��671�� �ڶ��������������� A220 EUV��̻������ܵ��³��룡
2025-12-11 ���ߣ� ���������չź�
��671�� �ڶ��������������� A220 EUV��̻������ܵ��³��룡
������Ѯ������Ͱ�IPO��������»ᡢ������304����Ͱ��ս���Ž���̷�ͷ�Ƹ��ϵ��ȶ���ߣ�
�������������ɻ���ǣ�����ɭ����ƾ�������伣���Ƶģ���ȫ��һ�������˵�״̬��
������һ�ι���¶�棬�����³�ʱ���μӳ������ļ�����ʽ��
��ѧǰ������ҵ��������ô������ǰ������̽������ᣬɭ�綼û�μӡ���
������˵����ɭ���˴��˺�ǹ�����ڻ��ڻ�����Ժ�����أ���
���������������İ汾�dz������������ʱ��ץ�ˣ����ٵùذ���£���
��666��¥�ϵĸ��ǣ��㵱ɭ���ʱ���1000���������ǰ��谡����������ʦ���ɣ���
��Ц����ɾ���ٶ�ͦ��ѽ������ɭ���ʱ������ˣ��������Լ����ˣ���
��ɭ���类�˰�ɱ�ˣ��¸���Ҫ�������Ĺ���¶�棬�ǿ϶�����������
���ڳ���ɭæ���ƽ�EUV��̻����з�����ʱ�����Ϲ�������ҥ��ȴԽ��Խ���ס�
�ݲ���ȫͳ�ƣ������ѵ��������ɭ��������������������ǹɱ������ײ���ⶾɱ����ˮ�����ȡ�
���ջ���ɭ���ʱ�����������������ͷ�������������ֺ��ŵȶ��ƽ̨���Ű���ҥ��������ѹ����ȥ��
������ɭ����һ��֮�ڣ��ͽӵ����ϳµ���ͨ�绰����ȷ���ԼҶ���û�º�Ťͷ�㻯����ҥսʿ���ܵ����ϸ�ɢ��ҥ�Ե�����ֱ�Ӷ��ߡ�
����ɭ��֪��Ҳû��������
�Ͼ����˳��ܣ�Ҳ��Ԥ������մ���
ʱ��ת˲����������8��23�յİ�����
ʢ�ĵ����磬����Դ�Ƽ��з����ĵ�����������֦Ҷ��涣�ɳɳ���졣
�����ĺ���ʵ���ң��˿�ȴ������磬������������һ�ֽ������̵ij��ȡ�
ʱ��ĸ���㶨���¶Ⱥ�ʪ����ģ����Ψһ�ܸ��ܵ������ţ��ǿ�������Ļ�����������֡�
����ɭ�������룬��������ʵʵ���������ɡ����ϡ��������ӽܵ���վ�ڿ���̨ǰ�������صĿ����䲣������������ǰ����Ȼ���
������̨EUV��̻�ֻ��Alpha�����������������������·��ž��ܵ����ԣ�������Ĺ������������ƣ�����ǻ�ҵĹ۲촰������ɫ���⡣
EUV��Դ����ѧϵͳ��˫����̨�ļ�����ǵ����������һ����һ���سɹ����ˡ�
�������쳣������ֻ������ͨ��ϵͳ�ͳ���������
����ʦ�Ǵ���ȫ�����ྻ���������������ҽ�������豸��Χ�Ỻ�߶������������ļ�顣
���ϰ壬����ϵͳ�Լ���ϣ���ջ�����ʱ������������
���ϵ������Դ�ɳ�ƣ����ų���ɭ�㱨����
����ɭ���˵�ͷ���������ƻ�ִ�У�������·��ա���
�����´�������ڵ�����˲�������
�����ձ��鿪ʼ�����������ͳ���������
��ʾ���ϣ�������·�ڲ���նȵ����֣����ֶ���ʽ���µ����ƣ�0.01 Pa��0.0001 Pa��0.000001 Pa�����Ÿ����������
�����˵��Ķ��ᵽ��ɤ���ۣ�
���µ���ջ�����EUV��Դ�����ǰ�ᣬ�κ�һ��С��й©�����ᵼ��ǰ��������
��֪���˶�ã�
����ͻȻ��������������ն��ȶ���0.0000006��˹�����Ѵ�Ԥ��ֵ����
������������һ�����ġ����Ƶ�ɧ������������������ȭ��
��һ�����ɹ��ˣ�
ΪʲôEUV��̻��Ĺ�Դϵͳ����ǻ���е�������ѧϵͳ�������ѧϵͳ����Բƽ̨ģ�顢��ģ����ģ��;�Բ����ģ�鶼�ô�����ջ����£�
������ΪEUV�Ⲩ�����̣����ױ������������ڵ������������ա�
����ջ����У�������ȼ���������Ӷ�EUV������պ�ɢ�䣬�Ӷ�ȷ����Դ��������Ч������������ѧϵͳ��
�����ڷ���ջ�����EUV����ڴ�������д��˥���������������������ǿ�ȡ�
��һģ��ĺ��ļ������������ӽ�ǣͷ�����ϼ�ʮ������������Ĺ���ʦ��ͬ�������µġ�
��ˣ������κ��˶����ţ����³����©�������Ŷӵĺ��ȡ�
��������ԴԤ�ȣ������趨Ϊ��͵�λ����
����ɭ����ƽ����������һ��ָ�
���˽��ŵ�ʱ�̵�����
������Դ�Ƽ�ѱ���ĵ�һͷ���ޡ�����Լ���ŵ缤�����������Դ��MCDE-EUV�⣩�����������ѣ�
���һ�������������á���ų������桰���⡱��Ϊ������Լ������������ֶΣ�����������ġ�����Ϊ13.5���ļ�������⡣
ʱ��һ��һ��ع�ȥ��
��������ϣ�һ��ԭ��ƽ̹�Ļ��ߣ�������һ�¡�
���һ����Ȼ���������ɱ���źŷ�ֵ����ǿ������������
�����ź��ˣ���һ��������о�Ա�̲�ס�غ��˳������������������Щʧ�档
������������
��һ̨EUV��̻��Ի������ش�ս�����壡
������ͬһʱ�䣬λ�ڹ�·ĩ�˵�EUV����̽�����������˵�һ�����ݣ�107�ߣ�
һ����ASML�������ѱ�˦����������֣��˿�ȴ�����������������˶��ݵļž����漴��������Ļ�������
����������ʶ��ӵ����һ���ۿ�˲����ˡ�
���ϸо��Լ����ֶ������������ǽ���ץס���ˣ�ǿ���Լ��侲������
����ɭ������̬ƽ�ȣ���̧��ѹ��ѹ����������Ļ������ܿ�ƽϢ��
����߹��ʵ�λ��������ɭ����˵����
EUV��̻��Ĺ���ֱ�Ӿ�����λʱ���ڵľ�Բ����������ÿһ���عⶼ���㹻��EUV������������̽��Ĺ⻯ѧ��Ӧ��
����Դ���ʵͣ����ӳ������ع�ʱ���������������������������������µ���Բ����ʱ��䳤��
����200W���ʵĻ���ÿСʱ�ɴ���Լ125Ƭ��Բ����250W���Ϳ�������ÿСʱ170Ƭ������������40%��
������һ�㣬���Dz���һ��أ�
���ҹ���Խ�ߣ���λ��Բ�Ĺ�̳ɱ���Խ�ͣ���ģ�����ƾ�Խǿ��
���ԣ����������������������ڿ���̨�Ͽ��ٻ�����Ŀ������Ź��ʵ��ڽ��棺���յ�����ǰĿ�굵λ220�ߣ���ѹ�����ѵ�����ȫ��ֵ������������岻�ȶ�����
����̨��Ļ�ϣ�������Դ���ʵ����ֿ�ʼ����������ÿһ����ֵ���������������ڵĺ��������ų���һ�֡�
137�ߡ�168�ߡ�214�ߡ���
����������ͣ��220��ʱ��������������һ�ԵĹ�Դ�ȶ��Լ�����ߡ�
����������������Լ��״̬����ɫ������ʼ�ձ�����ƽ�ȵIJ�����û�г����κ��쳣�ļ����轵��
ϵͳ�����ȶ���
�������ȶ���220�ߣ���������Լ��״̬���ã�û�г�������й©����
���ϵ������ȸղ������˼��֣������ļ��Ҳ���Է�����һЩ���������ų�һĨ���˿������IJ���Ц�ݡ�
��Ϊ������һ̨EUV��̻��ĺ����з���Ա�����������ܵ��Ͻ̿��顢��Ժʿ��������ʷ���ˡ�
����æ������һ������ǿ�п���ס�Լ���������
����ɭ��ף�תͷ�������ӽܣ�����ѧϵͳͬ�����䣬�������Ȼ�Ч������
���ӽ���������������ѧģ���ʵʱ���ݣ���Ļ�ϵ���һ���������ֲ�ͼ��
����ɫ�Ĺ�߾��ȵظ�����ģ����ģ����Եû�г���˿������˥������Ӱ��
������ʦ�������Ȼ���99.2%������220�߹����µĹ�ѧ����Ҫ�����ѧϵͳ������Զ��Խ�У����
���ӽ�������Ӧ����
��һ�Σ��������ڵ�ɧ���ȷ��Ÿ������ԡ�
��������Ĩ�˰��۽ǣ���������ȭͷ���ᴷ�������档
��107�ߵ�220�ߣ������������ֵ�����������֤�����ǵ�MCDE-EUV��Դ���ܡ���������Ҳ���ڸ��߹����±����ȶ�������ζ�������Ŀ������ֽ���һ����
��������Լ���սڵ����Ҫ���أ�
�Ƴ�����ʵ�ָ�С���߿��ͼ�࣬Ҫ��EUV��߱����ߵĹ�ѧ�Աȶȣ��������ǶԱȶȵĺ���֧�š�
220�ߵ��ȶ����ʣ���������7�����Ƴ̵�оƬ�������衣
����ɭ����һ�������ŷԸ�����������Բ̨����ģ̨ͬ�����ԣ����ز��Ծ�Բ����28�����Ƴ̲��������ع����
����������Ӧ�������Ծ�Բ��ͨ����е������Ԥ����λ����ģ̨�Ѽ���28���ױ���·��ģ�棬ͬ������У�С���
��̼䣬���˵��������¾۽�����������ϡ�
��Ļ���ֳ����ĸ����棺���Ͻ��ǹ�Դ�������������״̬�����Ͻ��ǹ�ѧϵͳ�Ĺ����ֲ������½��Ǿ�Բ̨��ʵʱ���꣬���½�������ģ̨���˶��켣��
���������°�ť����������ƽ̨Ѹ���ƶ������ǵ��˶��켣��������ҧ�ϵij��֣�ÿһ������������0.1�������ڡ�
��ͬ������0.08���ף��Ѵ�Ԥ�������
����˵����
����ɭ����һ��ʱ�䣬�˿�������8��37�֣�������ձ������Ѿ���ȥ�˰����Сʱ��
���������ӣ�������˷磬��ʵ���ҵĹ�����Ա�����������عʼ�������ع�ʱ������Ϊ0.5�룬��¼���в�������
����ǻ�ҵĹ۲촰�ڣ�����ɫ������Ȼ����һ�£������ָ���͡�
��·ĩ�˵�̽�������ˢ�������ݣ���Ļ������һ���д������ع������ܶȡ������߿����ȶȡ�����ͼ���̾��ȡ�����ֵ��
ÿһ�����ֶ��ڳ��źϸ�ķ�����
0.5���ʱ�䣬ȴ��һ��������ô������
���ع���ɵ���ʾ���ڿ�����������ʱ���������̲ٿػ�е�۽����Ծ�Բ�Ƴ�����������ҡ�
һ���˶����˹�ȥ�����Ų�����ü���������
�ھ��ܵ�EUV��ģ�������£�����һ�ž�Բ�Ĺ��ͼ��������ʾ����Ļ��ʱ���ֳ��������ˡ�
����ϸ����˿��ȴû��һ˿���ѻ�ģ����ÿһ������ܵ�������������ͬ���̡�
��̻�������ԭ������ӡˢ���������������ֻ�����������õġ����ʡ��͡����塯����Ϊ��ϸ��
�����ˣ���ij��ˣ���
�������˫���ڷ�������������ǺǺǡ���Ц����ѹ���д��ſ��ܡ�
��һ�����Ц��������ʡ�
��������ʮ���꣬��EUV��Դ�����Ѿ����������˴�뱲�ӡ�
�����������ۿ����Լ���������Ҫ�ߵ���ͷ����EUV��Դ�ļ���ͻ��Ҳ����������ϣ������������������
��˭���룬��Դ�Ƽ�������ʱ��ճ��������������˽��֣��������������з���̻�������ȫ�µ�ϣ����
��������EUV��̻������� G1051�����������ػ���������оƬ��ҵ�߶�����ҵ�����㲻���ٿ�������ɫ�ˣ�
����Ĩ�˰�������Ѽ�������ˮ���ȥ�������ȴ���Ʋ�ס��������������Ҳ�����Σ�������ˮ˳�����������ʡ�
��������д�뱲�ӵ��ź������пྡ�����ij��졣
���ϼ�״�����������ļ������Ȱο����������������û�ȣ�Ҳû�ɣ���
վ����Ⱥ���������һ�����꣬�����������ų���ɭ��ĬĬ�������ۣ����ּ������ţ�
Ҫ֪���������ϴֵļ���ͻ�ƣ�����Ҫһ���ˡ������Ǽ����˵Ļ��ۣ��ɳ���ɭӲ���ڶ��ߵļ���ջ�ϣ��ó�����ҵ����ķ�����
220�ߡ��ֱ���С��12���ס�0.33��ֵ���Ĺ�ѧ��ƣ�ÿƽ����������Լ800�ڸ�����ܣ����Կ���֧��10����7���ڵ��EUV��������
����ɭһЦ����̨EUV��̻����������³��롣
�Ͼ�ɭ���ʱ��������ҵԽ�㣬���о�Խ�࣬�����ò���������ѹ��ױ��£�������ܻ�������ȫ��֧�֣�
���⣬һ̨��̻����ۼ۸ߴ�5000��9000�����ң��ܹ������ľ������档
���ҳ���ɭ���ܽ������һ����������װ��������ά�Ĺ�����Ա��������ø�����˵�н��
������Alpha�������������ڲ����ԣ������߱�ʵ����Ƭ���Ե����������������Ƴ�Beta����������Ʒ����ǰ���ⲿ�û����в��Ե��豸��
������Դ�Ƽ����Լ��������ߣ�ֻ�辭���������ԡ��ġ��������������ƽ����������������Ҫ��ij�Ʒ��̻���
������ʦ������ȡ�����ְɣ���
���ӽ��������
���ڰ����ţ�����է�֣��ͽ����� A220�ɡ���
����ɭ������˵����
A������Դ�Ƽ���̻��ĵ�һ�����У�220�����ķ�ֵ���ʡ�
���ͬʱ��
���������յ���Ϣ�����������ļ������Ҵҵس����Ϻ��Ե�һ��ͥԺ��ȥ��
(������)