��ҳ > ����С˵> ��н���ܱ�ǿ������ʮ��Ա���� > ��627�� �ѵ�û�й���ļ��������Ǿ��첻��EUV��̻���

��627�� �ѵ�û�й���ļ��������Ǿ��첻��EUV��̻���

2025-12-11 ���ߣ� ���������չź�
  ��627�� �ѵ�û�й���ļ��������Ǿ��첻��EUV��̻���

  ���ֿ����ˣ���

  ����ɭ�������ϵĻ㱨�ʼ���ü��΢����

  ��û�뵽���Լ����Ѿ��Ѵ����߿���Ϊ�����̺���·�������ȴ����û������ǰ����һ����

  ��ǰ���ѵ��������棺
  ��һ���м̾����еķ����淴�侵����Ҫ�����ξ��ȿ�����50Ƥ�����£�����ֲڶȵõ���0.1���׵ľ�������

  ���仰˵�����൱��Ҫ��һ��հ�ʡ��С����������������ܳ���һ��A4ֽ�ĺ�ȡ�

  �Ѷȿ����֪��

  Ŀǰ��ȫ����е����������ߡ��¹��IJ�˾�߱���Ӧˮ׼�ľ����׹⹤�ա�

  ���ܵ���ɭ��Э�������ƣ����㻨Ǯ��Ҳ�ò����������

  �������󡢹����ƴ�ͻ���Э�᳤�������������ӵ���������׹���������׹⼼������������ʵ��ԭ�Ӽ������ξ��ȣ�����ʵ�������������ھ޴���

  ��ͺñ��ʣ����������F1�����ķ�������
  ����˵��������ȱ�������������������׵Ĺ�����Ҳ�����ȼ��������ԭ����

  ��F1�������������ǵ�һ�����ļ���ϣ����Dz���ѧ�����ܼӹ�������ѧ�����ӿ���ϵͳ�ȶ��⼼���ļ����壬�Ҷ�ת�١���Ч�ʺͿɿ��ԵIJ�����׼�ﵽ����ҵ���¡�

  �ɴ˿ɼ�������ԭ�����ˣ�Ҫ��ص��ȶ���ʵ�������У�����������Խ�ĺ蹵��

  ������һ���£������������һ���¡�

  �ڶ������Ӵ�ĥ��ɺ󣬻����ڱ������40��60�Ե��⡢�轻�污Ĥ�㣬��ÿ���ȵ����������ԭ�Ӽ���

  ��Ĥ��������Ĵſؽ��似�����������в����о��������գ����ھ��ȶȺ;�ϸ���ϣ���Ȼ������EUV��̻���ʹ������

  ���⣬��ξ�׼��⾵��⻬��Ҳ�Ǹ����⡣

  û�в�������û�мӹ���

  ��������������׹�ˮƽ���컨�塣

  2014�껪���ڸ߾��ȸ����������ر�������EUV���εļ���豸�ͼ����������ﲻ��50Ƥ�׵IJ������ȡ�

  �����Ϻ����󳯵��ϰ�λ�з�����ʦ�����ǹ�ѧ������ٮٮ�ߣ������Ƕ��㲻�����£����������ˣ������Ҳ�޼����¡�

  ���Ǿ����ˣ�ֻ���������ޡ�

  ����ɭ�����������Ҫ�Dz����֣��ⳡ���д��ս���Ҫ��Ϊһ��Ц����

  ����һ˼�������������Ȱ��������׹⡢�������׹�ʹſؽ���ļ����ĵ���������

  ���ͬʱ��

  ���ǣ���Դ�Ƽ���ѧ�з����ġ�

  ��������ʵ��̨ǰ��˫�����Ǻ�Ѫ˿����ɫ������

  ��������һ�ԣ����������ϵļ��˵���������ż�������ɽǰ����·���������£���Ȼ���������ˣ����¸㲻���������⣿��

  ���ǹ������һ��ר�ҵ�ͷ���͵�������ǰ���Dz���ҪƤ�׼�����׹⾫�ȣ����Լ�����չ���������ڲ�һ���ˣ�ֻҪ�㶨����ϵͳ�ķ����淴�侵����EUV��̻��Ĺ�ѧϵͳ���͵���������һ��ĺ��ļ�������

  ������ˣ�ʵ�����������ȴû��ô���͡�

  ���Ͽ�Цһ����ָ�����ϵļ�ⱨ�棺����������������ʵ����������ǵ��������Ծ��Ƚ���������ˮ׼�����ξ��ȹ�������ѹ����֪������

  �������ڱ����۾���·������Բ��Զ���ȷ������ô������

  �ྩ����������Ṥ��ʦ�������ʣ�һ��������С����૵������ѵ�û�й���ļ���֧�֣����Ǿ��첻��EUV��̻��ĺ��IJ����𣿡�

  �⻰����һ�����룬�������˵����Ķ��������ˡ�

  ����ƨ���˼һ��˼�ʮ����۵ļ��������Dz����˼��죿������Ķ�û���𣿡�

  �����͵�վ��������������������һ����ʱ�䣬���ǾͰ�����ϵͳ�ķ������ݳ����ˣ���˵��˼·�ǶԵġ�

  ���Ѿ��ͳ������ྩ��������˹�ͨ���ˣ������������ͷ�����������ȹ���ͶӰ�ᄉϵͳ�����׹�Ͷ�Ĥ�������������ϸ���������ܰ����Ӳ��ͷ����������

  ���Ļ���һ��ǿ���룬��ʵ��������Ե��������Ի�ů��

  ��������һ����������վ����˵����������˵�öԣ������Ȱ��շֹ������о�����ͶӰ�ᄉϵͳ�Ĺ�·��ơ���

  ���ǹ������ר�������ó�ͼֽ��ָ�����渴�ӵĹ�·�ṹ����ͶӰ�ᄉ�ð�����ϵͳ�����Ĺ�����׼�۽�����Բ�ϣ�����Ҫ������������Ծ�Ƭ�����ʾ���Ҫ��ȷ��侵���ߡ�

  ����֮ǰ��ƵĹ�·����ģ�⻷���л�����0.5��������ƫ������Ż�����

  ���󳯴յ�ͼֽǰ����������Ҳ�����ϣ���˾��ͶӰ�ᄉ����15Ƭ�߾��Ⱦ�Ƭ��ÿƬ��������������20Ƥ�����ڡ�

  ����Ҫ���ܰ����ƫ���0.2�������£��������ո��ϣ�˵�������ܸ������ǵ�ˮƽ����   
  ����Խ��ԽͶ�룬����Χ��ͼֽ�͵���æµ��������

  ���󳯸��������·ģ���������������켸�˺��㾵Ƭ���������Ķ�Ӧ��ϵ��ʣ�µ��з���ԱҲ��æѹ�´�ǰ�ĸ�������������������Ͷ�뵽���ԵĹ����С�

  ����

  ����

  ����һ�磬����ɭ���վ��Ĵ�ȥ�绰��������Զ־�Ĺ�ϵ���õ���һ��®�ݿƴ��ͨ��֤�������ɽ������ʵ���ҡ�

  �����׹�Ͷ�Ĥ���գ�������ʵ���в������ƣ������ҵ��Ż�����

  �⿿�������㣬�ǵò�������ġ�

  ͬһʱ�䣬����Ҳ�����һ���ó��������׹⼼�����з���Ա������®�ݡ�

  �����忡���˽���®�ݿƴ�Ĺ��ʵ����ʱ���պÿ������ڸ����ྻ��������޳��齺���׺��޳����ֵij���ɭ��

  ������ɭ���ʱ��Ĵ�ʼ����

  Ϊʲô����ʵ�����
  �����������һᣡ������ɭͣ�����еĶ�������ֱ�����忡��ȥ���漴�������˵����

  �������������á������忡��Ȼ��һ���ӵ����ʣ�����Ҳ����ֱ�ӷ��ʡ�

  ���ǹ����ƴ󳬾��ܼӹ��Ŷӵĸ߽��о�Ա����ʿѧ�����������ס�

  ����������������ע��������˵�������̵Ļ���

  ��ʵ���Ҹյ������������׹���������������ˣ�һ�𿴿���������

  ����ɭ�ջ����֣�ָ���ԱߵIJ����������������������������������������˵�����������ڻ��������ľ�������ҿ����ˣ�������ʴ��ȹ�����ʼ��������3���ף����ȹ��������׹���Ԥ��������

  ���忡ͫ��΢�������о���

  ������ʶ�ߵ�������ǰ��Ŀ�����ڴ������׹��Ԥ���������ϡ�

  �����ٸо��ȵ��ǣ���Ļ�ϲ��������г��˲�ͬת������ĥҺ�Ŀ�������ȡ��ų�ǿ���ݶ����ߣ���������ע�ˡ�Ԥ����������������500Ƥ���ڡ�����ȷ�ڵ㡣

  ��������������ǰ���������ϵ�Ӧ���ͷ����ߣ���

  ���忡�̲�ס��׷�ʵ���

  Ҫ֪���������������ĥ�����л���Ӧ�����۲���΢С�α䣬���dz����ܼӹ�������ֵ����⣬Ҳ�ǹ��ڸ����У���о����ٳ�δ��ͻ�Ƶļ����ϰ���

  ��񣬾�����������˽��������

  ���ڸ�����������꣬����Ϊ��������֪���������������Ŷ�����˼��

  ����ɭ΢΢��ף���������ϵ�Ӧ���ͷ����ͺ��ԣ�Ԥ����ʱ����0.3%�IJ���������Ȼ�׹����ȴ����ֻص��������£���������ʱ���ҡ���

  ��С����������������������׹�����Ȳ��һ����ߵ�Ӧ���ֲ�����

  ���忡תͷ��������о�Ա�Ը���������������ڵļ��С�

  ����ɭû�ٶ�˵��ת��������һ̨�豸��

  ��������һ�����ӣ����忡���ڳ���ɭƨ�ɺ����ת����ȫ��һ��ѧ�������ּ�������̬��

  ��Խ�����˽⣬Խ����ᵽ����ɭ�ڳ����ܼӹ�����ľ����츳��

  ������ʱ�����忡Ҳ�Ǹ߿�״Ԫ���������˹����ƴ������࣬��ͬ���������ڿ�����ţ����ڳ���ɭ��ǰ��ȴ�������������һ�㡣

  ����ɭÿ��ֻ����®�ݿƴ������Сʱ���󲿷ֹ��������忡���˳е���

  �����ȿ������ӿ׾�ƴ�Ӽ������̶��������ȫϢƬ��������ͨ���䱸ԭ������΢���͹�ѧɢ���ǣ����ȰѼ�⾫����������Ƥ�׼���

  ��Ϣһ�������ǹ�ѧ�����з����ģ������˵ľ���˲��Ϊ֮һ��

  �Ͼ����˲��Թ��ߣ����ո�����������ȷ�ķ����ѭ��

  ��һ�ߡ�

  �廪������Э�������������ĺͱ���΢���ӿƼ����ڻ�����°�Ĵſؽ��似����������ʼ�˰вĺͶ�Ĥ�豸���з�������

  Ȼ�����׸��ѹؾͿ����������ϵĴ�����΢�۽ṹ�ľ������ϡ�

  ����ɭ�ڵ�֪�󣬰������ѹ�ս�͵����������ܻ����������һ�������ʹ�ͨ�˰вĴ��Ⱥͽṹ�ϵ�ӵ�µ㡣

  ƿ��һ�ƣ������з������ͨ���ζ�������

  ����ϵͳ���з�����ͻ���ͽ���
  (������)