��93�� ����֮��

  ��93�� ����֮��
  ����ǰ��ˮ½����ȫ����װ�׳��ս��Լ��Ĵ�Ԫ�ռ����

  ��������Ŵ����Լ��������б����鿴���µ���������

  ���������񣺰뵼�幤���������У���

  ����������������������������԰뵼�������Ҳ�����Ӵ�

  ������ĩ������������������Ѱ����оƬ��������Դﵽʹ��Ҫ��

  Ϊ�˱�֤�������ij�����չ���뽨��һ���뵼�幤������

  ������Ŀ�꣺����뵼�幤��
  ���뵼�幤��Ҫ�������С��300ƽ���ף�Ҫ�����ٿ�����5nm����İ뵼��оƬ����

  �������������ܿ�����������ѧ��

  �������������������֮������������һ�������������ڵ�ʵ��������Ȼ�Ǹ�ĩ��ǰ��ĩ�������ɵ�����
  �������ô�װ��Լ�ɸѡ��һ���йع�̻�����Ϣ֮�������Դ�׵�������ף���ʮ���ײ�ߵij����DZ߷�һ������ƽ���׵��޳����������

  Ȼ���ٰ��Ҷ�һ��ȥ�����Ļ�Ʊ����

  ���õ����ˡ���

  ��״�Ӧ�ţ����̻����˱��Ѿ�������������

  �����š�

  ��׼�������������������Сʱ��ʮ�����Ӻ���һ��ֱ�ɺ����ĺ��ࡣ

  ���Ѿ�Ϊ��Ԥ����ͷ�Ȳգ����������ھͿ��Գ����ˣ���

  ���š���

  ���������˵�ͷ�����Լ����е�װ���������һ����ȷ������֮����������ǰ���˰׳ǹ��ʻ�����

  ����

  ���������Ƚ��Ĺ�̻������ɺ����İ�˹��ASML����˾��������ġ�

  ��˹��˾���µ�TWINSCANϵ�й�̻����������Ͼ�����ߣ�����Ч����ߣ�Ӧ����Ϊ�㷺�ĸ߶˹�̻��͡�

  ������ˡ�

  ȫ���������뵼���������̣����ǰ�˹��˾�Ŀͻ���

  ������Ϊ����ԭ��

  ��������Ϊһ���ڹ���û���κβ�ҵ�Ļ��ˣ��������Ѽ۸�̧���ٸߣ�Ҳ�޷��Ӱ�˹�깫˾���򵽹�̻���

  �����������á�

  ������������ǮҲ������

  ������Ҳ���ø���Щ�������ƣ�ֻҪ�Լ�������һ�˰�˹��˾�IJֿ�����ˣ�

  *
  ��˹��˾���ܲ�λ�ں����İ�������С�

  ������һ���������ó�֮����������Ը����ڰ�˹��˾�ܲ�������һ���Ƶ��

  �����ˡ���

  �������շ����Լ��������ױ������������˹��˾���ܲ������簲ȫ�ȼ��dz��ߡ�

  ����������¥���������ڲ���������

  ������ˡ�

  ���ǻ����Լ��ĺ��Ĺ��������������ź�����װ�ã���Ҳ�޷��԰�˹��˾Ա�����ֻ�Ϊ���������ȥ���ҵ���̻��ľ���λ�á���

  ���š���

  ���������˵�ͷ�����������ߡ�

  �����Ű�˹��˾�ܲ��Ĵ�¥��Ц�������ź����������⣬��ȫ�Ǵ˵�������������

  Խ�����εĵط�����˵������Խ��Ҫ����̻�Ҳ���п��ܲ��������

  ������˵�ţ��ֶԴ�׵�������ף����ⶰ��¥�Ľṹͼ�����ҡ�

  ͬʱ�����б��ź����ε����򷢸��ң���

  ���õ����ˡ���

  ��״�Ӧ�ţ���Ѱ�˹��˾�ܲ���¥�Ľṹͼ��������������ͬʱ��װ���ź����ε������ú�ɫ����Ӱ���ֳ�����      ��һ��27���𣿡�

  ���������Ŵ�׷�������Ϣ������˼�ĵ��������ã���Щװ���ź����εķ����໥��Ķ����Ǻ�Զ��

  һ���ϵ�ʱ��͹��ˣ���

  �������й����߸�Сʱ��ʱ���������������ϴ�����ֱ�����ڴ���˯����������ʱ��

  ����

  ����ʱ���賿���㡣

  ����������Ӻ�ϴ�˸��裬��Ż����Լ��ķ�����ս���������Լ�����Ĵ�����

  ������������

  �������ᳵ��·�������˷�����ս������װ���ι��ܣ�����һԾ��ֱ�ӷɵ��˰�˹��˾�ܲ���¥���¡�

  �����������Ź�ѧ�Բʣ���һֻ��èһ��Խ���˲�㰲����

  ֻ��ʮ���ӵĹ���

  ���������Ѿ������˵�һ�����ɵص㣡
  ��˹���ܲ��������Ŷ���Ҫˢ�Ž���

  ���Ⲣ�Ѳ�����������

  ������ֻ��Ҫ�����Լ�������ӳ�似��Ͷ��һ������������������ϣ�����˲��ͱ���ˡ��Լ��ˡ���
  ���ź�

  ������һ�����͵IJֿ⡣

  ������ű���Ķѷ������羧Բ��CMP�׹���ϡ�����Ĥ�塢��̽��ȵ�����оƬʱ���õ��IJ��ϡ�

  ��Ҳ���У��������һ�ˡ���

  ������˵�ţ�ȡ���Լ��Ĵ�Ԫ�ռ�������һ�ӣ�������ֿ�ϯ��һ�գ�
  ������һ�к�

  ������û�����������ͣ��������ǰ������һ�����ɵص㡣

  ����

  ��Լ��ʮ���Ӻ�

  ��������̽����ʮ�ĸ����ɵص�֮�������ҵ��˴����̻��IJֿ⣡

  Ϊ�˷����̻����ڣ���˹��˾����ѹ���˹�̻��������һ����װ����ܽ���װ�¡�

  ����������̽�⼼�ܿ���һ�¹�̻������ԡ�

  ȷ�����ڷ��������̨��̻�ȫ���������ͺţ����Լӹ�5nmоƬ�Ĺ�̻�֮��

  ������ֱ�ӽ�����̨��̻�����ս����Լ��Ĵ�Ԫ�ռ���Ȼ�������ԥ��ת�����ߣ�

  ����

  �뿪��˹��˾�ܲ���¥֮��˳����·һ·�ص����Լ���齵ľƵꡣ

  ��Ȼ���е�Ŀ���Ѿ��ﵽ��

  ������Ҳ��������������������һ���ű�Դ�׵��������Ҷ�һ�Żذ׳ǵĻ�Ʊ�ɣ�Խ��Խ�á���

  ���õ����ˡ���

  ��״�Ӧ�ţ���һ�̱��һ��������Ϣ�������������������۾��ϣ�ͬʱ�����������ɵĺ�����1Сʱ54���Ӻ�

  ��������ຽ��Ļ���Ҫ���¼�����ת�����г�ʱ��Ϊ26Сʱ51�֣�
  8Сʱ36�ֺ���һ��ֱ��׳ǹ��ʻ����ķɻ������г�ʱ��Ϊ10Сʱ40���ӣ�������Ҫ����һ���أ���

  ��ֱ��ġ�������������

  ���õ����ˡ���

  ��׻���˵�꣬���������յ���һ�����Ժ��չ�˾�Ķ�Ʊ�ʼ���

  ����������׼��������ս��˯����������Ȼ��һ��ֱ��ȥ������ʱ��

  ͻȻ��

  ����������еĶ����������������ˣ��㿴�������

  (������)