��611�� ������̻����з����̣�����������ʮ�꣡
2025-12-11 ���ߣ� ���������չź�
��611�� ������̻����з����̣�����������ʮ�꣡
�Դ���Դ�Ƽ��뻪��Э�������Ĺ�����������з����ˡ���Լ���ŵ���������Դ������MDP�������㿪ʼ���ֹ��˹�̻��ĵڶ��������ݡ�����ѧϵͳ��
�Ͼ������ǡ�����⡯�����У����á��ú������⡯��������ɾ�Բ�ع⣬����ʵ��оƬ���������졣
���ó���ɭ�ٸ����ε��ǣ�����EUV��Դ������ʽ�������з��������Լ�������������塢�ŵ��������������յ��ŵ��������Ϊ����
����Դ�Ƽ���ѧ�������������ʦ�ļ��ܺ���Ŀ���飬�����з�����ƥ�䡣
�������з�����ѧϵͳʱ�����ȼ�Ϊ������
Ҫ֪����EUV�⼸���ᱻ�����������գ������ʹ�ô�ͳ�IJ�������������·��������ջ�����ʹ�÷���ʽ��ѧϵͳ��
�ռ���������ϵͳ��ͶӰ�ᄉϵͳ����Ĥ�����Ĥ̨����������ļ���������
MDP-EUV��Դ����ȷʵ�߳���һ�����ص���·�������ִ��²���û�д��ۡ�
һ���ϰ�����Ҫ�Լ�ȥɨƽ��
����ɭ�ڻ�Ϥ��ѧ�����з����Ⱥ������;����ˡ�
����������������������ָ����·���������ꡢʮ�꣬��û����ǰ����һ����
���ò�˵�����߹��������Ŷӵ�ˮƽ��
��û�뵽����ô�����������������ϵ���ȴ����ȷ��·�ڱ�Ե�������������ʮ�죬ȴ��˿����չ��
���ǣ�����ɭ�ڿ�������˼��Mass��V1.0��������ͣ�����Ƴ��ˡ���Dz���������Բ�ռ���ϵͳ����
�����Ȿ������һ���ܵĶ��Ĥ���ӣ����Ը�Ч����EUV��Դ������������۽�����������ϵͳ�
�ѵ���Ҫ���������ռ�Ч�ʺͿ�����������
ǰ������ΪEUV������������˷���ɢ�ģ����������ռ�Ч�ʣ��͵���Ƹ��ӵĶྵƴ�ӽṹ��ͬʱ��֤ÿƬ���ӵĽǶ�У���ȶ�Ҫ�ﵽ����
Ȼ�����κνǶ��ϵ�ƫ��ᵼ�¹���©ʧ���Ӷ�Ӱ�쵽�ռ�Ч�ʡ�
��������Ϊ�����ӹ�Դ��������������ߵ��¶ȣ������Ҫ��ǿ�Ŀ�����������
�ռ�Ч��Ҫ����Ĥ�߱��������ȡ��������ڵ��������ԣ���������ʺͽǶ������ԡ�
������������Ҫ����Ĥ�ֵá���Ӳ������ʴ�����������Ӷ��Ᵽ����IJ��ϡ�
��������ì�ܣ�����Ҳ�����ռ����ļ����ѵ����ڡ�
����ɭ��Ƶ����ס���Dz���������Բ�ռ���ϵͳ������ܺõ�ƽ�����ռ�Ч���뿹����������
�����ܹ���Ч�����ɸ߹�������ŵ硢����������в�����13.5����EUV�⣬���ܽ����۵�Զ�����м佹�㣬Ϊ����������ϵͳ�ṩ�㹻�����Ҿ��ȵĹ�����
���ͬʱ��
���Ϻܿ�ͷ������������ʼ����ڴ����ĵ����ȴҴ�ɨ��һ�ۣ����ž������ԭ�ء�
�ϰ巢����������̫�����ˣ��ӹ�ѧ��ƵĹ��͡�����ǣ��ٵ����ײ��ϡ�����Ϳ�㡢�ȹ�����ϵͳ�͵�ų���м����ϵͳ����������Ĥ���յIJ����������У���㷨ģ�Ͷ��������ڡ�
��ǰ��ѧ�������˰���µġ��ྵƴ�ӽǶ�ƫ����⣬�ĵ���ֱ�Ӹ����ˡ��������ʵʱУ���Ľ������������У�õļ��Ⲩ��������Ƶ�ʶ���ע��һ�������
�����͵�վ��������������Щ�����������ֱ�ǰѴ�д�˳�������
�����ĵ���û���������������ϰ������ġ������ģ�����˵������Դ�Ƽ���ѧ����ɭ���ʱ���ʵ�����з�ʵ���ң�
�������ڹ�λ�ϣ��̲�ס��˼�����š�
�ϴ�MDP-EUV��Դ�������£������ʹ������ɺͳ���ɭ��
������һͷ��ˮ������ɭ��������Ϲ��������Ҳֻ�ܰ������Ӻ���ѹ���ĵס�
����һ�Σ����ְ��ס�ˡ�
ʵ���ǡ���Dz���������Բ�ռ���ϵͳ���ļ���̫ǿ�ˣ���ȫ��һ�������ҳ���ļ����������ɲ����������롣
���ϳ������Σ�����Ц��һ���������ֻ����������·��¡�
��֪����Щ���⣬���˲���˵���ʹ�������˵������˵����û�д𰸡�
�������æ�ټ������з���Ա���ᡣ
�������ڣ�����ҿ����ĵ��С���Dz���Բ�ṹ������άģ��ʱ��ԭ�����Ƶ�����˲����ڡ�
��ѧϵͳ���������ι���ʦָ����Ļ˵�������ڲ㾵��������60�ȷ�Χ�ڵ�EUV�⣬�в㾵����60��120�ȣ���㾵��ȫ120��180�ȣ������ռ�Ч��������������80%��ѹ����û���ȣ�����֮ǰ����������������ʲô���𣿡�
�������˾�ϲ�����ȹ�����ϵͳ��
�ĵ�������ھ����ڲ�Ƕ��ͨ��ˮ��ṹ���������µ���諸Ͻ���ף����ܳ��ܵ�������ĸ��³�������ܱ����¶ȹ��ߵ��¶��Ĥ���䡣
��������ĵġ��������ˡ����⣬��������Ȼ��ˮ��ͨ����ֱ����ˮ���ٶȶ�����ˣ���
������Ĺ���ʦ�������ղ���ҳ��������˵����
�����ˣ��ֹ�������ݶ�Ϳ��ķ������������Ĥ���������豣���㣬ÿ��ĺ����������0.1�������ڣ����������弤���������80�γ������⾫�����ǵ��豸�ܴﵽ�𣿡�
������¶��ɫ�ص��ǵ���
��������üͷ�������豸������ι���ʦ�ʵ�������˾��Ĥ���ں��º�ʪ�����£��ܲ��ܰѾ����ȶ�������0.05��0.1����֮�䣿��
�豸������ι���ʦ�����룬�dz��Ͻ��ػش��������������10�����Ĥ����������С0.04���ף����0.09���ף��պ������㷽��Ҫ��
�������ǣ�ÿ�λ��вġ����������ʱ���������0.12��0.15���IJ�����80�γ����������ۻ������ܻᳬ�ꡣ��
����˼��Ƭ�̣�����һ�����˼·�����Ǿͼ�һ��ʵʱУ�����̣��㷨���ȿ���һ��Ĥ���������Ĥ���Ĵ�����������ÿ����10�㣬���Զ���ͣ���õ�������ɨ��Ĥ��
����ʵ�����ݵ�����һ�ֵļ���ʺͳ���ʱ�䣬�ѵ�����������0.05�������ڡ�
���⣬�ڶ�Ĥ����Χ��һȦ�����֣������¶ȵĸ���Ӱ�졣��
���������ԣ���ʱ��Ȼ����
���ϱϾ��ǻ��ǹ�ѧ���ܻ�е�о����ĸ�����ʦ�������ͼ��������֮�����Ǻ����ͼ����Ƽ����˲ţ��ؼ�ʱ�����ó���֮��Ч�ķ�����Ҳ������
��ʵ�ϣ��ڳ���ɭ�����������ϵ��ˣ����̡��������ʹ������������������ڽӴ�����EUV��ѧ�Ķ��⼼����������ǹ���ǽ�Ƶģ�һֱ����·��
������ӵ��ͬ�ȵĿ��л���������δ�ؿ�������һ���ռ���ϵͳ���ɺܶ����վ�û�������
������ɭ�ܸ㶨�����������Ҳ��Զ�����˰ٱ��ľ��������Լ����������볬Ƶ˼ά״̬�ġ����ʿ�ʱ�ӡ��츳��
��Ȼ����ԭ��������������Ҳ��ͻ�����������Ҫ���ѵ�ʱ�䣬���Բ�ֹ����¡�
���õ�����Dz���������Բ�ռ���ϵͳ���ļ�����������Դ�Ƽ���ѧ�����£�����Ͷ��ȫ���������������ٶȷ�����ĥ��ȫ�����֣���������ϵͳ�ɹ�Ӧ�õ�ʵ�������С�
�㷨����ҹ�Ӱ࣬�����ھ������Ĥ�������Ŀ�����
�ó������ʵʱ�ɼ���Ĥ���ļ���ʡ�����ʱ�����ݣ������Զ�����Ĥ��������ߣ�������0.05����ʱ�����ᴥ����ָͣ������Ծ��Ƚ���ʵʱУ��
�����з����Ļ��д���������Ĺ���ʦ�����Կ�ѧЭ��Ĵ����ǣ�û����þ͵�֪����Դ�Ƽ��ļ���ͻ�ơ�
���Ϻ�����������ʣ���Դ�Ƽ���ȱ��ȱ�ˣ���
���ǹ�ѧ���ܻ�е�о���������������ͨ�˺����͵ĵ绰��֧֧�����˵����
��ʲô��˼�������ְ����ʲô��Ц����
�����ͷ��ʵ���
�����ǻ��ǹ�ѧ���ܻ�е�о�����������������Ҫ���о�������EUV��Դ����ǰ��������170����ר����������ҵ��ţ��
���Ϻ�������Դ�Ƽ������е��ռ���ϵͳ��Ū�����ˣ���֪������ζ��ʲô���������ߣ���Դϵͳ���ܳ��״�ͨ��һ�����˫����̨���з���������һ̨����EUV��̻������˼����������������𣿡�
�������ŵ绰�������ʵ���
���������㶼һ������ˡ�����
����������˵����
����ƨ����ʮ�꣬����ƴ������ͣ����ˣ��һ��������ϰɣ�������ô˵����Ҳ���������쵼����
�����������������ĵ����ӣ�˲��������һ������
����˵���������ϸ����㣬ȴ�е�Ĩ�������ӡ�
������ϵͳ��Ӱ��������ô���𣿡�
��������оƬ��ƹ���ʦ����EUV��̼�����Ȼ�˽⣬�������ڱ��档
����һ���˳Թ����⣬Ҳ֪��������������Щ���������ģ������������ϸ����ʲô�����Ͳ�����ˡ�
��������̻����з����̣�����������ʮ�꣡��
���������ƶ��ظ������ۡ�
��������֪�����Ը��Ͻ����������ſڿ��ӣ�������һ������������ʶ����Դ�Ƽ��ı�̬֮����
��Ϣ����ϱ���һ���꾡�ĵ����ļ���Ѹ�ٵݵ��������ɵİ칫���ϡ�
�����ܹܿأ��ٰѹ�ѧ��˫����̨�͵�ƽ��������Ŀ�����Ա�����һ������ȥ��Դ�Ƽ�����
���ֻ������翪�ģ������ǵ�����Ч�ġ�
����EUV��̻����ջ���̫���ˣ�
ֻҪ�������У����ܴ�����ȡһ����������ʷ��Ĺ��������ֻ��ᣬ˭Ҳ��Ը������
�����ɵľ����´��ȫ����Χ�ڵĿ�����Դ��ʼ����Դ�Ƽ���ۡ�
��������Ի��ǹ�ѧ���ܻ�е�о���������Э�������Զ������������ƴ��Э���87��ר��½���ִ�®�ݡ�
���������������EUV������ʮ�����ҵ̩����Ҳ����˫����̨����ƽ����ϵͳ�з���ո¶ͷ�ǵ�����Ǹɡ�
���������������յ�65�����Ƴ�˫����̨������������ȥ�˻��ǡ�
(������)