��627�� �ѵ�û�й���ļ��������Ǿ��첻��EUV��̻���
2025-12-11 ���ߣ� ���������չź�
��627�� �ѵ�û�й���ļ��������Ǿ��첻��EUV��̻���
���ֿ����ˣ���
����ɭ�������ϵĻ㱨�ʼ���ü������
��û�뵽���Լ����Ѿ��Ѵ����߿���Ϊ�����̺���·�������ȴ����û������ǰ����һ����
��ǰ���ѵ��������棺
��һ���м̾����еķ����淴�侵����Ҫ�����ξ��ȿ�����50Ƥ�����£�����ֲڶȵõ���0.1���ľ�������
���仰˵�����൱��Ҫ��һ��հ�ʡ��С����������������ܳ���һ��A4ֽ�ĺ�ȡ�
�Ѷȿ����֪��
Ŀǰ��ȫ����е����������ߡ��¹��IJ�˾�߱���Ӧˮ�ľ�����ա�
���ܵ���ɭ��Э�������ƣ����㻨Ǯ��Ҳ�ò����������
�����������ƴ�ͻ���Э�᳤�������������ӵ������������������⼼������������ʵ��ԭ�Ӽ������ξ��ȣ�����ʵ�������������ھ���
��ͺñ��ʣ����������F1�����ķ�������
����˵��������ȱ�������������������Ĺ�����Ҳ�����ȼ��������ԭ����
��F1�������������ǵ�һ�����ļ���ϣ����Dz���ѧ�����ܼӹ�������ѧ�����ӿ���ϵͳ�ȶ��⼼���ļ����壬�Ҷ�ת�١���Ч�ʺͿɿ��ԵIJ������ﵽ����ҵ���¡�
�ɴ˿ɼ�������ԭ�����ˣ�Ҫ��ص��ȶ���ʵ�������У�����������Խ�ĺ蹵��
������һ���£������������һ���¡�
�ڶ������Ӵ�ĥ��ɺ����ڱ������40��60�Ե��⡢�轻�污Ĥ�㣬��ÿ���ȵ����������ԭ�Ӽ���
��Ĥ��������Ĵſؽ��似�����������в����о��������գ����ھ��ȶȺ;�ϸ���ϣ���Ȼ������EUV��̻���ʹ������
���⣬��ξ���⾵��⻬��Ҳ�Ǹ����⡣
û�в�������û�мӹ���
���������������ˮƽ���컨�塣
2014�껪���ڸ߾��ȸ����������ر�������EUV���εļ���豸�ͼ����������ﲻ��50Ƥ�IJ������ȡ�
�����Ϻ������ϰ�λ�з�����ʦ�����ǹ�ѧ������ٮٮ�ߣ������Ƕ��㲻�����£����������ˣ������Ҳ�����¡�
���Ǿ����ˣ�ֻ���������ޡ�
����ɭ�����������Ҫ�Dz����֣��ⳡ���д��ս���Ҫ��Ϊһ��Ц����
����һ˼�������������Ȱ��������⡢��������ʹſؽ���ļ����ĵ���������
���ͬʱ��
���ǣ���Դ�Ƽ���ѧ�з����ġ�
��������ʵ��̨ǰ��˫�����Ǻ�Ѫ˿����ɫ������
��������һ�ԣ����������ϵļ��˵���������ż�������ɽǰ����·���������£���Ȼ���������ˣ����¸㲻���������⣿��
���ǹ������һ��ר�ҵ�ͷ���͵�������ǰ���Dz���ҪƤ������⾫�ȣ����Լ�����չ���������ڲ�һ���ˣ�ֻҪ�㶨����ϵͳ�ķ����淴�侵����EUV��̻��Ĺ�ѧϵͳ���͵���������һ��ĺ��ļ�������
������ˣ�ʵ�����������ȴû��ô���͡�
���Ͽ�Цһ����ָ�����ϵļ�ⱨ�棺����������������ʵ����������ǵ��������Ծ��Ƚ���������ˮ�����ξ��ȹ�������ѹ����֪������
�������ڱ����۾���·������Բ��Զ���ȷ������ô������
�ྩ����������Ṥ��ʦ�������ʣ�һ��������С����������ѵ�û�й���ļ���֧�֣����Ǿ��첻��EUV��̻��ĺ��IJ����𣿡�
�⻰����һ�����룬�������˵����Ķ��������ˡ�
����ƨ���˼һ��˼�ʮ����۵ļ��������Dz����˼��죿������Ķ�û���𣿡�
�����͵�վ��������������������һ����ʱ�䣬���ǾͰ�����ϵͳ�ķ������ݳ����ˣ���˵��˼·�ǶԵġ�
���Ѿ��ͳ������ྩ��������˹�ͨ���ˣ������������ͷ�����������ȹ���ͶӰ�ᄉϵͳ������Ͷ�Ĥ�������������ϸ���������ܰ����Ӳ��ͷ����������
���Ļ���һ��ǿ���룬��ʵ��������Ե��������Ի�ů��
��������һ����������վ����˵����������˵�öԣ������Ȱ��շֹ������о�����ͶӰ�ᄉϵͳ�Ĺ�·��ơ���
���ǹ������ר�������ó�ͼֽ��ָ�����渴�ӵĹ�·�ṹ����ͶӰ�ᄉ�ð�����ϵͳ�����Ĺ������۽�����Բ�ϣ�����Ҫ������������Ծ�Ƭ�����ʾ���Ҫ��ȷ��侵���ߡ�
����֮ǰ��ƵĹ�·����ģ����л�����0.5��������ƫ������Ż�����
���յ�ͼֽǰ����������Ҳ�����ϣ���˾��ͶӰ�ᄉ����15Ƭ�߾��Ⱦ�Ƭ��ÿƬ��������������20Ƥ�����ڡ�
����Ҫ���ܰ����ƫ���0.2�������£��������ո��ϣ�˵�������ܸ������ǵ�ˮƽ����
����Խ��ԽͶ�룬����Χ��ͼֽ�͵���æµ��������
�����������·ģ���������������켸�˺��㾵Ƭ���������Ķ�Ӧ��ϵ��ʣ�µ��з���ԱҲ��æѹ�´�ǰ�ĸ�������������������Ͷ�뵽���ԵĹ����С�
����
����
����һ�磬����ɭ���վ��Ĵ�ȥ�绰��������Զ־�Ĺ�ϵ���õ���һ��®�ݿƴ��ͨ��֤�������ɽ������ʵ���ҡ�
������Ͷ�Ĥ���գ�������ʵ���в������ƣ������ҵ��Ż�����
��������㣬�ǵò�������ġ�
ͬһʱ�䣬����Ҳ�����һ���ó��������⼼�����з���Ա������®�ݡ�
�����忡���˽���®�ݿƴ�Ĺ��ʵ����ʱ���պÿ������ڸ����ྻ����������齺���������ֵij���ɭ��
������ɭ���ʱ��Ĵ�ʼ����
Ϊʲô����ʵ�����
�����������һᣡ������ɭͣ�����еĶ�������ֱ�����忡��ȥ���漴�������˵����
�������������á������忡��Ȼ��һ���ӵ����ʣ�����Ҳ����ֱ�ӷ��ʡ�
���ǹ����ƴ��ܼӹ��Ŷӵĸ߽��о�Ա����ʿѧ�����������ס�
����������������ע��������˵�������̵Ļ���
��ʵ���Ҹյ���������������������������ˣ�һ����������
����ɭ�ջ����֣�ָ���ԱߵIJ����������������������������������������˵�����������ڻ��������ľ�������ҿ����ˣ�������ʴ��ȹ�����ʼ��������3���ף����ȹ�����������Ԥ��������
���忡ͫ���������о���
������ʶ�ߵ�������ǰ��Ŀ�����ڴ��������Ԥ���������ϡ�
�����ٸо��ȵ��ǣ���Ļ�ϲ��������г��˲�ͬת������ĥҺ�Ŀ�������ȡ��ų�ǿ���ݶ����ߣ���������ע�ˡ�Ԥ����������������500Ƥ���ڡ�����ȷ�ڵ㡣
��������������ǰ���������ϵ�Ӧ���ͷ����ߣ���
���忡�̲�ס���ʵ���
Ҫ֪���������������ĥ�����л���Ӧ�����۲���С�α䣬���dz����ܼӹ�������ֵ����⣬Ҳ�ǹ��ڸ����У���о����ٳ�δ��ͻ�Ƶļ����ϰ���
�������������˽��������
���ڸ�����������꣬����Ϊ��������֪���������������Ŷ�����˼��
����ɭ��ף���������ϵ�Ӧ���ͷ����ͺ��ԣ�Ԥ����ʱ����0.3%�IJ���������Ȼ�����ȴ����ֻص��������£���������ʱ���ҡ���
��С���������������������������Ȳ��һ����ߵ�Ӧ���ֲ�����
���忡תͷ��������о�Ա�Ը���������������ڵļ��С�
����ɭû�ٶ�˵��ת��������һ̨�豸��
��������һ�����ӣ����忡���ڳ���ɭƨ�ɺ����ת����ȫ��һ��ѧ�������ּ�������̬��
��Խ�����˽⣬Խ����ᵽ����ɭ�ڳ����ܼӹ�����ľ����츳��
������ʱ�����忡Ҳ�Ǹ߿�״Ԫ���������˹����ƴ������࣬��ͬ���������ڿ�����ţ����ڳ���ɭ��ǰ��ȴ�������������һ�㡣
����ɭÿ��ֻ����®�ݿƴ������Сʱ���ֹ��������忡���˳е���
�����ȿ������ӿ�ƴ�Ӽ������̶��������ȫϢƬ��������ͨ���䱸ԭ����������ѧɢ���ǣ����ȰѼ�⾫����������Ƥ����
��Ϣһ�������ǹ�ѧ�����з����ģ������˵ľ���˲��Ϊ֮һ��
�Ͼ����˲��Թ��ߣ����ո�����������ȷ�ķ����ѭ��
��һ�ߡ�
�廪������Э�������������ĺͱ������ӿƼ����ڻ�����°�Ĵſؽ��似����������ʼ�˰вĺͶ�Ĥ�豸���з�������
Ȼ�������ѹؾͿ����������ϵĴ������۽ṹ�ľ������ϡ�
����ɭ�ڵ�֪�������ѹ�ս�͵����������ܻ����������һ�������ʹ�ͨ�˰вĴ��Ⱥͽṹ�ϵ�ӵ�µ㡣
ƿ��һ�ƣ������з������ͨ���ζ�������
����ϵͳ���з�����ͻ���ͽ���
(������)