��1189�� Ұ����ҥ��������
2026-07-03 ���ߣ� ʮ�߹���
����Ȼ���������ǵĹ�̻��Ǽٵģ����������ǵ�оƬ��������
���ֱ������
��ѩ��һ�߿��ٲ����ż����ĺ���Ƭ�Σ�һ�����û���Ҫ˵�������
�����������ϣ����Ż�����Ұ������������ʧ�ض�Ť�����������Ǻ����ߵ����ۣ��ն�ƽ���зǵ�û���κ�ŭ�⣬����������һ�����صĹ�â������������Ϲ�����һ�����Բ���Ļ��ȡ�
������������٣�˵�����������
�ն�ƽ�����ظ��ţ�ʳָ�����������������ã��·�������һ��������Ϸ�硣
������
����ȫ�DZ����ܵ�������DZ������̷���������ʵ�ݺݳ�����������
��ѩ�Ƽ�������
����������ȻҪ��������
�ն�ƽվ�����������������絶��ȴ�ֳ�ӯ��һ�֡�������Ҳ�����˷ܡ�
�������Ǹ���ô������ѩ�ƣ���֪��������������һ�ݴ�����
���Ź�ѩ�Ʋ���������ն�ƽЦ�Ž��͵���
������������г���ô�����㹻�֡������Ƴ��ò�Ʒ���ü۸������װ���ҵ������˭Ҳ����˵����ʲô��
�����DZ߽����Ծȣ�����Ч�����ޣ��������Ҳֻ����Ϊ���������г���Ϊ�����Ǿ������һ������ս����Ҳ���ٵȵȻ��ᡣ��
��ָ����Ļ�϶����Ұ������
�������ڲ�һ���ˣ��Ƕ��ĵ����࣬�ڹ��ʳ��ϣ�����������������֤�ݵ��������ǵĺ��ļ����Ͳ�Ʒ���������dz��������ҵڮ�ٺͶ��Ծ�����
�����ζ�ţ����dz���˺������ҵ��������߲�����һ��������Ʒ�������⣬��������һ���������ú���ҵ���õ�������棡��
�ն�ƽ���еĹ�âԽ��Խʢ��
����Ͳ����Ǽ���ս�ˣ�����ս���������ǶԷ��ȿ������������۵ĵ�һǹ������������Ӧ����������Ϊ����Ĭ������ƭ�ӡ�������Ʒ����������ǻ�Ӧ�ˡ�����
��һЦ�����������յ����š�
�����ý���ɶ��磬���״������ǵļ���Ȩ����������Լ��ڵ�����ӣ���������ǵķ�Ĺ����
������ץ���ܵ绰����ͨ�������ꡣ
�����أ�Ұ������ﵽ�ˣ�������и��¼ƻ�����Ҫ�ϲ����Ȩ��ͬʱ����Ҫ��ز�����ǿ������ϣ��ԣ����̣��������ڣ���
���IJ�����Ļ������ڣ��������ض���Ч��
���ն�ƽԶ�̽��룬�����侲�ز��������ġ�Σ������+�г����������ȭ�ƻ��������������ڵIJ�������������ж�¶���������͵Ĺ�â��
����С�ӡ��������ܻ���Ϊ�ģ��䲻��Ϊ��������
һλͷ������Ԫ�ϸ�̾����
������ն�ƽ������̫���ˣ������壬������ȫ������ն�ƽͬ־�����ն�ƽͬ־ȫȨָ����ζ������۷����ͺ����г��ж�����
�������쵱���İ壬�������ն�ƽ������κ��ٻ�����Ȩ��
��Ŀ���һ����
�ݺݽ�ѵ����ҥ�ߣ�ȫ���ȡ�г�����Ȩ����ȫ���翴����������˭���У���
�����ף���
�����壬��λ�ƹ����IJ����Ӵ���ҵ�⽻�����������⽻�٣�������˸�ž��ɵĹ�â��������������Ϭ�����ԴǺ��Ƚ������������������˿�Ҳ֣�صص��ͷ��
�����ܹ�����Ҫ�⽻�����ĸ��Ƕ����룬���õ��ӣ������̰��ţ���
��սָ��һ���Ѹ���´
һ�������IJ�����߲�����Ȩ���ն�ƽ����������ǿ����ɵ����Ϸ��������ŶӸ�Ч��ת�������鱨�������г�Ԥ�⡢������������������������ѡȡ����һ�ж��ڸ߶Ƚ��ŵ��������ɵؽ����š�
�ն�ƽ������ģ���ͬ�˳��ᢵĽ��죬�����侲��ɨ��ÿһλ�ؼ���λ��Ա�ύ�ı��档
������ͳ�ﺣ��������Դ���䣬���������뷢���Ŷ���ҹ��ĥ�ػ��ھ��������긺����Ϣ��������Э����
������Ұ����ɲ������ε���������ȫ�����۳��Ķ�ʮ��Сʱ�����IJ����⽻����ͬ�Ƽ�������ҵ�������ٿ�һ������ǰ��ȫ����߷����ᡣ
���������⽻�������˶����������������֣��᳡������ϯ������ȫ�����ý��ij�ǹ���������Դ���
������һ����ͦ����ɽװ���������ȵ����Ϸ���̨������û�й���ı��飬��������ȴ�̺��Ų������ɵ�������
��û�ж���Ŀ��ף�ֱ���������⡣
��Ůʿ�ǣ������ǣ���λý�������ǡ����죬�����ڴ��ٿ�����������ᣬ��Ϊ�˻�Ӧ���IJ�������Ұ������������������IJ���뵼���ҵ�����������������ļ��䲻�����Ρ�����Ŷ��ⴧ���빫Ȼ��ҥ�����ۣ���
��������ͨ����˷������ش��ݵ��᳡ÿһ�����䣬����һ�����ε���ѹ��
�����ȣ����DZ�����ȷָ����Ұ��������ν���Ҳ����̻�������ʵ�ԵĻ��ɡ����Ҳ���оƬƷ�ʵ�ڮ�٣��dz�����Ļ��ԣ�
�����ӻ�����ҵ���º�����Ķ���̰��������۱������Ѿ�����Υ���˹��ʾ�ó��ϵ�еij���ԭ���Ƕ����Լ������ƵĿƼ�ǿ�����ݵ�Ī����̣���
����������һ�ݺ��ص��ļ��������������ϯ��
����ʵʤ���۱磡��ҥһ���죬��ҥ����֤�����IJ���Ӳ�м��Ū�����٣����ǵ�һ�гɾͣ��������ڼ�ʵ�Ŀ�ѧ������ȫ��������ǻۺ�ˮ֮�ϣ���
�����ļ�����ĸ�����Ļͬ����ʾ��һ������ȫ��뵼��ר�Ҷ�Ϊ֮�����º������ݡ�
�������ɹ��ʹ��ϵĵ�����Ȩ�������������ɱ���Э������IJ���������1-5����ϵ��оƬ���е�ȫά��ä�ⱨ�棡������ʾ��
��ͬ���Ƴ̽ڵ��ϣ��Ҳ�����оϵ��оƬ���ڹؼ�����ָ�������ڶ��Ŀ���Ա��Ʒƽ��15.3%���ܼѲ�Ʒƽ��12.7%���ڹ��Ŀ����ϣ�����о�ֱ�18.5%��16.2%��
�ڹؼ��ĸ��¸�ѹ���ڿɿ�������Ʒ�ʲ����У���о��MTBF�����ղ�Ʒһ��ͨ���ʣ���������ȣ���
һ���������ĶԱ�ͼ��չʾ����Ļ�ϣ������������ͬ�������ì������ش�����Ұ��Ļ��ԡ�
�����ڱ��ܹ�ע�Ĺ�̻����ļ�������
���������������Ӽᶨ��
�����IJ�����������з�����-7��EUV���ϵͳ����ʵ����������������Ĺ�Դϵͳ��˫���ξ����ع���ƾ��ȡ�����ʴ�̹���ˮƽ�����ﵽ�����ֳ�Խ���ʶ���ˮƽ����
��ʾ�����ֵ㿪һ�ξ���������ı�������չʾ��Ƶ��
��������о����оƬ����-7��̻���������Ƭ��ʵ����ƵƬ�Σ�������ͨ��оƬ�ṹ��������������ڲ��߿���FinFET�ṹ�����ԡ����������ʣ�������֤�����������ü٣�������ʵ����Ҳ�ݲ��õ��ӵĴ����ڮ�٣���
�����ţ���ҵ��������������������ǰ̨�����ϴ���һ˿�������еľ���Ц�ݣ�������ȴ�쳣ǿӲ��
�����˼�����̬�Ⱥͳ�ŵͬ����Ҫ����������������IJ���ȫ��оƬ��ҵ����飬����һ��������ŵ��
���Dzɹ��ҷ���оϵ��оƬ���û�������λ��ȫ���ĸ����һ������һ������оƬ�����κη������ƻ����µ��������⣬������ʹ�ù����ж����ǵķ������κβ�����ֻ��һ���绰��һ���ʼ������dz�ŵ��
1.������Ա24Сʱ�ڸ������������ͽ��������
2.��Ҫ��ʵ��֧���Ŷӣ�48Сʱ�ڵִ
3.��ŵ������ִ�����Ͽ����ʱ������
����Ŀ��ɨ��ȫ�����ر�����Щ�������ʲɹ���ͷ�ļ��ߡ�
�����Ǽ��ţ���Ӳ�IJ�Ʒ��ֻ�����ͬ����Ӳ�ķ���͵���������Ӯ�ÿͻ��ij������Ρ�
����������ҵ�����һ���֣�����˵������һ������������
�ⳡ�ذ������ᣬ��ͬһ�ų���ը������ԭ������Ұ�����۶�����������ȫ��뵼���г�����������ˣ�
����������ѹ��Ȩ�����汳�飡���ϵͳ��ƵΪ֤��
��24Сʱ��Ӧ��48Сʱ����������ʱ����ķ����ŵ��������ͬһ�����ף��ݺ������������ܶ���оƬ��ҵ����������֮���ȫ��ɹ����Ŀ��ϣ�
�������һ������ԭ�������Ľ��۹������������г���˲��ת��
�����IJ��������Ʋ�����������оƬʵ����������˫�š����������ŵ̫�о��������ȱ����ٴ�ˢ����Ұ����ɵ������ۣ�����û�������ʧ���������˶������IJ�����õı����������㣡
����о�ж��顱�ڣ��ն�ƽ����ȫ���罻ý�屬ըʽ�����۷���ͺ�̨����ӿ���������������´��˵ڶ�������ָ�
�������������������ƻ���Ŀ�ꡣ
�����еͶ������г����ر��Ƕ����ǡ����ǡ������ޣ��ܿ����ĵĴ�ͳ������Χ�������ǵ����ߣ���
��ָ�ž�������ͼ��
����Щ�����Ĺ�ȥ���ż���¢�ϣ��ṩ��Ҫô�Ǹ۵����ʱ����Ҫô��Ʒ�ر�Ե�Ĵ�Ʒ��������������Dz������������ֵĴ�Ů�أ���
���ǣ���
�������������ҵ��Ӣ��Ħȭ���ơ�
һ֧֧�ɾ��쵱���г������������Ҽ��߿��ؾ���������Ŷӡ�����֧���ŶӴ��ź��ļ����ֲᡢ��Ʒ�ͳ��������ĺ�ͬ���������ר������ȫ��
����û����ȥ������ŷ����Щ�߶��г��붫�ġ���ӥ����Ӳ�ģ�����ѡ���˱����Ͱ뵼���ͷ����Ժ��ԡ�����оƬ���ž�����DZ���������г����ҡ�
����Щ�ط�������ʹ�ŵ����Ʊ����Ŵ�
��Ӳ�IJ�Ʒ��
���Ǵ������еͶ�оƬ�������Ǽ���ָ�ꡢ�ȶ��Ի��Ǽ۸�ȫ��λ��ѹ������ҵ��ȥ������Ͷ�ŵIJ�Ʒ��
��һ���ķ����ŵ��
24Сʱ��Ӧ��48Сʱ���
���ڹ�ȥ�DZ�����Ц�����ģ���������ʵ���ж�֤��������������ġ�
һ������С���Ĺ�������������һ�����ѹ�������µ�оƬ�����쳣����ҹ�������Կ�����̬��ͨ���ĵ�ȫ��������ߺ�����������Сʱ�������յ�����ϸ�Ĺ����Ų�ָ���ͱ���������ŵ����������ʮСʱ�����Ĺ���ʦ�ʹ�����оƬ�糾���͵س����������Ĺ������䣡
���ص���̬��
û�и߸����ϣ�ֻ��ƽ�Ȼ����Ľ�̸����������Ը�������Է�������Ը���ṩ�������ƵĽ������������Ը��Э��������ѵ�������ˡ�
�����붫�Ĺ�Ӧ�̽�Ȼ��ͬ�ġ���顱̬�ȣ�Ѹ��������˫���ľ��롣
�������ˡ�����������������Ļ�飡��
�̶̰���¡�
������оƬ+���Ŀڱ���ͬҰ����ԭ���ڶ����ǵ���������ء������������������ļ�Ⱥ�������������ͼҵ繤����Ѹ����ɢ��
һ�ݷݺ��������飬��ͬѩƬ�����������ҵ����
��Ȼ�ܶ�ֻ�dz����ij����Զ��������ۻ���������Ϊ���ˣ�
�����ܹ����ݱ���������H��������Ӵ�������������о��ͬǩ�����ˣ���������3000��ţ���
������Z������������Ŀ�������������ǵ��ж˼���оƬģ�������װ������
������B��������������ϵͳ��Ӧ�̣��Ѿ���������Ķ�����Ʒ������ȫ���������ǵ���о����оƬ�����������
һ����һ��������ĵ���Ϣ���ء���о�ж��顱ָ�����ġ���ѩ�ƿ���ͳ�������ݣ����������������Ƶļ�����
�����ܡ��������г��ݶ����������Ŀǰ���յ���ǩ���������ȷ�ɹ�����ij���ͳ�ơ���ռ�ȡ���ռ���Ѿ�������ӽ�����35%�ˣ���������������ڿ�����������
��35%����
����������ڳ��������˶�������һ��������
���Ǹ��ֲ���Ծ����Ҫ֪��������Ұ��ʧ�ԡ��ն�ƽ������ɱ�ƻ�֮ǰ������оƬ�ڹ����г��ϵķݶ���Ǹ�λ���ǻ���(������)