��502�� �������
2025-06-10 ���ߣ� ��ѳ��ź���
��502�� �������
�������ܡ������ܣ��������߸��ˣ�Ҳ������������Ĵ�ʼ�ˣ���
�����鱾����ֱ�����������������ֲ��Ծ����˿ڣ�����֮�����Ǿ�㵺��������š�
����һ�μ�����������ʵ�����ڼ���֮ǰ������������Դһ�������Լ��ʹ�������������ʱ��
����ʵ�ڸ���Щ��ʱ�������Ѿ��������������֡�
���Ŷ�����Ŵ��ٵĿ��У�����һ����������ɫ�ʵļ�������������ˡ�
�Ŵ��ٵ�һ��������һ��ͬ���ˣ���������婵��������������������Ͷ��������Ҳ���������ǿ���ƽ�Ⱥ����Ļ�顣
��������������������������������DZ��ʶ֮�У������ǰ���������һ������������
��Ȼ��Ϊ���������̻�ij�����������ʵ���Ѿ����������ϼ��Ŷ��γ���һ���ι̵ĺ�����ϵ����Ҳ�����ܸı���������������ʶ�Ĺ��
�����״κ������ĽӴ�֮�У�������������ĺøУ�Ҳ������Դ�������ܵ��������ʹ���̬�����˶��ѡ�
����ʱ���ӹ���ɽ�Ŀ�����Ȼ��֪������������һ�棬����������ij����Ȼ���ޱȾ�ġ�
���ƺ�ϸ����������û����ôΥ�͡�
������һ�ֻ�Ȼ���ʵĸо���
���Ҳֻ����������������������������������ң������ڱ��������ĵط��������ưɣ�
�ؾ���Ҳ�Ǵ��ͣ��漴�̲�ס�ʳ��������������Գ���������֮ǰ�����Ѿ��µ��Ǹ����������ˣ���
��Ҳ����µ��ɡ���
���������������˶���һ�ۣ��漴ҡͷ��������ֻ��֪�������������ڽ��Ϲ��ҵ�д��¥���㣬�����ǽ���������������ģ��������ֳ��������µ�ҵ�����������������Ƕ��Ǹ����ݻ�һ�µġ�����
������˵�ĺ������˼�Ѿ��������ˣ�������ȷ�������Dz����ǵ��߸��ˣ�ֻ�Ǵ����ǵ��ӽdz���������һЩ��˿�����жϣ��������ٻ���֪���ߣ�����˵���������Ƴ����Ĵ�����֮һ��
�������������ᣬ��Ȼ������ɽ�ϸ�ġ����������Dz��Ǿ�ֻ���������ġ������ˣ���
����������
����ĬȻ���漴�ؾ���������µ����ʣ���������ǵIJ²�����Ļ���������ȷʵû�пӺ����ǵ����ɣ���������������ô���£�����ΪʲôҪ�������뵽����ط������ְ����������������
����˵�ˣ���δ���dz������ϵܵ����⣬��Ȼ��һ��Ƚ���֣�����ɵ���ӵ�ȷֻ���ܻ������ϵܵĻ�������
����ɽ˵������Ҳ�м��ֲ��⣬�̲�ס������üͷ��
����ᡭ������һ�ֿ��ܣ���
��ʱ����ͨ��ݵ������䲻����˵����
��ʲô����
�����Ƕ�֪������ʱ�Ǽ����������ʧ���˵İɣ���
������Ц������������ΪʲôҪ��ɱ��������������ô����¥�������ܣ���ʵ����������������Ѿ����˺ܾ��ˣ�����ԭ���ļƻ�֮�У�û��Ҫ������һ���ɣ���
����ɽ����ĬȻ����ɫҲ����м��ָ��ӣ�����Щ���ȷʵ��Ԥ��֮�⣬��������Ӧ�ò��������κ��˵���Ը������
����������𣿡�
����Ŀ��ɨ����ɫ����ļ��ˣ������۾���������������������������������
�����ܣ�������ʲô��˼����
�ؾ��ڲ����������������Ƕ�ֻ�ǰ��ռƻ����£��ڹ����ҽ�������֮��Ҳû�˻���ȥΪ��������ȫ�����Լ��벻ͨ����Ҫȥ������˵�����㣬��Ҳ����������ȡ������
���ɹ������Ǻε�������ĵij�������������ô�ͣ������������������һ�ѵĻ�������ô�������ִ��£���
�����ܣ���Щ���տ���ƾ�Ŀɲ�����˵���������̣������ڳ��ĸ�λ��Ҳû˭��������ô��ij�Թ����Ҫ���������ذɣ���
������Ҳ�̲�ס���ڣ����ǿ�˵���ã����ܣ��Ҽǵ�����ǰ�����һ�����ѧʱ���У�Ѱɣ���ô������ͻȻ������������
������ͬ����Ϊı���ˣ��dz������أ������ʱ���㻹��������˰ɣ���ô��Щ����;��ڲ����ˣ���
�����ܣ����ԣ���
����������ɫ����������������
�ۼ������������۲��ݵ����ƣ���ü�Ĺ���ɽ��Ҫ������ǣ����ģ��С��εΡ�����������ڷ���������������
��ʲô��������
�������е��������һ��ע�������ֵ����죬����Ҳ���������ˣ�����ֹͣ�����硣
�����������µĶ�������
���Ƶĺؾ��ھ�����ȥ�鿴���漴����ɫһ�ף��͵��������˼�����
����ô�ˣ���
���ؾ���һʱ�侪��˵����������������������Ҳ��ͷ����һ�ۡ�
�����ǡ���ը��������
��һ��ͬ������������ɫ�ף���Ҳ�ں�Ȼ֮��������ȥ��
��ʲô����
����ɽ���˶�����ɫһ�䣬��ͷ����һ�ۣ���Ȼ���ڳ���������һ���·��ڵ�Ӱ��Ż���ֵij��������壬�������һ�����۵ļ�ʱ�������εΡ����������ǴӼ�ʱ���ϴ�����
�����Ƿ��ֵ�ʱ��ʱ���ϵ�ʱ���Ѿ�ֻʣ���˶̶̵����ֶ��ӡ�
������ը������
�������첻��ٵģ�������ǰ���̱��Ƶ�ʱ��Ҳ�ù�ըҩ������
������Ϊ�Ĵս��۲���һ�£��漴��ɫ��䡣
�����ܲ���𣿡�
�����ڿ�ʲô��Ц������Ϊ�����ݵ�Ӱ�أ�ֻ��Ҫ��һ�������ߣ���ʵ֮�еIJ�ը��������ô������
�����ڳ��Ķ����������Ĵ��м������ȷ���Dz����Ƕ�����֮����һ��Ҳ�����ܵ��˾��ţ�һʱ�䳡����Ϊ���ҡ�
���Ż��Ǵ�����
�����ܵ��űߵĺؾ��ڳ�����һ�£������������ײ�����Ǻ��ص�ľ�Ŷ�����˿������
�ۼ�ը���ĵ���ʱ�ڲ��ϵ����ţ���������ǽ�ǵ������飬����ɪ���Ĵ�����һ������漴��������Ӧ������DZ�Ӧ��������
˵�ţ�������ͻȻ�Źֵ�Ц��Ц�������ڴ�����ͼѰ�ҳ�·�ĺؾ��ڡ�
�����ܣ��������ˣ�����������ȥ���ٽ�Ļ���ʱ���ϵ���һ���˲����𣿡�
����ɽ�������Զ���һ���������ɻ��Ŀ�⿴��ؾ��ڡ�
��������еġ��ٽ㡱���ǹ����ˣ�Ҳ���ǹ����ҵ����ţ���������ͺؾ��ڵĶԻ�����Ȼ�������л���ʲô���Ƕ���֪���è�塣
�����ܣ����ں�˵�˵�ʲô����
�ؾ�����ɫ�䣬����������������ȥ�����������Ǹ�˽���ӵ����䣬ֻ��Ϊ�˸���һ�㾯�棬������������ǽ��ֱ�Ӱ���Щ�������ˣ�ʵ������ʲô��û������
����������𣿡�
������Ǻ�һЦ�����ٽ���¥����һ�죬���Ҵ��һ���绰�����ڵ绰�������ң�Ϊʲô���������Ѿ������ˣ�ȴ��Ҫ�����ƣ���˵��Ȼ���Dz����ĵĻ�����Ҳ�������ˣ�ֻ�����Ƿ�������������һ����·�������ܣ����������ΪʲôҪ����˵����
������ô֪������
�ؾ���ŭ���������Ǽ��Ʋ�֮��κ����;��������ˣ�����ֻ֪����˵�˵���������ƨ�£���
˵��֮�ؾ����ֿ�����������Ц��
��������Ҳ�Ǻ�Ц����ʲô���Ƶ��������ϣ����Լ�����ժ�ĸɸɾ���������ô��˵���κ����ô�õĽ��飬���ȴ����������˸��ɾ��ģ�����͵˰©˰����ν֤�ݣ��������ó����ģ���
���ҡ�����
��������ɫһ�ס�
�����ˣ���
����ɽ�����dz����dz�����������һ�����ˣ�����Щ��֮����˵�����£���������취�ԾȰɡ�����
�εεΣ�
�·����ڻ�Ӧ����ɽ�Ļ�����ƶ�ʱը���ļ�ʱ��Խ�����ٵ��������������������Ķ��ᵽ��ɤ���۵�ʱ����������ͻȻ��ʧ�ˡ�
����һ���Ȼ������ɽ��̽����ǰ���˼�������ͷһ�����漴�ɻ���������ʱ������ͣ�ˡ���
ͣ�ˣ�
���˷���ǰ�鿴����Ȼ����ʱ��ͣ�����˵�����ʮ���λ�ã�ʧȥ�˶�����
���������ɻ��ʱ����������ȴ�ͻȻ���������ա������죬����������Ӧ�ĺؾ��ڸϽ��ܹ�ȥ�鿴���漴�������������λ���ſ��ˣ���
����ɽ������Ȼ���Ǿ��ɲ���������ȻҲû���˻������Ҫ�����������ͣ�����Ͻ������ſ���ȥ��
���Ǹ�һ���ţ��Ϳ����˼�����Ŀ���ࡢ����ͳһ��ʽ��װ�����ˡ�
����λ���ܣ��������ܵı���С��������������ϳ�����һЩ�����������������������������λ�İ�ȫ������λ���������һ��������ȥ��ȫ�ĵط�������
����ɽ�����������Ҳ��֪�������ʲô��������������������Ǵ�ʱҲֻ��ѹ��������ɻȼ���������˵�ˡ�
����
����
�����ٵķ��¡������ľ������Զ���١�
�ڹ���ɽ�����뿪�������ڽ����������������ϵͳ����ʾ������ͷһ�����Լ�����Ӱ�ͺ����һ�����������˵����������ѳ���һ����һ����������˿���֮�С�
��������ҡͷ��
������ٵķ��¡������ϴ�Ϊ�˿�̽ѧ�����ʵ������ϵͳ�̵���һ��ģ���ʱ������������ʮ��������ֵ��������ע�ǡ����õ��ߡ�����ʵ�ʲ��������ξͲ����ˡ�
�����о��Լ��DZ�ϵͳ���ˣ������Ҳ���ʲô˵���ĵط���Ҳֻ�����ա�
������������������¡����Ƿ��ӳ�����Ӧ�е����ã��������������Լ���Ҫ����Ϣ��
������ʱ�������ֻ����㿪���ֻ��������һ������ʼ���
�ʼ�������������ͨ������֮�����������Է������ģ����������һ��������
����������һЩ����Ҫ���������������е��ڲ��������ϣ����¼����˽��Ϲ��ҵ�˥�ܾ�����
��һ���������Ͼ��ܲ鵽�ģ����硰���Ϲ��ϼ�����ֵ�����������������ָ߲�Ľ�����ְ�Լ���˾���ס������ģ�Ĺ����Ϸ��¼��������С���ز��ŵ�������פ���顱�ȵȡ�
��Ҳ��һЩ�����Ͽ���������Ϣ���������������е��ڲ����ϣ��ⲿ�ֲ�������������Ҫ�����Ķ�����
��Щ���أ��ټ���֮ǰ�ڵ绰��������������棬���������Ѿ���������һ�������¼���������
����Ľ��Ϲ��ҷ���ޱȣ���ҵ�鲼���㻦�������ڵ����������ع��������Ų��ٿ�����ҵ��������Ĺ�˾��
������ǰ��ʱ���Ϲ��ϼ�������һ��ר�й�ѧϵͳ�Ĺ�˾��������һ�β��ڼ�¼�ϵġ��з�ʧ��
Ҳ�����Ǵ�ʧ���������з�����һ�־��и߾��ȶ�Ĥ�Ķ�㷴�侵�ķ�Ʒ����
̫����ҵ���ĸ�����������Ҳ�������������ݱ����ϵ�˵�������ָ߾��ȵĹ�ѧϵͳ��������EUV��̻��Ĺؼ�֮һ��
��ν��EUV��̻������ǵ�ǰ����7nm�������Ƚ�оƬ�ĺ����豸��ȫ��ֻ��һ���к����Ĺ���������������
����ܹ���������EUV��̻��������ڸ߶˵���оƬ����Ľ��ȣ���ֱ�Ӽӿ�ʮ�����ϣ�һ�ٴ��ƹ����¢�ϣ������ش�
����Ρ��з�ʧ��ȴ��Ϊ����ԭ�����Ϲ��ϼ���������������
��Ҳ�Ǻ��������¼��ĵ�������
���Լ�������ô֪������µ��Ѿ����ɿ��������������Ľ��Ϲ��ң�ȴ�ڡ��Լ����ĺ�������֮�У��ڶ̶������û����ȥ���������µ����в�ҵҲ���Ϸִ�������
�������е��ڲ������ﻹ������һЩ���ƺ����������£�����ϵ����ɽ���˸ղ�¶��������Ϣ�����������Ѿ��ƶϳ������������
����
����ȥ�ҹ�������һ���ˡ���
��ɫ���ӵ��������ֻ����ջ�Ŀ�⣬�������ţ����Գ�¥����ȥ��
(������)