��ҳ > ����С˵> ��н���ܱ�ǿ������ʮ��Ա���� > ��671�� �ڶ��������������� A220 EUV��̻������ܵ��³��룡

��671�� �ڶ��������������� A220 EUV��̻������ܵ��³��룡

2025-12-11 ���ߣ� ���������չź�
  ��671�� �ڶ��������������� A220 EUV��̻������ܵ��³��룡
  ������Ѯ������Ͱ�IPO��������»ᡢ������304����Ͱ��ս���Ž���̷�ͷ�Ƹ��ϵ��ȶ���ߣ�
  �������������ɻ���ǣ�����ɭ����ƾ�������伣���Ƶģ���ȫ��һ�����޴��˵�״̬��

  ������һ�ι���¶�棬�����³�ʱ���μӳ����׶�԰�ļ�����ʽ��

  ��ѧǰ������ҵ��������ô������ǰ������̽������ᣬɭ�綼û�μӡ���

  ������˵����ɭ���˴��˺�ǹ�����ڻ��ڻ�����Ժ�����أ���

  �����԰����������İ汾�dz������������ʱ��ץ�ˣ����ٵùذ���£���

  ��666��¥�ϵĸ��ǣ��㵱ɭ���ʱ���1000���������ǰ��谡����������ʦ���ɣ���

  ��Ц����ɾ���ٶ�ͦ��ѽ������ɭ���ʱ������ˣ��������Լ����ˣ���

  ��ɭ���类�˰�ɱ�ˣ��¸���Ҫ�������Ĺ���¶�棬�ǿ϶�����������

  ���ڳ���ɭæ���ƽ�EUV��̻����з�����ʱ�����Ϲ�������ҥ��ȴԽ��Խ���ס�

  �ݲ���ȫͳ�ƣ������ѵ��������ɭ��������������������ǹɱ������ײ���ⶾɱ����ˮ�����ȡ�

  ���ջ���ɭ���ʱ���������΢��������ͷ�������������ֺ�΢�ŵȶ��ƽ̨���Ű���ҥ��������ѹ����ȥ��

  ������ɭ����һ��֮�ڣ��ͽӵ����ϳµ���ͨ�绰����ȷ���ԼҶ���û�º�Ťͷ�㻯����ҥսʿ���ܵ����ϸ�ɢ��ҥ�Ե�����ֱ�Ӷ��ߡ�

  ����ɭ��֪�󣬵�Ҳû��������

  �Ͼ����˳��ܣ�Ҳ��Ԥ������մ���

  ʱ��ת˲����������8��23�յİ�����

  ʢ�ĵ����磬����Դ�Ƽ��з����ĵ�����������֦Ҷ��涣�ɳɳ���졣

  �����ĺ���ʵ���ң��˿�ȴ������磬������������һ�ֽ������̵ij��ȡ�

  ʱ��ĸ���㶨���¶Ⱥ�ʪ����ģ����Ψһ�ܸ��ܵ������ţ��ǿ�������Ļ�����������֡�

  ����ɭ�������룬��������ʵʵ���������ɡ����ϡ����󳯺����ӽܵ���վ�ڿ���̨ǰ��͸�����صĿ����䲣������������ǰ����Ȼ���

  ������̨EUV��̻�ֻ��Alpha�����������������������·��ž��ܵ����ԣ�������Ĺ������������ƣ�����ǻ�ҵĹ۲촰͸������ɫ��΢�⡣

  EUV��Դ����ѧϵͳ��˫����̨�ļ�����ǵ����������һ����һ���سɹ����ˡ�

  �������쳣������ֻ������ͨ��ϵͳ�ͳ���������

  ����ʦ�Ǵ���ȫ���޳��ྻ���������������ҽ�������豸��Χ�Ỻ�߶������������ļ�顣

  ���ϰ壬����ϵͳ�Լ���ϣ���ջ�����ʱ������������

  ���ϵ������Դ�ɳ�ƣ����ų���ɭ�㱨����

  ����ɭ���˵�ͷ���������ƻ�ִ�У��𲽽�����·��ա���

  �����´�󣬿������ڵ�����˲�������

  �޴����ձ��鿪ʼ�����������ͳ���������

  ��ʾ���ϣ�������·�ڲ���նȵ����֣����ֶ���ʽ���µ����ƣ�0.01 Pa��0.0001 Pa��0.000001 Pa�����Ÿ����������

  �����˵��Ķ��ᵽ��ɤ���ۣ�
  ���µ���ջ�����EUV��Դ�����ǰ�ᣬ�κ�һ��΢С��й©�����ᵼ��ǰ��������

  ��֪���˶�ã�

  ����ͻȻ��������������ն��ȶ���0.0000006��˹�����Ѵ�Ԥ��ֵ����

  ������������һ����΢�ġ����Ƶ�ɧ������������������ȭ��

  ��һ�����ɹ��ˣ�
  ΪʲôEUV��̻��Ĺ�Դϵͳ����ǻ���е�������ѧϵͳ�������ѧϵͳ����Բƽ̨ģ�顢��ģ����ģ��;�Բ����ģ�鶼�ô�����ջ����£�
  ������ΪEUV�Ⲩ�����̣����ױ������������ڵ������������ա�

  ����ջ����У�������޶ȼ���������Ӷ�EUV������պ�ɢ�䣬�Ӷ�ȷ����Դ��������Ч������������ѧϵͳ��

  �����ڷ���ջ�����EUV����ڴ�������д��˥�����޷����������������ǿ�ȡ�

  ��һģ��ĺ��ļ������������ӽ�ǣͷ�����ϼ�ʮ������������Ĺ���ʦ��ͬ�������µġ�

  ��ˣ������κ��˶����ţ����³����©�������Ŷӵĺ��ȡ�

  ��������ԴԤ�ȣ������趨Ϊ��͵�λ����

  ����ɭ����ƽ����������һ��ָ�

  ���˽��ŵ�ʱ�̵�����
  ������Դ�Ƽ�ѱ���ĵ�һͷ���ޡ�����Լ���ŵ缤�����������Դ��MCDE-EUV�⣩�����������ѣ�

  ���һ�������������á���ų������桰���⡱��Ϊ������Լ������������ֶΣ��������΢���ġ�����Ϊ13.5���׵ļ�������⡣

  ʱ��һ��һ��ع�ȥ��

  ��������ϣ�һ��ԭ��ƽ̹�Ļ��ߣ�΢΢������һ�¡�

  ���һ����Ȼ΢���������ɱ���źŷ�ֵ����ǿ������������
  �����ź��ˣ���һ��������о�Ա�̲�ס�غ��˳����������򼤶��������Щʧ�档

  ������������

  ��һ̨EUV��̻��Ի������ش�ս�����壡
  ������ͬһʱ�䣬λ�ڹ�·ĩ�˵�EUV����̽�����������˵�һ�����ݣ�107�ߣ�
  һ����ASML�������ѱ�˦����������֣��˿�ȴ�����������������˶��ݵļž����漴�������޴�Ļ�������

  ����������ʶ��ӵ����һ���ۿ�˲����ˡ�

  ���ϸо��Լ����ֶ���΢΢���������ǽ���ץס���ˣ�ǿ���Լ��侲������

  ����ɭ������̬ƽ�ȣ���̧��ѹ��ѹ����������Ļ������ܿ�ƽϢ��

  ����߹��ʵ�λ��������ɭ����˵����

  EUV��̻��Ĺ���ֱ�Ӿ�����λʱ���ڵľ�Բ����������ÿһ���عⶼ���㹻��EUV������������̽��Ĺ⻯ѧ��Ӧ��

  ����Դ���ʵͣ����ӳ������ع�ʱ�������������������������������󣬵��µ���Բ����ʱ��䳤��

  ����200W���ʵĻ���ÿСʱ�ɴ���Լ125Ƭ��Բ����250W���Ϳ�������ÿСʱ170Ƭ������������40%��

  ������һ�㣬���Dz���һ��أ�

  ���ҹ���Խ�ߣ���λ��Բ�Ĺ�̳ɱ���Խ�ͣ���ģ�����ƾ�Խǿ��

  ���ԣ����������������������ڿ���̨�Ͽ��ٻ�����Ŀ������Ź��ʵ��ڽ��棺���յ�����ǰĿ�굵λ220�ߣ���ѹ�����ѵ�����ȫ��ֵ������������岻�ȶ�����

  ����̨��Ļ�ϣ�������Դ���ʵ����ֿ�ʼ����������ÿһ����ֵ���������������ڵĺ������͸��ų���һ�֡�

  137�ߡ�168�ߡ�214�ߡ���

  ����������ͣ��220��ʱ��������������һ�ԵĹ�Դ�ȶ��Լ�����ߡ�

  ����������������Լ��״̬����ɫ������ʼ�ձ�����ƽ�ȵIJ�����û�г����κ��쳣�ļ����轵��   
  ϵͳ�����ȶ���

  �������ȶ���220�ߣ���������Լ��״̬���ã�û�г�������й©����

  ���ϵ������ȸղ������˼��֣������ļ��Ҳ���Է�����һЩ���������ų�һĨ���˿������IJ���Ц�ݡ�

  ��Ϊ������һ̨EUV��̻��ĺ����з���Ա�����������ܵ��Ͻ̿��顢��Ժʿ��������ʷ���ˡ�

  ����æ������һ������ǿ�п���ס�Լ���������

  ����ɭ΢΢��ף�תͷ�������ӽܣ�����ѧϵͳͬ�����䣬�������Ȼ�Ч������

  ���ӽ���������������ѧģ���ʵʱ���ݣ���Ļ�ϵ���һ���������ֲ�ͼ��

  ����ɫ�Ĺ�߾��ȵظ�����ģ����ģ���򣬱�Եû�г���˿������˥������Ӱ��

  ������ʦ�������Ȼ���99.2%������220�߹����µĹ�ѧ����Ҫ�󣬳����ѧϵͳ������Զ��Խ�У׼����

  ���ӽ�������Ӧ����

  ��һ�Σ��������ڵ�ɧ���ȷ��Ÿ������ԡ�

  ��������Ĩ�˰��۽ǣ���������ȭͷ���ᴷ�������档

  ��107�ߵ�220�ߣ������������ֵ�����������֤�����ǵ�MCDE-EUV��Դ���ܡ���������Ҳ���ڸ��߹����±����ȶ�������ζ�������Ŀ������ֽ���һ����

  ��������Լ���սڵ����Ҫ���أ�

  �Ƴ�΢����ʵ�ָ�С���߿��ͼ�࣬Ҫ��EUV��߱����ߵĹ�ѧ�Աȶȣ��������ǶԱȶȵĺ���֧�š�

  220�ߵ��ȶ����ʣ���������7�����Ƴ̵�оƬ�������衣

  ����ɭ����һ�������ŷԸ�������׼����Բ̨����ģ̨ͬ�����ԣ����ز��Ծ�Բ����28�����Ƴ̲��������ع���򡣡�

  ����������Ӧ�������Ծ�Բ��ͨ����е������Ԥ��׼��λ����ģ̨�Ѽ���28���ױ�׼��·��ģ�棬ͬ������У׼�С���

  ��̼䣬���˵��������¾۽�����������ϡ�

  ��Ļ���ֳ����ĸ����棺���Ͻ��ǹ�Դ�������������״̬�����Ͻ��ǹ�ѧϵͳ�Ĺ����ֲ������½��Ǿ�Բ̨��ʵʱ���꣬���½�������ģ̨���˶��켣��

  �������󳯰��°�ť����������ƽ̨Ѹ���ƶ������ǵ��˶��켣��������׼ҧ�ϵij��֣�ÿһ��΢����������0.1�������ڡ�

  ��ͬ������0.08���ף��Ѵ�Ԥ���׼����

  ����˵����

  ����ɭ����һ��ʱ�䣬�˿�������8��37�֣�������ձ������Ѿ���ȥ�˰����Сʱ��

  ���������ӣ�������˷磬��ʵ���ҵĹ�����Ա�����������ع⿪ʼ�������ع�ʱ������Ϊ0.5�룬��¼���в�������

  ����ǻ�ҵĹ۲촰�ڣ�����ɫ��΢����Ȼ����һ�£������ָ���͡�

  ��·ĩ�˵�̽�������ˢ�������ݣ���Ļ������һ���д������ع������ܶȡ������߿����ȶȡ�����ͼ���׿̾��ȡ�����ֵ��

  ÿһ�����ֶ��ڳ��źϸ�ķ��򿿽���
  0.5���ʱ�䣬ȴ��һ��������ô������

  ���ع���ɵ���ʾ���ڿ�����������ʱ���������̲ٿػ�е�۽����Ծ�Բ�Ƴ�����������ҡ�

  һ���˶����˹�ȥ�����Ų�����ü���������

  �ھ��ܵ�EUV��ģ�������£�����һ�ž�Բ�Ĺ��ͼ��������ʾ����Ļ��ʱ���ֳ����׷����ˡ�

  ����ϸ����˿��ȴû��һ˿���ѻ�ģ����ÿһ������ܵ���������׼����ͬ���̡�

  ��̻�������ԭ������ӡˢ���������������ֻ�����������õġ����ʡ��͡����塯����Ϊ��ϸ��

  �����ˣ���ij��ˣ���

  �����૵��˫���ڷ��������﷢�����ǺǺǡ���Ц����ѹ���д��ſ��ܡ�

  ��һ�����Ц��������ʡ�

  ��������ʮ���꣬��EUV��Դ�����Ѿ����������˴�뱲�ӡ�

  �����������ۿ����Լ���������Ҫ�ߵ���ͷ����EUV��Դ�ļ���ͻ��Ҳ����������ϣ������������������

  ��˭���룬��Դ�Ƽ�������ʱ��ճ��������������˽��֣��������������з���̻�������ȫ�µ�ϣ����

  ��������EUV��̻������� G1051�����������ػ��������󻪹�оƬ��ҵ�͸߶�����ҵ�����㲻���ٿ�������ɫ�ˣ�
  ����Ĩ�˰�������Ѽ�������ˮ���ȥ�������ȴ���Ʋ�ס��������������Ҳ�����Σ�������ˮ˳�����������ʡ�

  ��������д�뱲�ӵ��ź������пྡ�����ij��졣

  ���ϼ�״�����������ļ������Ȱο����������������û�׵ȣ�Ҳû�׸ɣ���

  վ����Ⱥ���������һ�����꣬�����������ų���ɭ��ĬĬ�������ۣ����ּ������ţ�

  Ҫ֪���������ϴ󲿷ֵļ���ͻ�ƣ�����Ҫһ���ˡ������Ǽ����˵Ļ��ۣ��ɳ���ɭӲ���ڶ��ߵļ���ջ�ϣ��ó�����ҵ����ķ�����

  220�ߡ��ֱ���С��12���ס�0.33��ֵ�׾��Ĺ�ѧ��ƣ�ÿƽ�����׿�����Լ800�ڸ�����ܣ����Կ���֧��10���׺�7���׽ڵ��EUV��������

  ����ɭ΢΢һЦ����̨EUV��̻����������³��롣

  �Ͼ�ɭ���ʱ��������ҵԽ�㣬���о�Խ�࣬�����ò���������ѹ��ױ��£�������ܻ�������ȫ��֧�֣�
  ���⣬һ̨��̻����ۼ۸ߴ�5000��9000�����ң��ܹ�����޴�ľ������档

  ���ҳ���ɭ���ܽ������һ����������װ��������ά�޵Ĺ�����Ա��������ø�����˵�н��

  ������Alpha�������������ڲ����ԣ������߱�ʵ����Ƭ���Ե����������������Ƴ�Beta����������Ʒ����ǰ���ⲿ�û����в��Ե��豸��

  ������Դ�Ƽ����Լ��������ߣ�ֻ�辭���������ԡ��޸ġ��������������ƽ����������������Ҫ��ij�Ʒ��̻���

  ������ʦ������ȡ�����ְɣ���

  ���ӽ��������

  ���ڰ����ţ�����է�֣��ͽ����� A220�ɡ���

  ����ɭ������˵����

  A������Դ�Ƽ���̻��ĵ�һ�����У�220�����ķ�ֵ���ʡ�

  ���ͬʱ��

  ���������յ���Ϣ�����������ļ������Ҵҵس����Ϻ��Ե�һ��ͥԺ��ȥ��

  (������)