��491�� ��ɽ���İ�Ϯ
2014-08-15 ���ߣ� ѩƯ
˫����ս��һǰһ����һ����ֵ�s�͵�Ť��·������Ųܺ����˳Կ���ս���ٶȺͻ��ڵ�����ϣ���Ȼ�߾�ȫ����ȴ���ڲ��ϱ���������ս����ʳ����Щ����Ѳ���߱�������ľ����ǵ�ս�������˾����Ǿ��˵ģ�����1 nnm�������ڸ߱�������������һ�����һʱ������˱���Ľ�ͷ�ö���˷��������������ս������ #_ ��
����ɽ����Զ�����Ѿ�������Զ����ƽ���ϳ��ֵ��Ǹ������ĵ��죬��תͷ���˿�����ĺ����ˣ�һ��üë���������������˶��˲����ˣ���������������������Ű�ɽ�����ຣ�����У��ú�����ײ��ʯȥ��������������ô�������ǣ���
ս���ϸ��ʵ������̴�Ũ�̹���������������ȫ����������Сʱ��Ҳ���뽵���ٶȣ��������ٻ�е������ĥ�𣬶���������˵�ս���ܶ�Ƕ���ʽ���������������е��͵���ʽ����������Ͳ����ظ����˿̽����ٶ����ֻ��8���ˣ�˫��ĥߴ��Ч���ٴν���������
������ĺ����ϣ�������������š�������Ȼ�������ڣ�����������ת��̨����Զ�����ϻ�ս�����Dz��Ͽ�������������ð������н�ʮ�����Ƶ�ʱ����������������Ѿ�ʮ�ֲ��ף����쿴��������Ҳ��զ�أ������ھ�Ȼû������һ����
��������ս����Ҳ��ƹƹ���Ҵ�IJ����ֺ����������ϻ���ս��ʼ�ն�������Ч���֮�⣬��û��������������в���ڻ����⺣�������Ƶ�ʱ��ը�����٣���ŭ���Ҵҵİ����λ�ľ��ٽ���ʹ��һ�١�
�������Ҳ��һ�����յı�⣬������������š���������ת��̨��Ȼ����ȫ����Ĺ������������ǶԷ����ٺ��������һֱ��2 nm���ڵ�����������ƣ��ڵ��Ǵ�õ���ôԶ�ģ�������ͷ�ɾ���ȫ�����������ˡ�
�����ǿ��ͣ����Ѿ��ó��˽����ϻ��˵Ļ��ں�ս��Զ�Ⱥ����Ƚ���ֻ����Ⱥ��ս����Χ���Է������ܻ�ʤ�Ļ��ᣬ���Ǵ�����jiս�����磬��˵Χ���ˣ���������ȥ���Է���һ�£�����һ��������
�������н�Ҳ֪��������˵����ʵ���������Ѳ�������Ҳ��ʮ�����⣬�������ӣ�jiս�Ѿ���ȥ3����Сʱ�ˣ��������˻��ڻ�����������Լ�������Ŵ��࣬������Ϊ�Կ��Է����ٶȣ�����������ս������Ҳ���Ƿ��ӵ����쾡�¾������������Է����������־����ϵ��ڻ���Ȼ�����6��ս����ͬ�̶�����
��֮ǰ����÷�պ���Ȼ��������ʿ�������Ȼ𣬵����ջ�����Ϊ�������������ˮ��һ��Сʱǰ�ͳ�û�ˣ�����˹�ڿ˺š���������װ������ά���˺������ײ�������ֻ�Ƕ���ȫ�٣�����ȫ�����ޣ���֪���ܲ�������������
������dz����Ĵ�����Ϊ������С���Ͱ�һ֧ ��ս����ɵĽ�����Ū�ڹ���֮�ϣ�ԭ������ʮ����н��������ڿ���˵�DZ��ܴ����������Զ����������ĵ��ˣ����´����µ���ս���ά�ֶԵ��˵�ѹ�ȣ���ؼ�ֵ���ڣ���
�������н���������º�Ϊ�϶�Ϊһ���ش�Ĵ�������������������ʧ�����������ص�Ӱ���˽��ӵ�ʿ������ս����ָ�ӹٷı������ս��̬��ת���Ա�ս����Ŀ�ꡣ
jiս��������3��50�֣���������Խ��Խ˳�֣�����ɽҲ�������ã�֮ǰ���ķ���������У���Ȼ����������������Ŀ��2ö�ڵ�������һ�һ��Ǻ����˵�����������˹���ºš����ڶԷ�ս��ƨ����������һ�����ܴ��
��������ˣ���ɽ�������������̣����������ھ��ٺ�Ȼ�˳����ܽ����������档
����ɽ����һ�䣬����Ҳ��һϲ�����ž���ָ�ķ���ȥ��ֻ����������İ�ɽ�����һ��ɽ���Ϲ�Ȼ�����ɳ���Ʒ���εĺ�������
��̫���ˣ�������ɽ�˿��Ѿ����β�ס���ϵ�Ц�⣬����Լ�����ϻ��ڶ��ֽ��Ӵ��������Dz�����ɺ�͵���һ���غ��ϵ�Ʒ���������ź�����ʾ������֮�⣬������վ������Ͳǰ�棬�������´�������ֵ��ǣ�Ԯ���ѵ���������Ҫ��ʼ������
701������ƫת��ͷ���������Ű�ɽ���ĺ�����ǰ���������ս���������غ��棬����ˮʦ���������ڻ��ڡ�װ�ʹ��٣����ӵ���ڵ����Ա߲����ڵ�����λ�ã���Ȼ�������������ȡʤ�ĺ����ˡ�
��֧����һǰһ���й���ɽ�������������������н�ͷʹ����ڲ����������ȡ��ȫ���ӵ�����ʱ�����ڻ���ƨ�ɰ�ı�������Ϣ�����н����ˣ������ɽ������ͻȻð��һ֧�����ӣ���ս��Ӧ�����ϻ����ӣ���
�˿̺��������Է�ɢ��v����ѹ���ϻ�������ս�������ӵ���ɱ���Ľ��ӣ�ֱ�Ӿ��������ĺ������δ��ң����������н��鼱֮�³��˸����У���Ȼ�����������Σ���������û�е��˵Ľ���֮�£����ǿ����������콢������
���������߰��Ѿ�ս����Ҫ���ϻ����ӵļл��е�ͷ���أ���ʱ�˿���ȫ�����룬���Ǻ���ս���У������콢�������DZ�������ִ�еģ�����ս��һ����ͼ�ں�ƽ���ϵ�ͷ��һ�ߺ���Ŀ�ĺ�Ч�����ڻ����ڱƽ����ϻ����ӣ���ֻת���У����ڻ���ô����ͷ������������
��֮�෴�������������ϻ��ֽ��ӳ��˻�ɽ���⣬�Ͻ����������㽭���Ǵ��λ�Ĵ�⬼�ս����ǿ���ľ�����������������ǽ��ԵУ�������ս������ͬʱ�� �����������ڻ�������ǰ��Ŀ�꣬���ο�����һ�һ��������ĶֵĻ�ɽ��������
����ս��ȫ�ٳ���ʧ��ĺ���������Щ��������ʽս������4ooo��ʼ���ڻ���ܼ���������������ǰ����һ�Ҳ����ڶּ���������ʽս�������״�š��������״����ȻҲ���������Դ��еĽ��������ȫ����ѹ��Ҳ�˲��û���ĥ����Щ�����ˣ�ƴ������ϣ����ת��������һ������赲�Է��ƽ���
ֻ����� �����ϵ������ڹ����˿̡����״�š��װ��ϵ�������ȫ�����ԡ����ꡱ������������ͷ�ġ���������װ��Ѳ����һ·���䵽���룬�̶̵�2�����ڣ����Ҷ�λ��ȴ���ѹ�ʱ������ս���ͱ����һ�����Ļ�����Ľ��ŵȽ������ı�Ĩƽ�ˡ�
���沼�״��ת���������һ�ҽ���1500��λ������Ѳ���������ˡ��ţ��ϻ��ֽ��Ӽ�����ȫ���ͳ��ʹ�һֱ������ 00����ʱ���Һ���Ѳ���洬���ϱ�ʮ��ö�߱������У�ľ����DZ����ɻ�������ը˺���˾���ѿڣ�Ƭ��֮������㸲��
�����ڶ̶̵�ʮ�����ھ���ش���һ���Ӿ���ʧ������ս������Ȼ��������ս������ս�������ɸ�Ӻͻ�棬�����Ļ������������������ͷ�ĺ���ս������ץ�����ǰ������ս��Ҳ�������ͷ�IJ���ʮ�����ڣ��ͳ���ι���㡣
����ս�����ǻ�����������н���ת�䣬���ɾ��Ǵ���ȥ���˴�����ȫ�Dz�Լ��ͬ�ľٶ������������ս��������ʱ�����ˣ��������ɽ������ת�����⼸����ת������ͼ��7oq������ת���������ǿ������������ϻ�ս���Ļ������ɱ�ǰ����������̫���ˡ�
����ʱ�˿̣������ϻ����ӵĻ����������н�Ҳ��ʶ���Լ�������ս�����м�������һ������ʵ�ֵ�����Է�ս��վ�ٶ�����ȫռ�������ƣ�����Ψһ�����Ƚ��ӵ�ֻ���ý��ӱ����ţ������������Ŀ�꿴����Խ��Խ���ѡ�
���������Ѿ����ڷֱ������ı�Ե���������������˷�Ӧ����������ȫ�ٿ���������������ǰͻ����ת��������������ľ��棡
�������ڲ���������������Ȼ�Ѿ���Щ���ˣ��Ի�ɽ���㽭����װ��ȳ���nm������Ϊ��ͷ���ϻ��ֽ����Ѿ��dz��ɴ������ɱ������������ս�����ҵĶ���֮�У���701��601��Ҳ�ѵ�ת��ͷ����Ŀǰ��̬���У���Ȼ��������ս����������Ȼռ�ݾ����ƣ���ȥս����˳�ս����ս���⣬���滤��������ս��Ҳ�ҴҸ�����Ԯ�������棬��������Ȼ��14��ս����ֻ�ǣ������˵Ľ�������ʵ���Dz��ҹ�ά�����ˡ�����������š��͡�����˹���ºš����������⣬������������Ѳ��
������ǿ���������������³����̫ƽ��ս�Ѿ�֤����һ�㣬����ս������������ս���У����Ǻ������������ļ��ߡ�
�����Ĵ��ϣ�������������ʤ�ķ��������������������������ܻ������ˣ���Ϊãã���ϣ�����˷����dz��˵ķ������ڰ��ڷֽ���ָ�ӹٳ�Ĭ��ǰ�ľ���������⣬���������Ѿ���������������Ӵܵ����С�����������
�����ˣ������ĺ����˳�����ˣ���ǰ����ǰ���Ҳ����2�ҵн������ܣ����������ھ��ٽ��������Ĭ������üͷ����Ҳû�뵽�����˱�������ô�죬�����Լ���Ȼ������ȥ��С�ɵ��ˣ��Է�Ҳ���ǿ����Լ���ߵ����������иı������ս����ͷ���ߡ������������������룬�ᶨ��һ���֣�������ǰ�ĵ��ˣ����콢��£����
������˿̴���ո���ս������ս���������һƬ��С�ĵ����ɽ�������ڰ�ɽ���Զ��ĺ����ϣ��ϻ�������������ӵ���ʽ�͵������˺��������������Ľ��ӣ��γ��˾ֲ��������Ƶ�6�������Ը��Է�7������ս���ľֶ���������������ƴ�������������ӵĵײ���������ͼ��£�Ѿ���ɢ������ս������ͼ�����������Ľ�����������ĺ����ϣ��ϻ����Ӵ˿��Ѿ���ȫ������Զ�����ڻ���ս�ԣ���Ҫ��ʱ�̾�Ҫ������ԥ��������ʧ��Ͷ��ȫ��ս������һ��������ɽ��ս�����<�ײ��ȵľ����ϻ����ڻ���7�Һ���ս������4�ҵĴ�����Ѳ��3���Ǽ�������ʽ�Ļ������˫������ȫ�������������ͻ���˻�ɽ����������Ϊ�������ص��չ˵�Ŀ�ꡣ
�ڳ����ɢ�ĺ�������Ⱥ��һ˲�䣬����һ�Ҵ����ں���ս���IJ�����ھ����Һ����ɽ����һʱ�仪ɽ������װ�����������ɺ��̣���Ƭ��ɣ�һö���ο��������д���150nm��������������Ȼû�ܻ���50nnm�ĸְ壬���������漸��ʿ��������ը���������ˣ����ϣ�����һ������Ѹ�ٸ�������ǵ�ȱλ��
��һö�����˵��ڵ����ɻ��н�����ڵ��ǣ�����1 nnm��С����ȫ���Ը���ɽ�Ž��ţ���ը���ڽ���װ��������һ��СС�İ��ӣ�����������ָ��ս����Ĭ����û������ս���ܵ��Ĺ���������������˳��ָ����������˵�ս�����������Ҫ�����飬���Լ������Ļ���������Ϊ�������Ҵ�⬼�ս�����켫�ѵ�ս�������Ͻ������������������㽭������������ɽ����������ڵ����Һ�����չ���˷������λ�ϣ����Ƹߵͻ���ʿ����һ˿������ת����ҡ�����۾�����ˮƽ�ǣ���¡¡������������Ӱ�����ǣ������ֺ�װ�������ѿ��ȵ��˶��������·�˿����֪ƣ���ƴ�������ڹ���������һ�����ڵ���
4��ս����������������Ľ���֮�У�ֻ�����̶�no���ӣ�����ȫ�������������ս���Ͻ�50���������Ѿ�����������ǧö�ڵ�����ս��ֱ�ӱ������ɸ�ӣ�����һ�Ҹ��DZ������˵�ҩ�⣬һ��ͳ��ı�ը���ױ�ɢ�ں���֮�ϡ�
������������������ս���У�Ҳ�DZ�����ʮ������ȫɥʧ�˹�Ӽ�����ս������������Զ������Ŀ�ĵ���Ķ�ȥ��
�������ʱ������˵��콢�����������������������������ӴҴҸ�����������ɽ����601��Ҳ�ڲ��Ͼѻ������������Ӻ�ϵ���ֽ��ӻ�ϣ�����ɽ������ɽ�������������Ҳ��������״̬��ֱ���������Ӳƴ�����������������롣
���������н������������ӵı�������ʱ�ϻ�����6��ս���Ѿ��ų��ݶӣ���ȻҪ���Լ���ս�����Լ������Ȼ�������ϻ��������ƣ����ǿ���ǰ���ϻ����ӷ���ʱ���ҵĻ��ڣ����Ѿ������Լ�����ȡʤ��ϣ����������Ҫ���ǵ�����������ˡ�
��һ������Զ���Ӵ�Ĵ��ӣ��������ʱ���DZ�������ȡ���ˡ����������´���ȫ��ת������ȫ���������ϻ����ӵľ��룬��Զ��Է�һ�ߣ��ǾͶ�һ�ְ�ȫ��
����ɽ��ʱ����ѯ�ʻ�ɽ������ʧ����������Ӻ�ɽ���ر���ʧ��������ŷ�����������վ�ڹ۲�λ�IJ�ı���������������ı��棬�����ˣ��쿴�������˿��������ܵ���ͼ����
�����⻰������ɽҲ�����о��ȣ��Ͼ���������ο��Ǽ�Ϊ��Ҫ�Ļ���������ô���������л���֮����ʱ�̾ͻ����أ��������۲�λ����Ȼ���������Ͳ�ı���жϵIJ�࣬�������Ӵ�ʱ���ߵķ����������ȥ�ͺ���Ĵ��ӻ�ϣ����Ǽ���Զ���ϻ����ӣ�
����������ɽ������������˿���se��̫���Ѿ���б�������Լ���ʱ�仹�DZȽϽ��ŵģ�������Ի������Һ������콢������һ������Ϊ��ҪĿ�꣡��
�����ϻ����Ӳ�û��ֱ��ȥ����δ�ܱ����ĺ������ӣ�����ת��ֱ�������������������н�����ɥʧ��ս����־��������н�ʱ��9��ս���ı��ֻ���ܳ�9�ڲ������ٶȣ������˵��ٶ�������14�����ϣ������ԣ����ձ������Ǻ���������Ե����顤����������
˫�����ϱ任����������Ҫ��������������ɽ���Ǵ�����Ҫ�Ѻ����˴�з��ޣ������ȫ���ɵ���������Ŀ����Ȼ����ʵ�֣�ǰ���Ѿ��м����������ˣ�����ֻ������Σ�����������������
�����Է���Ȼ���������־��ܣ����Сʱ��˫���ľ����Ѿ����������֮�ڣ��������ֺ�β��ս���������㽨�������ݻ٣��Ҵҹ����˰��죬���������н��Ѿ�����������Ȼ���������������ŷ������Ӽ�ѹȫ��ͻΧ������