��491�� ��ɽ���İ�Ϯ

2014-08-15 ���ߣ� ѩƯ
  ˫����ս��һǰһ����һ����ֵ�s�͵�Ť��·�߻�����Ųܺ����˳Կ���ս���ٶȺͻ��ڵ�����ϣ���Ȼ�߾�ȫ����ȴ���ڲ��ϱ���������ս����ʳ����Щ�޷���Ѳ�󽢣��߱�������ľ����ǵ�ս�������˾����Ǿ��˵ģ�����1 nnm�������ڸ߱�������������һ�����һʱ������˱���Ľ�ͷ�ö���˷��������������ս������ #_ ��

  ����ɽ����Զ�����Ѿ�������Զ����ƽ���ϳ��ֵ��Ǹ������ĵ��죬��תͷ���˿�����ĺ����ˣ�һ��üë���������������˶��˲����ˣ���������������������Ű�ɽ�����ຣ�����У��ú�����ײ��ʯȥ��������������ô�������ǣ���

  ս���ϸ��ʵ������̴�Ũ�̹���������������ȫ����������Сʱ��Ҳ���뽵���ٶȣ��������ٻ�е������ĥ�𣬶���������˵�ս���ܶ඼�Ƕ���ʽ���������������е��͵���ʽ����������Ͳ����ظ����˿̽����ٶ����ֻ��8���ˣ�˫��ĥߴ��Ч���ٴν���������

  ������ĺ����ϣ�������������š����׽���Ȼ�������ڣ�����������ת��̨����Զ�����ϻ�ս�����Dz��Ͽ�������������ð������н�ʮ�����Ƶ�ʱ������׷������׼����Ѿ�ʮ�ֲ��ף����쿴��������Ҳ��զ�أ������ھ�Ȼû������һ����

  ��������ս����Ҳ��ƹƹ���Ҵ�IJ����ֺ����������ϻ���ս��ʼ�ն�������Ч���֮�⣬��û��������������в���ڻ����⺣�������Ƶ�ʱ��ը�����٣���ŭ���Ҵҵİ����λ�ľ��ٽ���ʹ��һ�١�

  �������Ҳ��һ�����յı�⣬������������š���������ת��̨��Ȼ����ȫ����Ĺ������������ǶԷ����ٺ��������һֱ��2 nm���ڵ�����������ƣ��ڵ��Ǵ�õ���ôԶ�ģ�������׼ͷ�ɾ���ȫ�����������ˡ�

  �����ǿ��򲻾ͣ����Ѿ��ó��˽����ϻ��˵Ļ��ں�ս��Զ�Ⱥ����Ƚ���ֻ����Ⱥ��ս����Χ���Է������ܻ�ʤ�Ļ��ᣬ���Ǵ�����jiս�����磬��˵Χ���ˣ�������׷��ȥ���Է���һ�£�����һ��������

  �������н�Ҳ֪��������˵����ʵ���������Ѳ�������Ҳ��ʮ�����⣬�������ӣ�jiս�Ѿ���ȥ3����Сʱ�ˣ��������˻��ڻ�����������Լ�������Ŵ��࣬������Ϊ�Կ��Է����ٶȣ�����������ս������Ҳ���Ƿ��ӵ����쾡�¾������������Է����������־����ϵ��ڻ���Ȼ�����6��ս����ͬ�̶�����

  ��֮ǰ����÷�պ���Ȼ��������ʿ�������Ȼ𣬵����ջ�����Ϊ�������������͸ˮ��һ��Сʱǰ�ͳ�û�ˣ�����˹�ڿ˺š����׽�����װ�׺�����ά���˺������ײ�������ֻ�Ƕ���ȫ�٣�����ȫ�����ޣ���֪���ܲ�������������

  ������dz����׵׵Ĵ�����Ϊ������С���Ͱ�һ֧ ��ս����ɵĽ�����Ū�ڹ���֮�ϣ�ԭ������ʮ����н��������ڿ���˵�DZ��ܴ����������Զ����������ĵ��ˣ��޺޵��´����µ���ս���ά�ֶԵ��˵�ѹ�ȣ���ؼ�ֵ���ڣ���

  �������н���������º�Ϊ�϶�Ϊһ���ش�Ĵ�����������͸��������ʧ�����������ص�Ӱ���˽��ӵ�ʿ������ս����ָ�ӹٷ׷׸ı������ս��̬��ת���Ա�ս����Ŀ�ꡣ

  jiս��������3��50�֣���������Խ��Խ˳�֣�����ɽҲ�������ã�֮ǰ���ķ���������У���Ȼ����������������Ŀ��2ö�ڵ�������һ�һ��Ǻ����˵����׽�������˹���ºš����ڶԷ�ս��ƨ����������һ�����ܴ��

  ��������ˣ���ɽ�������������̣����������ھ��ٺ�Ȼ�˳����ܽ����������档

  ����ɽ����һ�䣬����Ҳ��һϲ�����ž���ָ�ķ���ȥ��ֻ����������İ�ɽ�����һ��ɽ���Ϲ�Ȼ�����ɳ���Ʒ���εĺ�������

  ��̫���ˣ�������ɽ�˿��Ѿ����β�ס���ϵ�Ц�⣬����Լ�����ϻ��ڶ��ֽ��Ӵ��������Dz�����ɺ�͵���һ���غ򣬵��ϵ�Ʒ���������ź�����ʾ׼������֮�⣬������վ������Ͳǰ�棬�������´�������ֵ��ǣ�Ԯ���ѵ���������Ҫ��ʼ������

  701������ƫת��ͷ���������Ű�ɽ���ĺ�����ǰ���������ս���������غ��棬����ˮʦ���������ڻ��ڡ�װ�׺ʹ��٣����ӵ���ڵ����Ա߲����ڵ�����λ�ã���Ȼ�������������ȡʤ�ĺ����ˡ�

  ��֧����һǰһ���й���ɽ�������������������н�ͷʹ����ڲ����������ȡ��ȫ���ӵ�����ʱ�����ڻ���ƨ�ɰ�ı�������Ϣ�����н����ˣ������ɽ������ͻȻð��һ֧���׽��ӣ���ս��Ӧ�����ϻ����ӣ���

  �˿̺��������Է�ɢ��v����ѹ���ϻ�������ս�������ӵ���ɱ���Ľ��ӣ�ֱ�Ӿ��������ĺ������δ��ң����������н��鼱֮�³��˸����У���Ȼ�����������Σ���������û�е��˵Ľ���֮�£����ǿ����������콢������

  ���������߰��Ѿ�ս����Ҫ���ϻ����ӵļл��е�ͷ���أ���ʱ�˿���ȫ�����룬���Ǻ���ս���У������콢�������DZ�������ִ�еģ�����ս��һ����ͼ�ں�ƽ���ϵ�ͷ��һ�ߺ���Ŀ�ĺ�Ч�����ڻ����ڱƽ����ϻ����ӣ���ֻת���У����ڻ���ô����׼ͷ������������

  ��֮�෴�������������ϻ��ֽ��ӳ��˻�ɽ���⣬�Ͻ����������㽭���Ǵ��λ�Ĵ�⬼�ս����ǿ���ľ�����������������ǽ��׶ԵУ�������ս������ͬʱ�� �����������ڻ�������ǰ��Ŀ�꣬���ο�����һ�һ��������ĶֵĻ�ɽ�����׽���

  ����ս��ȫ�ٳ��򾪻�ʧ��ĺ���������Щ�޷�������ʽս������4ooo�׿�ʼ���ڻ���ܼ���������������ǰ����һ�Ҳ����ڶּ����޷�����ʽս�������״�š��������״����ȻҲ���������Դ��еĽ��������ȫ����ѹ��Ҳ�˲��û���ĥ����Щ�����ˣ�ƴ������ϣ����ת��������һ������赲�Է��ƽ���

  ֻ����� �����ϵ������ڹ����˿̡����״�š��װ��ϵ�������ȫ�����ԡ����ꡱ������������ͷ�ġ���������װ��Ѳ�󽢴���һ·���䵽�׾��룬�̶̵�2�����ڣ����Ҷ�λ�޴�ȴ���ѹ�ʱ���޷���ս���ͱ����һ�����Ļ��򣬶���Ľ��ŵȽ������׵ı�Ĩƽ�ˡ�

  ���沼�״��ת���������һ�ҽ���1500��λ���޷���Ѳ�󽢡��������ˡ��ţ��ϻ��ֽ��Ӽ�����ȫ���ͳ��ʹ�һֱ������ 00�׾���ʱ���Һ���Ѳ�󽢲��洬���ϱ�ʮ��ö�߱������У�ľ����DZ����ɻ�������ը˺���˾޴���ѿڣ�Ƭ��֮������㸲��

  �����ڶ̶̵�ʮ�����ھ��⵽�ش���һ���Ӿ���ʧ������ս������Ȼ��������ս������ս�������ɸ�Ӻͻ�棬�����Ļ�����������׼�������ͷ�ĺ���ս������ץ�����ǰ������ս��Ҳ�������ͷ�IJ���ʮ�����ڣ��ͳ���ι���㡣

  ����ս�����ǻ�����������н���ת�䣬���ɾ��Ǵ���ȥ���˴�����ȫ�Dz�Լ��ͬ�ľٶ������������ս��������ʱ�����ˣ��������ɽ������ת�򣬶����⼸����ת������ͼ��7oq������ת���������ǿ������󵽵������ϻ�ս���Ļ������ɱ�ǰ����������̫���ˡ�

  ����ʱ�˿̣������ϻ����ӵĻ����󣬰������н�Ҳ��ʶ���Լ�������ս�����м�������һ������ʵ�ֵ�����Է�ս��վ�ٶ�����ȫռ�������ƣ�����Ψһ�����Ƚ��ӵ�ֻ���ý��ӱ����ţ������������Ŀ�꿴����Խ��Խ���ѡ�

  ���������Ѿ����ڷֱ������ı�Ե���������������˷�Ӧ����������ȫ�ٿ���������������ǰͻ����ת��������������ľ��棡

  �������ڲ���������������Ȼ�Ѿ���Щ���ˣ��Ի�ɽ���㽭����װ�׺�ȳ���nm�����׽�Ϊ��ͷ���ϻ��ֽ����Ѿ��dz��ɴ������ɱ������������ս�����ҵĶ���֮�У���701��601��Ҳ�ѵ�ת��ͷ����Ŀǰ��̬���У���Ȼ��������ս����������Ȼռ�ݾ޴����ƣ���ȥս����˳�ս����ս���⣬���滤��������ս��Ҳ�ҴҸ�����Ԯ�������棬��������Ȼ��14��ս����ֻ�ǣ������˵Ľ�������ʵ���Dz��ҹ�ά�����ˡ�����������š��͡�����˹���ºš��������׽��⣬���������޷���Ѳ�󽢡�

  �����׽�ǿ���������������³����̫ƽ��ս�Ѿ�֤����һ�㣬�޷���ս���������׽���ս���У����Ǻ������������ļ��ߡ�

  �����Ĵ��ϣ�������������ʤ�ķ��������������������������ܻ������ˣ���Ϊãã���ϣ�����˷����dz��˵ķ������ڰ��ڷֽ���ָ�ӹٳ�Ĭ��ǰ�ľ���������⣬���������Ѿ���������������Ӵܵ����С�����������

  �����ˣ������ĺ����˳�����ˣ���ǰ����ǰ���Ҳ����2�ҵн������ܣ����������ھ��ٽ��������Ĭ������üͷ����Ҳû�뵽�����˱�������ô�죬�����Լ���Ȼ������ȥ׷��С�ɵ��ˣ��Է�Ҳ���ǿ����Լ���ߵ����������иı������ս����ͷ���ߡ������������������룬�ᶨ��һ���֣���׷����ǰ�ĵ��ˣ����콢��£����

  ������˿̴���ո���ս������ս���������һƬ��С�ĵ����ɽ�������ڰ�ɽ���Զ��ĺ����ϣ��ϻ�������������ӵ���ʽ�͵������˺��������������Ľ��ӣ��γ��˾ֲ��������Ƶ�6�����׽��Ը��Է�7���޷���ս���ľֶ���������������ƴ�������������ӵĵײ���������ͼ��£�Ѿ���ɢ������ս������ͼ�����������Ľ�����������ĺ����ϣ��ϻ����Ӵ˿��Ѿ���ȫ������Զ�����ڻ���ս�ԣ���Ҫ��ʱ�̾�Ҫ������ԥ��������ʧ��Ͷ��ȫ��ս������һ��������ɽ��ս�����<�ײ��ȵľ����ϻ����ڻ���7�Һ���ս������4�ҵĴ�����Ѳ�󽢡�3���Ǽ�������ʽ�Ļ������˫������ȫ�������������ͻ���˻�ɽ���׵�������Ϊ�������ص��չ˵�Ŀ�ꡣ

  �ڳ����ɢ�ĺ�������Ⱥ��һ˲�䣬����һ�Ҵ����ں���ս���IJ�����ھ����Һ����ɽ����һʱ�仪ɽ������װ�����������𼸹ɺ��̣���Ƭ��ɣ�һö���ο��������д��׵�150nm��������������Ȼû�ܻ���50nnm�ĸְ壬���������漸��ʿ��������ը���������ˣ����ϣ�����һ������Ѹ�ٸ�������ǵ�ȱλ��

  ��һö�����˵��ڵ����ɻ��н�����ڵ��ǣ�����1 nnm��С����ȫ�޷��Ը���ɽ�Ž��ţ���ը���ڽ���װ��������һ��СС�İ��ӣ�����������ָ��ս����Ĭ����û������ս���ܵ��Ĺ�����������󣬽����˳��׷ָ����������˵�ս�����������Ҫ�����飬���Լ������Ļ���������Ϊ�������Ҵ�⬼�ս�����켫�ѵ�ս�������Ͻ������������������㽭������������ɽ���⵽�������ڵ����Һ�����չ���˷�񱨸�����λ�ϣ����Ƹߵͻ���ʿ����һ˿������ת����ҡ�����۾�����ˮƽ�ǣ���¡¡�����������޷�Ӱ�����ǣ������ֺ�װ�������ѿ��ȵ��˶��������·�˿����֪ƣ���ƴ�������ڹ���������һ�����ڵ���

  4��ս����������������Ľ���֮�У�ֻ�����̶�no���ӣ�����ȫ�������������ս���Ͻ�50���������Ѿ�����������ǧö�ڵ�����ս��ֱ�ӱ������ɸ�ӣ�����һ�Ҹ��DZ������˵�ҩ�⣬һ��ͳ��ı�ը���󳹵ױ�ɢ�ں���֮�ϡ�

  ������������������ս���У�Ҳ�DZ�����ʮ������ȫɥʧ�˹�Ӽ�����ս������������Զ������Ŀ�ĵ���Ķ�ȥ��

  �������ʱ������˵��콢�����������������������������ӴҴҸ�����������ɽ����601��Ҳ�ڲ��Ͼѻ������������Ӻ�ϵ���ֽ��ӻ�ϣ�����ɽ������ɽ�������������Ҳ��������״̬��ֱ���������Ӳƴ�����������������롣

  ���������н������������ӵı�������ʱ�ϻ�����6��ս���Ѿ��ų��ݶӣ���ȻҪ���Լ���ս�����Լ������Ȼ�������ϻ��������ƣ����ǿ���ǰ���ϻ����ӷ���ʱ���ҵĻ��ڣ����Ѿ������Լ�����ȡʤ��ϣ����������Ҫ���ǵ�����������ˡ�

  ��һ������Զ���Ӵ�Ĵ��ӣ��������ʱ���DZ�������ȡ���ˡ����������´���ȫ��ת������ȫ���������ϻ����ӵľ��룬��Զ��Է�һ�ߣ��ǾͶ�һ�ְ�ȫ��

  ����ɽ��ʱ����ѯ�ʻ�ɽ������ʧ����������Ӻ󣬻�ɽ���ر���ʧ��������ŷ�����������վ�ڹ۲�λ�IJ�ı���������������ı��棬�����ˣ��쿴�������˿��������ܵ���ͼ����

  �����⻰������ɽҲ�����о��ȣ��Ͼ���������ο��Ǽ�Ϊ��Ҫ�Ļ���������ô���������л���֮����ʱ�̾ͻ����أ��������۲�λ����Ȼ���������Ͳ�ı���жϵIJ�࣬�������Ӵ�ʱ���ߵķ����������ȥ�ͺ���Ĵ��ӻ�ϣ����Ǽ���Զ���ϻ����ӣ�

  ��׷��������ɽ������������˿���se��̫���Ѿ���б�������Լ���ʱ�仹�DZȽϽ��ŵģ�������Ի������Һ������콢������һ�����׽�Ϊ��ҪĿ�꣡��

  �����ϻ����Ӳ�û��ֱ��ȥ����δ�ܱ����ĺ������ӣ�����ת��ֱ�������������������н�����ɥʧ��ս����־��������н�ʱ��9��ս���ı��ֻ���ܳ�9�ڲ������ٶȣ������˵��ٶ�������14�����ϣ������ԣ����ձ�׷�����Ǻ���������Ե����顤����������

  ˫�����ϱ任���򣬺�������Ҫ����׷����������ɽ���Ǵ�����Ҫ�Ѻ����˴�з��ޣ������ȫ���ɵ���������Ŀ����Ȼ����ʵ�֣�ǰ���Ѿ��м����������ˣ�����ֻ������Σ�����������������

  �����Է���Ȼ���������־��ܣ����Сʱ��˫���ľ����Ѿ����������֮�ڣ��������ֺ�׺β��ս���������㽨�������ݻ٣��Ҵҹ����˰��죬���������н��Ѿ����׵�������Ȼ���������������ŷ������Ӽ�ѹȫ��ͻΧ������