��585�� ������̻������ϣ������ͨ��С����ˣ�
2025-12-11 ���ߣ� ���������չź�
��585�� ������̻������ϣ������ͨ��С����ˣ�
EUV��Դ����13.5���ײ����ļ�������⣬��ʵ�֡������ܵ�·��̡��ĺ��ģ�ֱ�Ӿ�����оƬ����С�߿������ɶ����������ޡ�
ֻ��һ���ع⣬���ܰ���Ĥ���ϵĵ�·ͼ�����Ƶ���Բ���㡣
����ͳ��DUV��̻�����ͨ���������ع⡱�������γ�оƬ����ľ�ϸ��·��
������˵������Ҫ��ͬһ����Ĺ�̽�����2��4�ι������Ӱ����������Ч�����൱�� EUV��̻�һ���ع����ܴﵽ��ˮƽ��
�����ɴӸ����¡������������ﹺ���NXT 1950i DUV��̻�����ȻҲ������14���ס�����10����оƬ�����������ö����ع�ա�
Ȼ��������ع�ᵼ�¹�̲������ӣ��������ڱ䳤����Ʒ��������ɱ�Ѹ������������Ҫ�߸�30%��50%��
��Ҳ��Ϊ�ΰ�˹��ֻҪ������Fab��������EUV��̻����������ο�ס�����뵼����ҵ���ӵ���Ҫԭ��
���������������ؼ�������Ҳ��������ɱ��Ӹ߲��£��Ӷ�ʧȥ��ҵ��ֵ���г���������
����ͬһ��оƬ��Ʒ��˵����ͨ��20���ҵļ۸��������ë������������оƬ��������ͬ����20���ҵļ۸�����������Ҫ�������ɡ�
��������ijɱ���ӯ����࣬�ɹ�����Ȼ��Ը��
����ɭ����Ĵ�Լ���ŵ缤����ʽ��������˼�����Һ̬���������������������ķ�����ת��������ǿ�ų�Լ���£�ͨ���߹�������ŵ磬�ڽ������б�������ȶ��������ȵ�������ļ���·����
�ŵ��Զ�������̬�вļӸ�ѹ�ŵ磬��е�ṹ�����ȶ��Ը��ߡ�
����һ����컯����ļ����������ƹ��������е�LPPר������ǽ��
�������ˣ������ڴ�Լ���ŵ缤�������Ļ����ϣ��������ר�����Է�ŷ���İ뵼�幫˾ʹ�����µ��ֶΣ��������������ǡ���
����ɭ���������ϵĻ㱨������������
��ͨΪʲô���ˣ�
������������Ƶ��ͨ�Ž���ȼ����ϣ�������ȫ�µ�ר�����ݣ��Ѹ�ͨ�ij��ڸ���ס�ˡ�
Ҫ��Ȼ�����ޡ��Ÿ������ĸ���Ը�����칤�Ƽ�ǩ��ר��������ȨЭ�飿
�붼���룡
�Լ��߹���·����ȻҪ������
���ɲ����г�һ�գ�ͻȻð����һ�ҹ�˾��������Դ�Ƽ���Ȩ��
���õ��ϰ壬��֪������ר����̬���ݵ���Ҫ�ԡ�����������Ӧ����
���ǻ��ǹ�ѧ���ܻ�е�о����ĸ�����ʦ������ҵ��С��������
֮ǰ����Դ�Ƽ��ͻ���Э����������������ƽ����ؼƻ�ʱ�������;������ɭ�Ƽ������ϡ�
����ɭҪǮ��Ǯ��Ҫ���ĸ����ģ���ȫ��һ���ƴ����ֵ����ӡ�
�������о���������ʮ���꣬�ۿ���Ӫ��˾���о�Ա���õ���ŵ������ѧ���������ﻹ����ס��
���յ�����ɭ�����������˵���ͼ�������Դ�Ƽ��Ĺ�ѧ�о�ʵ���ң���������Ժʿ�Dz�����ս����ͼ�����辶��Ѱ��һ�ֿ����õ�EUV��Դ������ʽ��
�������չ��ֱ������ɭָ��һ�������пյ�·�ߡ�
�á���ų������桰���⡱��Ϊ������Լ������������ֶΣ��ڷŵ�������Χ����һ�鳬��������Ȧ������һ������Ĵž������͡�
����������������������壬���ö�㷴�侵���ռ�13.5���IJ��������۽��������
����ԭ������ΪȻ�������о�һ��ʱ����������ϰ�ķ��������ǿ��룬���Ǿ߱���ǿ�Ŀ�ʵ���ԡ�
��ʵ֤��������·�ǶԵģ�
��������������
����ɭ��Ϊƽ���ع��˵绰��
������������̼����Ǹ��ޱ��Ӵ�Ļ��ڣ���ȥ��Դ���֣��ᄉϵͳ��˫����̨����̽���ģ��Ҳ������֮�ء�
�㶨EUV��Դ�ļ�����ʽ��������ǧ��֮�У�����һ�����ѡ�
��һ�ߡ�
���ϰ���զ�࣬������Щʧ�أ�����ʵ�����ٴ��ȥ�����ϰ壺��ƾ��������������ø�������߿�ѧ��������Ҳ����û�п��ܰ�����
����ת��һ�룬�����Ƽ���������ŵ������ѧ���Ļ���ߣ��ϰ�ķ�Ӧƽ��Ҳ��������
���ڡ���Լ���ŵ���������Դ������Դ�Ƽ��ͻ���Э��Ĺ�ͬ�о��ɹ�����Ϣ�ڹ��ڵĿ�ѧ����ٴ�����
�������ڵ�֪���͵�վ�����������������š�
������ĸ��²���������ô�гɹ��ˣ���ʲô��Ц����
�������ڰ칫����������ȥ��������ĵر��˴ֿڡ�
ͬһʱ�䣬�������ѧʵ���Һ����ݹ����Ҳ�յ�����Ϣ��
��һ��Ӧ���ٵģ�
�������ڷ�����֤���ֲ��ò����ţ���Դ�Ƽ����ྩ������������EUV��Դ���������˳�����
���ң����ɹ��ƹ��˰�˹������˾��ɽ�ǡ�������Cymer������ר������ǽ��
����Сʱ�������ɽӵ������͵ĵ绰��
���ȷ�����Ϣ���ð���Э��Ĺ�����Ա���̸ϵ����ǣ����в������з����̵���Ա��һ��ǩ������������
���������������������Ҫ�Ժ���ɫ˲������������������һ�Ե�����Ը�����
������Դ�Ƽ����ϣ������˹�����̻������ϣ����
���õģ��������������鲻�ҵ��飬ץ��绰�Ϳ�ʼ��ϵ����Э�ᣬ����Ҫǩ������������Ա�������Խ�����һһ���������
��������վ�ڰ칫�ҵIJ�����ǰ�������ྩ�����ɵ���գ����ɵ������˳�˼��
��Դ�Ƽ���EUV��Դ����ļ���ͻ�ƣ���һ�����ף����������й�̻�·�ϵ�����������֮�����ģ�������������Ϯ���İ�����
һ����Ϣй¶����˹������˾��Щ���ʾ�ͷ���������Ӳ�����Ҫôͨ��ר���������ӽ��ȣ�Ҫô���Ϲ�Ӧ��ʩѹ���������ܶ�������������Ԥ��
�Ͼ����뵼����ҵ��������ֻ�ǵ����ļ�������������ǣ����̫������沩�ġ�
��Դ�Ƽ��ķ�չ���˳������ϣ�
���ͬʱ��
������Դ�Ƽ��Ĺ�ѧ�о�ʵ����������������Ŷӽ��е������ȶ��Բ��ԡ�
��Ļ����������������ʾ��13.5���ײ����ļ�����������ǿ���ȶ���92%���ϣ�����ת��Ч��Ϊ7.1%��Զ����˹�������յ�LPP��Դ��
������ݣ��Ѿ��ﵽ�����ñ���
�������������кܶ�����ս�Ͳ�ȷ���ԡ�
���磬����ŵ�͵������屾�����������������ת�к�ҺĤ����Ҫ��ǿ����ȴ������Ŀǰ���ȹ��������Ͳ�ƥ�䡣
����һ����·����Ȼ���Զ������������豸�ͼ��������Լ�����������
�����ҳ���
����
����
����ʱ�֣�����ɭ���°��û�л������ޱ����������Ǹϵ��������������� 550����®�ݡ�
�����������㣬�칤�Ƽ�����®�ݻ��������ٿ���Ʒ�����ᣬ��ʽ���칤 B100���칤 C100�����г���
����Ȼ����ȱϯ��
���Сʱ�ɻ�������®�����Ż�����
���Ż���һ�����ͺգ����Ű�������һ�����ʻȥ��
�ֹ�����ʮ���ӣ��ϻƲŰѳ��ӻ���ͣ�¡�
ֻ��һ������ߵı�����������ǰ��ռ�����200��ƽ���ף�����һ�㣬�������㣬�������������800ƽ���ס�
�Դ�200��ƽ���Ļ�������ǵı���������ͬ����䷿�ӳ��˹۾�ˮ���⣬����һ��¶̨Ӿ�ء�
����ǰ��ģ�����һ�ζ�ûס����
���ϻƣ���������һ�������ҡ���
����ɭ���˳������˵��һ�䡣
���õ��ϰ塣��
�Ʋ����ͷӦ�������Ļ�Խ��Խ�٣�Խ��Խ��һ��רҵ��˾����
���ȳ���ɭ���ڣ����Ծ��ذ�����������������ϰ��Ƶ������ſڡ�
������Щ��ת�����ߡ�
����ɭû��Կ�ף�����̧���������š�
�����Ҷ��Ƽ��������˶�����֮����û�����ţ�������æ�Ż��·���
����֨��һ����
����ͭƤ�ĺ�ľ����Ӧ����
���ϰ壬ϲ���𣿡�
Ҷʦ������һϮ��ɴ��ȹ������ͷ������ţ�ҧ��һ�Ʒ�˿��һ�����ĵ��ʵ���
һ��β�Ͳ�������˦��˦ȥ��
��ž����
����ɭһ����˦�˹�ȥ����Ҷʦ����ƨ���Ϻݺݴ���һ�£��漴�߽�������������ض���һ�仰�����������������ý������ټ�������IJ�һ������
���ޡ���Ҷ��Ƽ����ƨ�ɣ��Թ�Ӧ��һ����
��˵���˴�����ȴ����˿˿�ģ����ó���ɭ�ٶ�������ơ�
��Ϊ�Ƚࡢ���ʳκ��Լ�����®�ݣ��ɳ���ɭƫƫѡ���������˵���ϰ������ż��Ҳ��༸�ֲ�һ����ƫ�ۡ�
Ҷ��Ƽ���ű��Ĺ��ĵط�����ǵ�Ц��ض��ز�ס��
���첽�ߵ��ſڣ������������ɭ�������䡣
����ɭ����ɳ���ϣ��ֱ���Ƚ�����ʳλ���һ����Ϣ��
Ҷ��Ƽ��������źã��ָ�æ����һ˫��ʿ��Ь����������ߵ�����ɭ��ǰ��������Ь����Ь��
����ɭ������β��ҡ��ҡȥ���̲�ס������ȥץ��
Ҷʦ������һ�죬����һ����ſ�ڳ��ܵ�ϥ���ϣ�����ϸ���˵�����ϰ壬��ץ���˼ҵ�β�ͣ��ҿɾ�û�������������ˡ���
���Ǿ��ȳԺ��ʣ��ٳ���������
����ɭ���˳�β�ͣ�Ҷ��Ƽ���������Ӻ����ˣ��������ң�˫��������ӨӨˮ�⡣
����
����
���գ����ݾ�һ���ϵ��˻�����ֱ��®�ݶ�ȥ��
�ܺ��㡢���ڡ���ҫͤ�������ͬ����ˡ�
��Ϊ�����ˡ����ɺ�������ֻ����̣�Ҳ�����˴���ǰ����
�칤 A100���г�������Ŀ���ã������칤 B100���칤 C100������Ҳ����̫�
��ͨΪʲôͻȻ���ִ�ѹ�칤�Ƽ���
��������Ϊ����ɭ����һЩ�˵ĵ��⡣
�Դ���Դ�Ƽ������ͱ�¶��ɭ���ʱ��ڰ뵼����ҵ��Ұ�ģ������ƿ�оƬ��ƻ��ڣ���������оƬ���컷�ڡ�
�����˾��ã�����ɭ̫̰�ģ��ϵ�оƬ���µ�������ʲôǮ���������緭����
�������ݾ����˵��������ɭȷʵ�����ʵ����
��������Ը�ͨ�Ĵ�ѹ������ɭҲ���ֵ��������࣬��ǰ�ö��ֹ�̻����������˸����º���������28�����Ƴ̵�оƬ���ܣ�ͬʱ���ó��ӿƼ��IJɹ�ҵ��һ����£�������ƺ�Ӣΰ�
��ͨ��
˲�����С��
(������)