٷҡ�����ϣ���ĵ绰��
����ཡ�����
�绰һֱæ��״̬��
������ʱ������Ͼŵ�룬ҹ����ոտ�ʼ�����ڴ���˰�������ʱ�ֵ����������賿������ʱ�䡣
����賿��������˴�绰��������������ӣ�
����ĥ���˰���ӣ����������˹�ٷҡ�����ϣ���ű�������Ů�������ѣ����Ժ����䣬������绰����������˹�ٷҡ�����ϣ������ʲô���뽲����
�����ҡ���
�����С����������������ǿ̣�˹�ٷҡ�����ϣ����˲��������������Ǻ�Ѫ˿���۾���������Ҳ��æ����������
���鳤����ʲô�£���
�����С�������Ҳ��ī����ֱ��ѯ�ʵ�������û���ƹ���̻�������оƬ�ķ�ʽ����
��оƬӡˢ����
˹�ٷҡ�����ϣ����ȷ����
��ǰ��оƬ����ӡˢ�ģ����Ƕ���̭�������ˡ�
���ڶ���14���Ĺ����Ƴ̣�ӡˢ�����벻ͨ��ʱ���Ѿ����ˣ������Ҳ����̭��
������ӡˢ���������С�������ֱ�ӷ�����𰸡�
��Ͱ�˹�ٷҡ�����ϣ���ѵ��ˣ����ù�̻�����ô�Ѽ��ɵ�·ͼ�����ڹ�Ƭ�ϣ�
�Ѳ���������̣�
�ⲻ�����
��˼����ʮ�룬˹�ٷҡ�����ϣ��ʵ���벻������ҡ��ҡͷ��Ӧ�������Ҳ�֪������
���ѹ�̻����ɹ��������û�����Ƽ������������С��������������ģ�����ѯ�ʡ�
���ҡ����治֪������
˹�ٷҡ�����ϣ�����ˡ�
�ѹ�̻����ɹ�����
���ǹ������ɹ�̻���
�ֲ��壬����ķֲ��壬�������㲻���������Ĺ�ϵ�������������˶����µġ�
����������
�����С�����������һ������������Щ���ӣ�ֱ�ӹҶϵ绰��������֪���ˡ���
���ڱ�˵˹�ٷҡ�����ϣ���ֲ��壬��Ҳ�ֲ��������û���ڴ�ţ�ƣ��ƹ���̻�������̹���ʵ����Щ�췽ҹ̷��
��Ī�������˹�ٷҡ�����ϣ��������ȥ�Ҵҵ������С�������������Ϣ��������Ϣ����һ���绰��������ֻ���
���˵á����½�������
����������ʲô����
˹�ٷҡ�����ϣ��������������龭����������ͨ�绰��ͬ���������׳�������
˹�ٷҡ�����ϣ�����ɻش𣺡�����оƬӡˢ�������治֪�����������İ취��������оƬ����
��֪���ˡ���
�˵á�����ͬ���Ҷϵ绰��
����˹�ٷҡ�����ϣ������������ע����˹����¡��ĵ绰����һ�δ�������ֻ���
��Ϊ���뵼��оƬ����Ķ���ר�ң�˹�ٷҡ�����ϣ��ӵ�о��ԵĻ���Ȩ��
������IJ�֪�������˹�̻����й�̣�����ʲô;������ȥ�����뵼��оƬ��
½½�����ĵ绰�����˹�ٷҡ�����ϣ��������ˡ�
����Ժ���������������塢��˹����¼��壬���������ص�ȫ�ӻᶼ��������ѯ�绰��
Ȼ����ЩĻ��߲㲻֪�����ǣ������Ҵ����ˡ�
˹�ٷҡ�����ϣ���ǰ뵼��оƬ�����ר�ң��ɽ����ڰ뵼��оƬ����������������������
С�����Ӽ���������豸��������������ڰ뵼��оƬ��ʵ���ң������о������������豸��
����˭Ҳ˵�������ǿ��еĹ�̹����Dz�����ġ�
�������ģ������˿Ƽ���ʵ����оƬȫ��ҵ���ջ�����Ҳ���ÿ�������ɫ��
������Ǽٵģ��Ǿ͵üӴ������ˡ�
��һ�ߵ���˹�����ׯ��һͨͨ�绰�������˳�ȥ��ԭ����dz�ļƻ��ٴ�ʵʩ��
����Я�������ڿƼ�����������ٿ�ȫ����������������������ǶԳ���Ƣ�����˽⣬5G�������������������ˣ�ֻ���ٸ�ȫ������г���һ�ѻ�
����
������ڡ�
���˿Ƽ������ܲ���
�ڹ����˹�Դ���ݣ����Ǽ���ѹ��ѹ�֣�ʾ�ⰲ����ͬʱ����˵����������3�����Ƴ̵ļ�����⣬�Լ��߿����EUV��̽�����Ҳ��ζ��ӵ�����з��������������⺰����ˣ�Ҫ����ǰ���䣬�ҿ�������ֻ��һ�롣��
�������¡�
�ֳ���ʱЦ�����ϡ�
ֱ����Ĺ���Ҳ����ס�ˣ��۳���Ļ��
����������Ͷ����һ�룬�����Ƕ���ô�����˵ġ���
��1��Ǯ��һ�룬������˵ֻҪ��0.5Ԫ����Ҫ�ǿ�ˣ���ֱ�Ӿʹ�Ӧ��������ˡ���
������Ϊ���ܴ�ţ�ƣ�û�뵽��������ʵ������
��14N16���20��뵼���Ƭ��10^25�߿���EUV��̽�������3����������Դ����Щ������������������˵�����˿Ƽ����п������3����оƬ����
�����Ҫ˯���ſ�����
���˯���ţ�
������ѹ����û��˯��
ֱ������ڲ�֪�����ǣ����ڿ������п���˵����֪�������Ͳ����������ˡ�
���ʱ����Ե�����ƻ��8�����ᣬ�����Բ�����������ܷ֣������ἤŭ������ˡ�
��ԡ�Ͷ����һ�롱�����飬���о�֪���������ۡ�
����Ϊ3����оƬ�ڴ�ţ�ƣ�
�˼�������ʵ����
Ӣΰ�ﴴʼ�˻���ѫ����Ҳ�ڿ���Ҫ��Ҫ����ҵ���������ص��������г���
3�����ա�
����Կ�Ҳ����3���ס�
�����������ˡ�
����ȫ�����������������ţ�
������Сʱ�ķ����ᣬ�����Ѿ��ɹ�������ȫ���磬�������˶��۽��������ϡ�
���Ͼ��������������������˸���̲�ס���ݵ�����ԭ������dz�����ҽа������ĵ�������
���տ�ʼ�����ƣ�Ϊʲô���Ǹҿ������ӣ�����������5G�������磬����5G�����벻���뵼��оƬ����Ҫ5G����оƬ�������źš�
�����������ˣ����Ǹҽа����ĵ���������Ϊ�Ѿ������˰뵼��оƬ��ȫ��ҵ����ѹ���Ͳ���Ҫ�ٸ������ӡ�
�����ӣ�
��Ǹ���Ѿ�ңң�����ˣ�
��ͨ����Ժ��������̲�ס��٩�����������������һ��һ�ģ��о�������������
�ܶ�ʱ���������ó���Ҫ�����ޣ��Ͳ��������ˡ�
��ƫƫ��
ÿ�ζ����������ϡ�
�������ʼ��������䡢�������оƬ���������İ뵼���ҵ��ȫ�ջ������Ƕ���һ�δ�ˢ��������֪��
������������һ����Ϊ����̹����Ѿ����ⳡ�������ѹ���Ϸ��Զ����Ƿ������ֳ��ij����ٴΰ���ң����������ĨЦ������˵���˰뵼��оƬ�������ؼ����з����������ı�ġ���
�����ǣ����а���������
�ֳ��ٴ��궯��
�ι��Ǹո�ƽ�������������ٴη��������̲�ס�����ײ�˹����������Ȼ���м���Ҫ��������
����������µIJ����м���û������������������ڹ�̹������棬���п�����ѹ��ģ���
�ײ�˹���˿���ĭ��
��������ʲô����
С����Ҳ�̲�ס������
��������Сʱ��ʱ�䣬����һ����һ��ˢ�������ǵ���֪�������Ǵ����Ƽ���ը�ij����
���������˵����̹���������ѹ�Ἴ����
�ܲ������Ǻ˾۱�ɣ�
�������ٴ���ס��������Ŀ����������̨�ϵij��ǣ���������Ҳ�ڼ��������š�
��һ����ǰ��������ҹ���˳�ֱ�����������̽���˵綯������δ����չ�����ԡ�����
�����ˣ��������ģ���
̨�±��ǵ����ܣ������̲�ס�ջ�һ����
���綯�������ĸ���˵��������֪�����²����ˡ�
Ҳ�����������ǰ㣬������ǹ��ճ�Ĩ�������ȣ�ֱ�Ӿ�ͷ�������������������ۣ������źܶ��˶����ڴ��캽�������������������Ҹ�δ���ij����㱨�¡���
��ǰ�������ǵĹ�̬﮵���ٴ�ӭ������ͻ�ƣ�Ŀǰ���ǵ����Դʵ���Ŷ����ڽ��а�ȫ���ԣ����������ذ���Ӧ���ڳ����캽�����ϣ������ĸ��֣��ٴδ�������ֱ����Ĺ����Ϻ��𣿡�
(������)