��ҳ > ����С˵> ��н���ܱ�ǿ������ʮ��Ա���� > ��585�� ������̻������ϣ������ͨ��С����ˣ�

��585�� ������̻������ϣ������ͨ��С����ˣ�

2025-12-11 ���ߣ� ���������չź�
  ��585�� ������̻������ϣ������ͨ��С����ˣ�

  EUV��Դ����13.5���ײ����ļ�������⣬��ʵ�֡������ܵ�·��̡��ĺ��ģ�ֱ�Ӿ�����оƬ����С�߿������ɶ����������ޡ�

  ֻ��һ���ع⣬���ܰ���Ĥ���ϵĵ�·ͼ�����Ƶ���Բ���㡣

  ����ͳ��DUV��̻�����ͨ���������ع⡱�������γ�оƬ����ľ�ϸ��·��

  ������˵������Ҫ��ͬһ����Ĺ�̽�����2��4�ι������Ӱ����������Ч�����൱�� EUV��̻�һ���ع����ܴﵽ��ˮƽ��

  �����ɴӸ��޷��¡������������ﹺ���NXT 1950i DUV��̻�����ȻҲ������14���ס�����10���׵�оƬ�����������ö����ع⹤�ա�

  Ȼ��������ع�ᵼ�¹�̲������ӣ��������ڱ䳤����Ʒ��������ɱ�Ѹ������������Ҫ�߸�30%��50%��

  ��Ҳ��Ϊ�ΰ�˹��ֻҪ���򻪹���Fab��������EUV��̻����������ο�ס�����뵼����ҵ���ӵ���Ҫԭ��

  ���������������ؼ�������Ҳ��������ɱ��Ӹ߲��£��Ӷ�ʧȥ��ҵ��ֵ���г���������

  ����ͬһ��оƬ��Ʒ��˵����ͨ��20���ҵļ۸��������ë����׬��������оƬ��������ͬ����20���ҵļ۸�����������Ҫ�������ɡ�

  ��������ijɱ���ӯ����࣬�ɹ�����Ȼ��Ը�򵥡�

  ����ɭ����Ĵ�Լ���ŵ缤����ʽ��������˼�����Һ̬���������������������ķ�����ת��������ǿ�ų�Լ���£�ͨ���߹�������ŵ磬�ڽ������б�������ȶ��������ȵ�������ļ���·����

  �ŵ��Զ��׼�����̬�вļӸ�ѹ�ŵ磬��е�ṹ���򵥣��ȶ��Ը��ߡ�

  ����һ����컯����ļ����������ƹ��������е�LPPר������ǽ��

  �������ˣ������ڴ�Լ���ŵ缤�������Ļ����ϣ��������ר�����Է�ŷ���İ뵼�幫˾ʹ��΢���µ��ֶΣ��������������ǡ���

  ����ɭ���������ϵĻ㱨�󣬵�����������

  ��ͨΪʲô���ˣ�
  ������������Ƶ��ͨ�Ž���ȼ����ϣ�������ȫ�µ�ר�����ݣ��Ѹ�ͨ�ij��ڸ���ס�ˡ�

  Ҫ��Ȼ�����ޡ��Ÿ������ĸ���Ը�����칤�Ƽ�ǩ��ר��������ȨЭ�飿

  �붼���룡

  �Լ��߹���·����ȻҪ������

  ���ɲ����г�һ�գ�ͻȻð����һ�ҹ�˾��������Դ�Ƽ���Ȩ��

  ���õ��ϰ壬��֪������ר����̬���ݵ���Ҫ�ԡ�����������Ӧ����

  ���ǻ��ǹ�ѧ���ܻ�е�о����ĸ߼�����ʦ������ҵ��С��������

  ֮ǰ����Դ�Ƽ��ͻ���Э����������������ƽ����ؼƻ�ʱ�������;������ɭ�Ƽ������ϡ�

  ����ɭҪǮ��Ǯ��Ҫ���ĸ����ģ���ȫ��һ���ƴ����ֵ����ӡ�

  �������о���������ʮ���꣬�ۿ���Ӫ��˾���о�Ա���õ���ŵ������ѧ���������ﻹ����ס��
  ���յ�����ɭ������󣬶�����˵���ͼ�������Դ�Ƽ��Ĺ�ѧ�о�ʵ���ң���������Ժʿ�Dz�����ս����ͼ�����辶��Ѱ��һ�ֿ����õ�EUV��Դ������ʽ��

  ������޽�չ��ֱ������ɭָ��һ�������пյ�·�ߡ�

  �á���ų������桰���⡱��Ϊ������Լ������������ֶΣ��ڷŵ�������Χ����һ�鳬��������Ȧ������һ������Ĵž������͡�

  ����������������������壬���ö�㷴�侵���ռ�13.5���׵IJ��������۽��������

  ����ԭ������ΪȻ�������о�һ��ʱ����������ϰ�ķ��������ǿ��룬���Ǿ߱���ǿ�Ŀ�ʵ���ԡ�

  ��ʵ֤��������·�ǶԵģ�
  ���У�����������

  ����ɭ��Ϊƽ���ع��˵绰��

  ������������̼����Ǹ��ޱ��Ӵ�Ļ��ڣ���ȥ��Դ���֣��ᄉϵͳ��˫����̨����̽���ģ��Ҳ������֮�ء�

  �㶨EUV��Դ�ļ�����ʽ��������ǧ��֮�У�����һ�����ѡ�

  ��һ�ߡ�

  ���ϰ���զ�࣬������Щʧ�أ�����ʵ�����ٴ��ȥ�����ϰ壺��ƾ��������������ø�������߿�ѧ��������Ҳ����û�п��ܰ�����

  ����ת��һ�룬�����Ƽ���������ŵ������ѧ���Ļ���ߣ��ϰ�ķ�Ӧƽ��Ҳ��������

  ���ڡ���Լ���ŵ���������Դ������Դ�Ƽ��ͻ���Э��Ĺ�ͬ�о��ɹ�����Ϣ�ڹ��ڵĿ�ѧ����ٴ�����

  �������ڵ�֪���͵�վ�����������������š�

  ������ĸ��²���������ô�гɹ��ˣ���ʲô��Ц����

  �������ڰ칫����������ȥ��������ĵر��˴ֿڡ�

  ͬһʱ�䣬�������ѧʵ���Һ����ݹ����Ҳ�յ�����Ϣ��

  ��һ��Ӧ���ٵģ�
  �������ڷ�����֤���ֲ��ò����ţ���Դ�Ƽ����ྩ������������EUV��Դ���������˳�����

  ���ң����ɹ��ƹ��˰�˹�󡢿�����˾��ɽ�ǡ�������Cymer������ר������ǽ��

  ����Сʱ�������ɽӵ������͵ĵ绰��

  ���ȷ�����Ϣ���ð���Э��Ĺ�����Ա���̸ϵ����ǣ����в������з����̵���Ա��һ��ǩ������������

  ���������������������Ҫ�Ժ���ɫ˲������������������һ�Ե�����Ը�����

  ������Դ�Ƽ����ϣ������˹�����̻������ϣ����

  ���õģ��������������鲻�ҵ��飬ץ��绰�Ϳ�ʼ��ϵ����Э�ᣬ����Ҫǩ������������Ա�������Խ�����һһ���������

  ��������վ�ڰ칫�ҵIJ�����ǰ�������ྩ�����ɵ���գ����ɵ������˳�˼��

  ��Դ�Ƽ���EUV��Դ����ļ���ͻ�ƣ���һ�����ף����������й�̻�·�ϵ�����������֮�����ģ�������������Ϯ���İ�����

  һ����Ϣй¶����˹�󡢿�����˾��Щ���ʾ�ͷ���������Ӳ�����Ҫôͨ��ר���������ӽ��ȣ�Ҫô���Ϲ�Ӧ��ʩѹ���������ܶ�������������Ԥ��

  �Ͼ����뵼����ҵ��������ֻ�ǵ����ļ�������������ǣ����̫������沩�ġ�

  ��Դ�Ƽ��ķ�չ���˳������ϣ�
  ���ͬʱ��

  ������Դ�Ƽ��Ĺ�ѧ�о�ʵ����������������Ŷӽ��е������ȶ��Բ��ԡ�

  ��Ļ����������������ʾ��13.5���ײ����ļ�����������ǿ���ȶ���92%���ϣ�����ת��Ч��Ϊ7.1%��Զ����˹�������յ�LPP��Դ��   
  ������ݣ��Ѿ��ﵽ�����ñ�׼��

  �������������кܶ�޴����ս�Ͳ�ȷ���ԡ�

  ���磬����ŵ�͵������屾��������޴���������ת�к�ҺĤ����Ҫ��ǿ����ȴ������Ŀǰ���ȹ��������Ͳ�ƥ�䡣

  ����һ����·����Ȼ���Զ������������豸�ͼ��������Լ�����������

  �����ҳ���

  ����

  ����

  ����ʱ�֣�����ɭ���°�󣬲�û�л������ޱ����������Ǹϵ��������������� 550����®�ݡ�

  �����������㣬�칤�Ƽ�����®�ݻ��������ٿ���Ʒ�����ᣬ��ʽ���칤 B100���칤 C100�����г���

  ����Ȼ����ȱϯ��

  ���Сʱ�󣬷ɻ�������®�����Ż�����

  ���Ż���һ�����ͺգ����Ű�������һ�����ʻȥ��

  �ֹ�����ʮ���ӣ��ϻƲŰѳ��ӻ���ͣ�¡�

  ֻ��һ������ߵı�����������ǰ��ռ�����200��ƽ���ף�����һ�㣬�������㣬�������������800ƽ���ס�

  �Դ�200��ƽ���׵Ļ�԰������ǵı���������ͬ����䷿�ӳ��˹۾�ˮ���⣬����һ��¶̨Ӿ�ء�

  ����ǰ��ģ�����һ�ζ�ûס����

  ���ϻƣ���������һ�������ҡ���

  ����ɭ���˳������˵��һ�䡣

  ���õ��ϰ塣��

  �Ʋ����ͷӦ�������Ļ�Խ��Խ�٣�Խ��Խ��һ��רҵ��˾����

  ���ȳ���ɭ���ڣ����Ծ��ذ�����������������ϰ��Ƶ������ſڡ�

  ������Щ��ת�����ߡ�

  ����ɭû��Կ�ף�����̧���������š�

  �����Ҷ��Ƽ��������˶�����֮����û�����ţ�������æ�Ż��·���

  ����֨��һ����
  ����ͭƤ�ĺ�ľ����Ӧ���򿪡�

  ���ϰ壬ϲ���𣿡�

  Ҷʦ������һϮ��ɴ��ȹ������ͷ�����΢�ţ�ҧ��һ�Ʒ�˿��һ�����ĵ��ʵ���

  һ��β�Ͳ�������˦��˦ȥ��

  ��ž����
  ����ɭһ����˦�˹�ȥ����Ҷʦ����ƨ���Ϻݺݴ���һ�£��漴�߽�������������ض���һ�仰�����������������ý������ټ�򵥵������IJ�һ������

  ���ޡ���Ҷ��Ƽ����ƨ�ɣ��Թ�Ӧ��һ����

  ��˵���˴򣬿�����ȴ����˿˿�ģ��޲��ó���ɭ�ٶ�������ơ�

  ��Ϊ�Ƚࡢ���ʳκ��Լ�����®�ݣ��ɳ���ɭƫƫѡ���������˵���ϰ������ż��Ҳ��༸�ֲ�һ����ƫ�ۡ�

  Ҷ��Ƽ���ű��Ĺ��ĵط�����ǵ�Ц��ض��ز�ס��

  ���첽�ߵ��ſڣ������������ɭ�������䡣

  ����ɭ����ɳ���ϣ��ֱ���Ƚ�����ʳλ���һ����Ϣ��

  Ҷ��Ƽ��������źã��ָ�æ����һ˫��ʿ��Ь����������ߵ�����ɭ��ǰ��������Ь����Ь��

  ����ɭ������β��ҡ��ҡȥ���̲�ס������ȥץ��

  Ҷʦ������һ�죬����һ����ſ�ڳ��ܵ�ϥ���ϣ�����ϸ���˵�����ϰ壬��ץ���˼ҵ�β�ͣ��ҿɾ�û�������������ˡ���

  ���Ǿ��ȳԺ��ʣ��ٳ���������

  ����ɭ���˳�β�ͣ�Ҷ��Ƽ�������͸��Ӻ����ˣ��������ң�˫��������ӨӨˮ�⡣

  ����

  ����

  ���գ����ݾ�һ���ϵ��˻�����ֱ��®�ݶ�ȥ��

  �ܺ��㡢���ڡ���ҫͤ�������ͬ����ˡ�

  ��Ϊ�����ˡ����ɺ�������ֻ����̣�Ҳ�׷����˴���ǰ����

  �칤 A100���г�������Ŀ���ã������칤 B100���칤 C100������Ҳ����̫�

  ��ͨΪʲôͻȻ���ִ�ѹ�칤�Ƽ���

  ��������Ϊ����ɭ����һЩ�˵ĵ��⡣

  �Դ���Դ�Ƽ������󣬾ͱ�¶��ɭ���ʱ��ڰ뵼����ҵ��Ұ�ģ������ƿ�оƬ��ƻ��ڣ���������оƬ���컷�ڡ�

  �����˾��ã�����ɭ̫̰�ģ��ϵ�оƬ���µ�������ʲôǮ����׬�����緭����

  �������ݾ����˵��������ɭȷʵ�����ʵ����

  ��������Ը�ͨ�Ĵ�ѹ������ɭҲ���ֵ��������࣬��ǰ�ö��ֹ�̻����������˸��޷��º���������28�����Ƴ̵�оƬ���ܣ�ͬʱ���ó��ӿƼ��IJɹ�ҵ��һ����£�������ƺ�Ӣΰ�

  ��ͨ��
  ˲�����С��

  (������)